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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： `B 0*/ml  
     VQx-gm8}!  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； -dN;\x  
     a~EEow;A  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 | N,nt@~  
     UVU*5U~  
    结构设计 :6iq{XV^  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 S60`'!y  
     ]F-6KeBc  
    \Rt  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 qz2d'OhmtH  
     <7Lz<{jaJ  
         lv&wp@  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 HWZ*Htr  
     qT%E[qDS  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 50`r}s}  
    [0@i,7{ZqE  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 T^>cT"ux_  
     zg"ZXZ  
    vM8]fSc  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ^PszZ10T  
    $5O&[/L  
    H^0KNMf(  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 ~8E rl3=5{  
     ;[ojwcK[ZF  
    $^F2  
    }=5(*Vg  
    导出加工数据 W=+ag<@  
     Jr zU-g  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) +bU(-yRy5o  
     &[xJfL  
    K[Kc'6G  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 {fs(+ 0ei  
     T%F'4_~No  
    *{Vyt5  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 &3M He$  
            `!BUd  
    Zf! 7pM  
    -lHJ\=  
    l!2.)F`x  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 z;)% i f6  
     E2l.  
    O`4X[r1LD  
    `1dr$U  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 Fc Cxr@  
     HukHZ;5  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 !&kOqc5:t<  
    uPpP")  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 6FfDif  
    ;:OJQFu%4  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 B dSTB"  
    'W)x<Iey1  
    }v?{npEOt+  
    导出加工数据列表 Zn/1uWO  
     m@~HHwj  
    0x84 Ah)  
    j_Fr3BWS  
    导入加工数据 WH!<Z=#c}  
     d 1z   
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI RGcT  
     ;^;5"n h  
    g&"Nr aQM9  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) nV'B!q  
     m<j ^cU#J  
    r`5;G4UI  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) YO=;)RA  
    W1#3+  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 G"'DoP7p9  
     ; qvZ*  
    SN11J+  
    1Eg,iTn2*x  
    L&eO?I=,  
    :yv!  x  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 GU!|J71z  
    L%fWa2P'  
    }D0j%~&"e  
    6) 导入完成，观察3D视图 ImgKqp0Z  
     rGoB&% pc  
    |>VHV} 4)<  
    Y~Zg^x2  
    }V`Fz',lZ  
    QQ：2987619807
     
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