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g9IIC5
均匀化的概念 Vq^b_^ cVSns\QO VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： xX8 c> p • 微透镜阵列 ppeF, Q • 衍射扩散器 YI]/gWeu • 计算机生成的全息图 AU;Iif6 • 相位板 2\F'So • 单元阵列 4% 6@MQ[
@k/|%%uP 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 8sq0 BH
光学仿真和设计包括: -tp3qi • 衍射 \#gguq?[ • 干涉 y-Lm^ GW4 • 空间和时间相干度 CYM>4C~>JW • 像差 v(,YqT>q@U • 偏振 -: Q"aeC5 • 光强 GZmfE`
gmOP8.g 应用 G+m[W
JQW7y!Z 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： A^4#6],%v • 信息显示 {9~3y2: • 测量系统 hz h3p[ • 室内照明 Q{~;4+ZD • 汽车 &0+Ba[Z ^ • 军事 )H&ZHaO,_ • 光刻 T6\d ]
semTAoqH 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 i\*
b<V 优点Benefits j3[kG#
Q=epUHFs 微光学元件的照明系统有以下几大优点： lEw!H ^O4 • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. *QoQ$alHH • 产生任意的二维图案. a24(9(yh • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. _gpf9a d • 非常紧凑的照明系统. $6d5W=u$H  oF s )UR 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： 41+@!`z7
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. HrRw
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. Lfv RH?<W
• 可以产生一般的二维图案. g c<Y?a-
• 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 02^Nf7DMR
衍射扩散器 hS^8/]E={
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： EIOP+9zP
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. ];u nR<H
• 生成任意的二维图案. {k']nI.>
• 仅用于单色LED或准分子激光.  Q@C y\l 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓
单元阵列 j% '~l#nw
$-39O3
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： :6Gf@Z&+
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. mzf^`/NO
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. d 0:;IUG
• 产生任意的二维图案. 4v`;D,dIu
• 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 P[H 4Yp
QQ：2987619807 ^KQZ;[B
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