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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： TZt jbD>B  
     $5v0m#[^  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； .<z!3O&L  
     }hYZ" A~  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 ATy*^sc&"  
     /'Pd`Nxl.  
    结构设计 5OO'v07b  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 a6:x"Tv  
     *=fr8  
    O:{U^K:*  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 X*Z8CM_  
     4O:W#bx  
         ]`bQW?  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 nuoPg3Nl  
     H33i*][H  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 L{E^?iX  
    bW ZbG{Y.  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 hoT/KWD,  
     /t6X(*xoy  
    n!6Z]\8~$  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 /T,Z>R  
    []0mX70N  
    j F-v% ?  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 -k(CJ5H9  
     Cda!Mk:  
    SlSM+F  
    zZiJ 9 e  
    导出加工数据 &20P,8@  
     s/:Fwr4q#a  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) kD) $2I?  
     K^rIG6  
    v|ox!0:#  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 Bm\qxQ  
     IScRsxFb  
    Gn)y> AN  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 AF43$6KZP$  
           ^E6d`2w-  
    hUz[uyt  
    W23]Bx  
    KOg?FmD  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 q> s-Y|  
    q8:{Nk  
    {B*W\[ns  
    ^v9|%^ug  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 ]O{u tm  
     zq1mmFIO  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 e4I^!5)N  
    g\GdkiIj  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 $|KaBx1  
    Y${l!+q  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 iqhOi|!  
    PuxK?bwC  
    M[~{Vd  
    导出加工数据列表 `]$?uQ  
     yMLOUUWa8x  
    kCUT ^  
    19(Dj&x  
    导入加工数据 u@p?  
     91of~ffh  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI e75UMWaeC  
     0aR,H[r[?  
    Gjz[1d  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) P6Bl *@G  
     qQ7w&9r.M  
    z"DkFvA  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) )a=/8ofe  
    k:A|'NK~  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 +:6Ii9G N  
     V 'X;jC  
    t ]c{c#N/  
    'mdMq=VI  
    P&*sB%B  
    ql5x2n  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 U},=LsDsW4  
    ? 8 1X  
    lEPAP|~uw  
    6) 导入完成，观察3D视图 o@lWBfB*%e  
     /T0nLp`gi  
    ;]CVb`d  
    |0bc$ZY:  
    0;~yZ?6_F  
    QQ：2987619807
     
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