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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： ;U^7 ]JO;  
     4l6+8/Y  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； -]?F  
     o$=D`B  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 v/Z!Wp1LV  
     n;eK2+}]  
    结构设计 tw`{\kWG  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 z}" Xt=G?  
     #SzCd&hI  
    BpGK`0H  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 \*C}[D  
     "t{|e6   
         jNIZ!/K  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 Q+O3Wgjy  
     Dm"@59x  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 m 8Q[+_:$H  
    vPV=K+1  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 `;@#yyj:_  
     YB}p`b42L  
    Rw54`_kFEB  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 *:q,G  
    ZS-O,[  
    k_2W*2'S  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 &s|&cT  
     }538vFNi  
    ;n9r;$!f  
    QzwA*\G  
    导出加工数据 Z.Sq5\d  
     ?E@ 9Nvr  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 7,sslf2%K  
     r&G=}ZMO  
    Wm5/>Cu,  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 *o/ Q#  
     pN[G?A  
    )V}u}5  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 fR=B/`  
           3MR4yw5v  
    i#@3\&{J>  
    |kHPk)}I]  
    Hw1<! Dyv  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 Vp;^_,  
    o*OaYF'8  
    }}";)}C`  
    !,#42TY*X  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 OZ*V7o  
     L{hP&8$k  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 6wzTX8  
    +%$'( t s  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 ?#8s=t  
    YGBVGpE9  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 [jD.l;jF  
    ?mK`Wleh?  
    Zd/ACZ[  
    导出加工数据列表 3H0~?z_  
     O\64)V 0  
    ,8KD-"l^g  
    -Mb`I >=  
    导入加工数据 V@0Z\&  
     x"@Y[  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI %)7HBj(*J  
     ;:nO5VFOg  
    N798("  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) `TM[7'  
     /( /)nYAjk  
    ]j.??'+rg  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) kI>Iq Q-h  
    nVqFCBB  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 aZ%  
     C.r9)#G  
    Rc2|o.'y  
    \:cr2w'c  
    RO-ABFEi(  
    r-#23iT.~  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 26fbBt8nP  
    #`tn:cP  
    O]OZt,k(  
    6) 导入完成，观察3D视图 x)M=_u2 _  
     E>j*m}b  
    6e1/h@p\7  
    ~/hyf]*j  
    #GBe=tm\K  
    QQ：2987619807
     
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