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srS2v\1: 均匀化的概念 #3VOC#. '%Fg+cZN\ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: 4Fu:ov
]M • 微透镜阵列 _PPZ!r( • 衍射扩散器 .4CCR[Het • 计算机生成的全息图 5:R$xgc • 相位板 ov3FKMG? • 单元阵列 c/Dk*.xy< T'^ Do/ 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 1R-1#<a>& 光学仿真和设计包括: 8NF93tqD6 • 衍射 ztS:1\ • 干涉 UY5wef2sF • 空间和时间相干度 bwR$910b • 像差 ,|}}Ml • 偏振 Aj{c s • 光强 KIRCye X&LaAqlSG 应用 *;ehSg9 SAVA6
64 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: oMNt676 • 信息显示 ?8U#,qq#` • 测量系统 C(%b!Q,2 • 室内照明 Ei HQ&u* • 汽车 !+Fr U'^ • 军事 Tv[|^G9x • 光刻 /nq\*)S#& REg&[e+% 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 zi^?9n), 优点Benefits G+~f OH
>#f6`[ 微光学元件的照明系统有以下几大优点: ]Y3NmL • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. T)Y{>wT • 产生任意的二维图案. 79*f <Gr • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. A+=K<e • 非常紧凑的照明系统. <rihi:4K /2f 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 Yi?v|H<a Jn&^5,J]F8 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: *t{^P*pc • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. Y'^+ KU • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. oh0*b h • 可以产生一般的二维图案. vbh 5 • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. _. &N@k 衍射扩散器 )61X,z @tIY%;Bgk 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: MBqw{cy • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). <y=+Gh • 生成任意的二维图案. FeT|
Fh:L • 仅用于单色LED或准分子激光. ym8pB7E7% 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 i7b^b>B|e 单元阵列 bOolBKV 9vckQCLM 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: z*)kK • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. x~JOg57up • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. der\"?_. • 产生任意的二维图案. l*w*e.ezQ • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 DJZ$M
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