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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： b-@6w(j  
     w t? 8-_  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； ` Cdk b5  
     kb Fr  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 fF;Oz"I{\  
     -z-58FLlO  
    结构设计 k 9R_27F  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 WXp=>P[  
     6I.N:)=  
    68kxw1xY  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 cwlXb!S$  
     /Tv=BXL-  
         r3mB"("Z'  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 BBm.;=8@ ^  
     t7H2z}06=h  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 9qc1^Fs~  
    .[? E1we  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 ja$e)  
     OziG|o@I  
    ) **k3u t4  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 HIcx "y  
    >&f .^p  
    \O/EY&  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 L~cswG'K  
     .;u(uB;J6  
    ?>N82#9Q  
    h6c8hp.  
    导出加工数据 zU:zzT}|TZ  
     3Wrl_V  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) =3?t%l;n  
     iNZ'qMH22  
    zO<EbqNe!  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 w;vp X>  
     0|nvi=4~e|  
    2-ev7:  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 E j@M\  
           <T[%03  
    5YUn{qtD  
    7uFM)b@.P  
    2mP| hp?  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 *r!1K!c  
    e,>L&9] ZI  
    l7Y^C1hM  
    j0L9Q|s  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 .J#xlOa-  
     j_-$xz5-  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 yL^1s\<ddW  
    BP6;dF5 E  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 EB)j&y_  
    ])!|b2:s3  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 6Ii2rEzD  
    -iGt]mbJkP  
    Z%\9y]zs  
    导出加工数据列表 -wtavv,J  
     "Nj(0&  
    pOS:/~I3  
    l]Jk  }.  
    导入加工数据 2f]:n  
     N6=cqUM wt  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 7qt<C LJ  
      %1<No/  
    G5egyP;  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) "\Jq2vM  
     .!RBh LH_g  
    JXUnhjB,B  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) *Af]?-|^{#  
    S;M'qwN  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 fu}NH \{  
     &<R8'  
    Bs =V-0  
    1el?f>  
    qEX2K^y'4"  
    73P=<3  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 -`n>q^A7e  
    CTp~bGIv!=  
    P5* :r3>  
    6) 导入完成，观察3D视图 4,tMaQ  
     xY(+[T!OF  
    ZD/>L/  
    " E72j.  
    xcnHj1r-o'  
    QQ：2987619807
     
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