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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： +F$c_ \>  
     LnP={s  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； ' _Ij9{M  
     f{MXH&d 1\  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 pe$" nUy|  
     XcB!9AIO  
    结构设计 %Ez=  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 V`qHNM/t  
     d?^bCf+<  
    2Sbo7e  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 C"no>A^  
     oG~a`9N%C  
         swV/M i>  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 2iC7c6hc  
     /\P3UrQ&]  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 B|U*2|e  
    ^[6eo8Ck>  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 hbdq'2!Qr  
     C# IV"Pkq  
    '*H&s  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 D]n9+!Ec1f  
    |2w,Np-  
    ;zVtJG`  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 'oSs5lW  
     uLXMEx<^  
    hAq7v']m  
    TY}9;QL:  
    导出加工数据 gz8>uGx&V!  
     h^o>9s/|/H  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 7(c7-  
     W(U:D?e  
    ?IRp3H  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 L:UJur%  
      l%XuYYQ  
    'Vq_/g!?1  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 [~e{58}J|  
           r5y p jT^  
    @%Y$@Qb{  
    <^>O<P:v  
    C3 >X1nU  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 40,u(4.m*  
    a{*r^m'N  
    CqHCJ '  
    trD-qi  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 S9BwCKH  
     AmYqrmJ  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 RMJq9a  
    > Q[L, I  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 17IT:T,'  
    _Q&O#f  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 BPRhGG|9j  
    ;Z:zL^rvn  
    R%l6+Okr  
    导出加工数据列表 e$!01Y$HI  
     8K(3{\J[V  
    !F ]7q]g  
    |VC|@ Q  
    导入加工数据 "eKNk  
     AcC'hr.N+  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI }EFMJ,NQ  
     q6E8^7RtS@  
    um.s :vj$  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) Z*r;"WHB  
     tR`'( *wh  
    w]2tb  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) $'m&RzZ  
    |Uf[x[  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 x-W6W  
     N0UL1[ur  
    g+CTF67  
    {zGM[A  
    Tz/=\_}  
    FUy!j|W6f  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 xOfZ9@VU  
    "`A@_;At`  
    4DGc[  
    6) 导入完成，观察3D视图 ruqx #]-  
     Hz A+Oi  
    o]Ln:kl  
    f+A!w8E  
    wD9Gl.uQ  
    QQ：2987619807
     
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