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2a,l;o$2& 均匀化的概念 <H]1 6 VV%Q "0\ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: mI4)+8SUu • 微透镜阵列 {K,KIj" • 衍射扩散器 `A0trC3 • 计算机生成的全息图 8lJMD %Df: • 相位板 J]"IT*-Ht • 单元阵列 B|pdqSI 0*4h}t9j 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 T+knd'2V6 光学仿真和设计包括: lYq/
n&@_1 • 衍射 Vmb `%k20' • 干涉 z>&|:VGG • 空间和时间相干度 '*d);{D8 • 像差 7%7 \2!0J} • 偏振 B098/`r • 光强 O9/7?"l" Dpf"H 应用 F,)\\$=, >P_/a,O8 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: =)O%5<Lwx • 信息显示 N5%Cwl6i • 测量系统 2$@N4 • 室内照明 24; BY' • 汽车 wVMR&R<t • 军事 jjTb:Z=.' • 光刻 EZw<)Q P)k!#* 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 xn BL{
[] 优点Benefits c:OFBVZ
(;(P3h 微光学元件的照明系统有以下几大优点: g UAx8=h • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. ->q^$#e • 产生任意的二维图案. gOSFvH8FU • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. dPx{9Y<FzU • 非常紧凑的照明系统. +T,Yf/^Fn x<lY&KQ0 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 <,\Op=$l3I VAL]\@Q} 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: kbcqUE • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. p@Va`:RDW • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. tUXly|k • 可以产生一般的二维图案. BK/~2u • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. +Dwq>3AH 衍射扩散器 f *HEw $eQf 5)5 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: W5c?f, • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). $sa5aUg } • 生成任意的二维图案. ijuIf9! • 仅用于单色LED或准分子激光. M0$wTmXM 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 ,%!E-gr 单元阵列 _=*ph0nu a|u&N:v7B 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: uNoP8U%* • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. ]@G$L,3 • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. <Z:Fnp • 产生任意的二维图案. `rQDX<? • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 7JL*y\'
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