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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： EttQ<z_T  
     9uW\~DwsZ%  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； B`?5G\7L  
     #T08H,W/  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 fBnlB_}e  
     !h>aP4ofT  
    结构设计 |g!3f  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 a H *5(E]  
     aK]H(F2#  
    ]L_h3Xz\X  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 I2)#."=Ew  
     G$E+qk nJL  
         1Wb_>`;  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ;` ! j~  
     ]SG(YrF  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 OFn#C!  
    }o7"2h ht  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 t{Z:N']H  
     `Zd\d:Wyv  
    t&H3yV  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ?btZdnQ))S  
    c3C<P  
    =4804N7  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 c63yJqiW  
     *d&+? !  
    /yFs$t >9  
    2-_d~~O1N  
    导出加工数据 m[D]4h9  
     \pVWYx  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit)  @"L*!  
     O_^t u?x  
    b>f{o_  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 V2IurDE  
     s'=w/os  
    ^'Qe.DW[  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 e<r}{=1w  
           %OAvhutS  
    eY8rm  
    ev9ltl{  
    L(DDyA{bA  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 l@`Do[  
    #SqU>R  
    lFbf9s:$B  
    ;CLOZ{  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 #GOL%2X  
     evGUl~</~  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 UpS7>c7s  
    r"&VG2c0K  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Q8^g WBc  
    Wph@LRB]  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 N~+ e\K6  
    maVfLVx-  
    (X~JTH:e/  
    导出加工数据列表 :Hq#co  
     ]B3f$;W  
    U$7]*#@&  
    tWaM+W  
    导入加工数据 oP_}C[  
     bL0>ul"  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI NM4b]>   
     ayr CLv  
    `XrF ,  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ?XB[awTD~  
     z~Is E8  
    4x"9Wr=}  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface)  giORc  
    9qI#vHA  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 PdSYFJM  
     '?uwUBi  
    ^!rAT1(/_  
    3NSX(gC%  
    ]i Yp  
    [(*?  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 tO+Lf2Ni+  
    36UUt!}p  
    \^x`GsVy  
    6) 导入完成，观察3D视图 raJv$P  
     9y?)Ga  
    bPVQ-  
    5F$~ZDu  
    u#nM_UJe  
    QQ：2987619807
     
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