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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介：  q6F1Rt  
     /al56n  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； ~\JB)ca.  
     |K1S(m<F  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 Oq~{HJ{  
     m@XX2l9:9  
    结构设计 1"Oe*@`pV  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 S'34](9n6  
     tV(iC~/  
    ]%D!-[C%1  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 > f X^NX  
     UUDUd a  
         z )hK2JD  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 P}8hK   
     Ag9GYm  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 d]e36Dwk  
    UCcr>  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 <@(\z   
     2*V%S/cck  
    ^WB[uFt-  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 f4  S:L&  
    DQY1oM)D !  
    0]7jb_n1  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 g/.FJ-I*  
     =F_uK7W  
    #).^k-  
    *,G< X^  
    导出加工数据 W,[ RB  
     \;Q(o$5<  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) .t\J @?Z  
     r5s{t4 ;Ch  
    lVT*Ev{&.  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 2?%*UxcO  
     e=VSO!(rY  
    NOs00H  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 I*TTD]e'X  
           ]\fHc"/  
    o(e(| k {  
    @I4HpY7:  
    1R@G7m  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 VgXT4gO!  
    zqj|$YNC  
    Jf2JGTcm  
    X[?fU&  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 poafGoH-Y  
     ,Dv*<La`\  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 17'd~-lE  
    < !m.+  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 v+x<X5u  
    ]Y]]X[@  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 9`92 >  
    OiA uL:D  
    4Mg%}/cC  
    导出加工数据列表 Y`22DFO  
     eMdP4<u  
    $&.(7F^D  
    -_9*BvS]R  
    导入加工数据 >uZc#Zt  
     vUbgSI  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI olQP>sa  
     y$fMMAN7  
    r(wf>w3  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) U:~]>B $  
     9 D.wW  
    w|G7h=  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) /D9#v1b  
    *Jcd_D\-(1  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 1^]IuPxq  
     }0<2n~3P  
    a=ZVKb  
    "a;$uW@.6  
    =),ZZD#J  
    .7 j#F  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 F}mt *UcMG  
    rhOxy Y0  
    @>VX]Qe^X  
    6) 导入完成，观察3D视图 &jEw(P&_  
     ?i0u)< H  
    6miXaAA8  
    Tr>_R%bK  
    wG:RvgX}  
    QQ：2987619807
     
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