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    • 光学手册（上、下册，李景镇） 光学元件微纳制造与精密检测技术 京东6.18购物红包，每天领三次！ 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： &F}+U#H  
     Mt Z(\&~  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； _2Z3?/Y  
     >cNXB7]E>  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 #c>MUC(?s:  
     }BrE|'.j'  
    结构设计 <.B s`P  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 20qVzXi  
      o %%fO  
    PpRO7(<cD  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ;" *`  
     n:D*r$ C|p  
         ,]mwk~HeF  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 | dwxea  
     U;GoC$b}|  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 g8"7wf`0k  
    y^\#bpq&\  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 e;5Lv9?C8  
     ([-=NT}Aq  
    `W n5 .V  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 1}E@lOc  
    ,`zRlkX  
    tJPRR_nZv  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 ]P$DAi   
     K, 5ax@  
    N08n/u&cr,  
    ~bTae =FP  
    导出加工数据 }GDG$QI]K&  
     F^z8+W  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) NCFV  
     ; ,<J:%s  
    b,R'T+4[  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 v|(b,J3  
     !u}3H|6~  
    jYX9; C;J  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 OX/.v?c  
           '5/}MMT  
    bV*zMoD#  
    vGwD~R  
    u^zitW!X$  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 <]^;/2 .B  
    dm=F:\C  
    q)ql]iH  
    rDX'oP:  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 BemkCj2  
     2^#UO=ct  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 d5"EvT  
    G=HxD4l  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 `F\:XuY   
    kj!7|1i2  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 !5%5]9'n@*  
    %Rep6=K*$  
    |;9 A{#zM  
    导出加工数据列表 hdtnC29$  
     yCCw<?  
    $7&l6~sMQ  
    !LIfeL.4h  
    导入加工数据 YB B$uGA  
     NTXL>Q*e  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI )YMlF zYr  
     w;@25= |  
    rgdQR^!l6  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) E< CxKY9  
     xGEmrE<;  
    TDFO9%2c  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) %7>AcTN~  
    2"+x(Ax  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 20l_ay  
     [TK? P0  
    bV$8 >[`  
    8| e$  
    xR|eyeR  
    3> \fP#oQ  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 >=~Fo)V!(V  
    hK39_A-  
    @?3vRs}h  
    6) 导入完成，观察3D视图 gJPDNZ*6pk  
     PM-PP8h  
    K 5qLBz@U  
    ~+<xFi  
    Z?(4%U5z  
    QQ：2987619807
     
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