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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： A fctycQ-  
     \$h LhYz-  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； Az2$\  
     s/K}]F  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 2;`"B|-T  
     U < p kg  
    结构设计 (UV+/[,  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ]4>[y?k34  
     0fPqO2  
    1W5\   
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 K/u`W z~A  
     >cD+&h34  
         Cs %-f"  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ^q,KR ut  
     9Yowz]')  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 2eu`X2IBcT  
    z~xN ]=  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 1a90S*M  
     bkl'0 p  
    %Ys>PzM  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 [lA[w Cw  
    5@Q4[+5&_  
    %f&(U/  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 L/GM~*Xp(O  
     `R ^g[0 w'  
    t{>66jm\R  
    ~]/X,Cf  
    导出加工数据 H9w*U  
     =3oz74O[  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) <' %g $"  
     K. R2)o`  
    +c\s%Gzrh  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 @U:T}5)wc  
     lrh6lt)  
    3_T'TzQ u  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 u6y\GsM.a  
           c)SSi@< cv  
    Ytx+7OLe  
    "`"j2{9|e!  
    S53%*7K.  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 6DJ,/J2F  
    Xx|&%b{{r  
    z[v5hhI)4  
    _T5~B"*  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 9zO3KT2  
     ,mYoxEB kl  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 vo`wYJ3W  
    ].dTEzL9X  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 :/%Vpdd@  
    oAyk  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 q 8=u.T  
    Uzb"$Ue4  
    0dkM72p  
    导出加工数据列表 g-p OO/|  
     C3@.75-E  
    @?B=8VHR  
    {C]M]b*F6(  
    导入加工数据 ;wQWt_OtuJ  
     EJWMr`zdn  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ;@d %<yMf@  
     fr#lH3  
    4nl>&AV  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) g=Qga09  
     eN> (IW  
    k)v[/#I  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) &vMH AZd  
    Ix"c<1 I  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 K%=n \ Y  
     lIFt/  
    <Z m ,q}  
    uAvs  
    =|U2 }U;  
    Ve8!   
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 k@8#Byl|  
    mzT} C&hfP  
    k9Sqp :l,  
    6) 导入完成，观察3D视图 (J$A  
     "}OFwes  
    ,#wVqBEk  
    jujx3rnK?  
    :):Y6)giBD  
    QQ：2987619807
     
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