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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： Fh9`8  
     <Rob.x3  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； ]78I  
     G*2bYsnhX  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 (p26TN;*$5  
     +"6_rbeuO  
    结构设计 /ZHuT=j1  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 p{xO+Nx1a  
     &10vdAnBRC  
    %YG ~ql  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 _%w-y(Sqn  
     HE(|x 1C)j  
         >|WNsjkU%  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 RoSh|$JF  
     v>YdPQky  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 zM"OateA  
    n( l!T 7  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 BusD}9QqB  
     o $oW-U  
    SdBv?`u|g  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 6|wi Zw  
    ;0O3b  
    p#hs8xz  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 8<t6_* f  
     xK9"t;!C&  
    )a.Y$![  
    DvHcT] l>5  
    导出加工数据 Z0g3> iItM  
     =i  }  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) =($RT  
     wv<D%nF2|  
    evNo(U\C  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 A\iDK10Q$  
     ]#P9.c_}  
    (xpj?zlmM  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 K@Q_q/(%;  
           )(~4fA5j)  
    mv|eEz)r  
    Wz}RJC7p  
    rCi7q]_  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 _ fha9`  
    l-xKfp`  
    0ohpJh61Q  
    H|k!5W^  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 ]4-lrI1#  
     ,S E5W2a]  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 {j@ S<PD  
    0"7 xCx  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Vd~{SS 2>  
    S`gUSYS"w  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 L ?g|:  
    #-dfG.*  
    |ybW  
    导出加工数据列表 *CZvi0&  
     EKoAIC*?p  
    #3vq+mcn  
    3 XdN \xc  
    导入加工数据 %5 V!Fdb  
     &M(=#pq9  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI h~haA8i?{  
     ["|AD,$%  
    *c4uCI:0t  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) yG|^-O}L  
     s `fIeP  
    2*Hw6@Jj  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) |&B.YLx  
    L&M6s f$N  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ;> **+ezF  
     l[lUmE  
    bg;N BoZd  
    l G12Su/  
    O 4@sN=o  
    //cj$}Rn!  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 .r[b!o^VR  
    e\x=4i  
    |3{DlZ2S  
    6) 导入完成，观察3D视图 CAyV#7[0  
     >FED*C4  
    v9R#=m/=  
    Ci6yH( RE  
    S6CM/  
    QQ：2987619807
     
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