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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： }iNY_I c  
     a!t V6H  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 9*pG?3*I  
     !<Z{@7oH  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 `"Dy%&U  
     _T~H[&Hl  
    结构设计 XZO<dhZX:  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 2V$9ei6  
     878tI3-  
    % 0v*n8  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构  U42\.V0  
     .BL:h&h|y  
         WEC-<fN|Y\  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 !#.vyBK#  
     %FS;>;i?  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 RndOm.TE  
    ZjD2u 8e  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 {HuLuP 0t  
     hEcYpng~  
    % +8  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 >sV Bj(f  
    VRhRwdC  
    [+DNM 2A  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 /nM*ljfB\  
     \>[gl!B_Rr  
    ~~dfpW_"  
    we a\8[U3"  
    导出加工数据 mh8nlB  
     EG1x  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) qS82/e)7  
     S A3Y:(  
    WFdem/\kX  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 2$Y3[$  
     Vx(;|/:  
    JOHp?3"4  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 L4mTs-M.  
           ~$ WQ"~z  
    QQ|9>QP  
    qq>44k\|)  
    KqY>4tb  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 XAlD ww  
    k`Y,KuBpM  
     RA~_]Hk  
    c=<v.J@K  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 Q,TaJ]  
     &`5 :G LV  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 7x:F!0:  
    F13%)G(  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 >hesxC!  
    3?6Ber y=  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 h@/>?Va  
    '|+=B u  
    ,|>nF;.Y  
    导出加工数据列表 '.xkn{c  
     `}n0=E  
    Ut=0~x.=<  
    n7'<3t  
    导入加工数据 $o: :PDQ?  
     s={X-H< 2  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI -hm 9sNox  
     8^NE=)cb7w  
    r6/<&1[  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) Kjvs@~6t  
     Pyit87h{  
    ol1AD: Ho  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) Z'Zd[."s  
    gB'`I(q5.  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 A` oa|k!U  
     pzYG?9cwz  
    cbY3mSfn*  
    <4SF~i  
    >4Fd xa  
    ROcY'-  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 ">0 /8]l  
    g!z8oPT  
    FxMMxY,*%  
    6) 导入完成，观察3D视图 Z7ZWf'o  
     Gu<W:n[  
    7Co3P@@  
    c lq <$-  
    1j8/4:  
    QQ：2987619807
     
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