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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： _bg Zl  
     6Yt3Oq<U  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； ,# .12Q!  
     rg]b$tL~  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。  E<0Mluk  
     Cw kQhj?  
    结构设计 qe(C>qjMbG  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 hN gT/y8  
     x_?K6[G&}  
    9f5~hBlo  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 !8W0XUqh+  
     fb^R3wd$ff  
         l[m*csDk"  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 t}pYSSTz  
     3DB= Xh  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 @Gw]cm  
    0Q,Tcj  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 a>,_o(]cW  
     /Dt:4{aTOC  
    ]VtP7 Y  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 9L4;#cy  
    B> \q!dX3  
     CWYOzqf  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 7v0VZ(UR  
     NiE`u m  
    !bnnUCTb\  
    P *PJ  
    导出加工数据 H$Pf$D$  
     ;'Z"CbS+  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) V$Oj@vI  
     4 2-T&7k  
    oY,{9H37b  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 OPqhdqo  
     ",,.xLI7  
    Z.unCf3Q  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 HJpx,NU'  
           1<lf o^B  
    iS"6)#a72  
    f.oY:3h:  
     w+5OI9  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 AxTFV ot  
    m c@Z+t'  
    een62-`  
    HTMo.hr  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 c5O8,sT  
     wGIRRM !b  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 BrzTOkeyG  
    "e>9R'y  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 /6\uBy"Xt  
    ^U,C])n  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 <+b~E,  
    PG|Zu3[  
    %P#| }  
    导出加工数据列表 vQ $"|8,  
     BZXee>3"  
    M.)z;[3O  
    Nr]guC?rE  
    导入加工数据 HyYJ"54  
     I {%( G(  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI I!K-* AB  
     d+ $:u  
    [<f9EeziB  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) UalwK  
     MD,BGO?C  
    4wa3$Pk  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) uLI;_,/:  
    ozHL'H  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 %6M%PR~u  
     Rx.5;2m  
    k>!i _lb  
    [+}0K{(O=  
    UKB/>:R  
    Uz]=`F8  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 /~+Fzz  
    |B^Picu  
    u-V( 2?  
    6) 导入完成，观察3D视图 L` rrT   
     N1vA>(2A  
    %)&Tr`   
    "#f5jH  
    *F(<:3;2  
    QQ：2987619807
     
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