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~~t>; 均匀化的概念 +<B"g{dLuX D})12qB;u9 VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: N\?__WlBK7 • 微透镜阵列 txX>zR*)
• 衍射扩散器 $d.Dk4.ed • 计算机生成的全息图 6Tm7|2R • 相位板 4gmlK,a • 单元阵列 K&"X7fQ mW,b#'hy 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 +-5YmN' 光学仿真和设计包括: + kF%>F] • 衍射 K]dR%j • 干涉 =fB"T+ • 空间和时间相干度 !>kg:xV • 像差 #2Iw%H 2q& • 偏振 pRjrMS • 光强 qamq9F$V cBZJ 应用 cveQ6
-`K Cj YI * 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: h2?\A% • 信息显示 [ThAvQ_$ • 测量系统 uy<b5.!- • 室内照明 >S{8sN • 汽车 W}%[i+ • 军事 $}us+hGZ • 光刻 $) qL=kR r;wm`(e 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 g{2~G6%;0 优点Benefits E9@Sc>e z;N`jqo 微光学元件的照明系统有以下几大优点: 8 ~Pdr]5 • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. 6C
?,V3Z • 产生任意的二维图案. (eHTXk*V` • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. it-2]Nw • 非常紧凑的照明系统. i]qxF&1 J*Cf1 D5! 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 -"#jRP]# 1/?K/gL 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: 2j]uB0 • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. h$%h w+"4 • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. QDb8W*&< • 可以产生一般的二维图案. g{K \ • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 8-@HzS% 衍射扩散器 7fl{<uf Dg}EI^ d 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: .4<lw • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). @`iz0DPG?Y • 生成任意的二维图案. {)Shc;Qh • 仅用于单色LED或准分子激光. z 8#{=e 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 gplrJaH@ 单元阵列 >Y|P+Z\7 j}fSz)`i 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: }n"gX>e~ • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. )Z\Zw~L • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. m5,&;~ • 产生任意的二维图案. =hI;5KF • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 $)6M@S
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