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均匀化的概念 _+wv3?
c" eP(%+[g VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: 0r_8/|N# • 微透镜阵列 C>:F4"0 • 衍射扩散器 lk2F]@_kJH • 计算机生成的全息图 B#B$w_z • 相位板 &s\$&%| • 单元阵列 aluXh? <@A/`3_O) 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 G0^23j 光学仿真和设计包括: |hiYV • 衍射 `0=0IPVd • 干涉 HC?yodp^ • 空间和时间相干度 .hSacd • 像差 jf$6{zO6j • 偏振 A\i/@x5# • 光强 G>YJ3p7 nyw, Fu 应用 \#m;L/D gupB8 .! 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: *P61q\2Z • 信息显示 y@nWa\iG • 测量系统 C ])Q#!D| • 室内照明 9hmCvQgtf • 汽车 Olj]A]v} • 军事 $io-<Z#Q • 光刻 9bMM-~ ie
2X.# 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 23_<u]V 优点Benefits \Y
Cj/tG8 *O)_D
bj 微光学元件的照明系统有以下几大优点: |n}W^}S5 • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. SL hki)| • 产生任意的二维图案. p<Ah50!B • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. )gmDxD
^C • 非常紧凑的照明系统. !6@xX08z v|?hc'Fj 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 $Y,,e3R3 6mep|![6 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: P>)-uLc~W • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. /raM\EyrlP • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. SR*%-JbA • 可以产生一般的二维图案. N>/*)Frt • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. OV7vwj/- 衍射扩散器 n{r+t=X 79s6U^vv" 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: lE?e1mz{
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). dsR{
P,! • 生成任意的二维图案. G qk"%irZ • 仅用于单色LED或准分子激光. `RthX\Tof 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 q)G*" 单元阵列 U"%k4]:A SjtGU47$! 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: T5 5l-.> • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. l
YH={jJ • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. fX[,yc; • 产生任意的二维图案. 7Kk rfJqN • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 J}._v\Q7P
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