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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： --^D)n  
     M9&tys[KX  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 'h= >ej*  
     8V|-BP5^  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 ZcWl{e4  
     q yJpm{  
    结构设计 Bp/8 >E O`  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 R3@iN &  
     teB {GR  
    Y 4714  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 |Q I3H]T7  
     hPk+vvXtK  
          aZ0H)  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ^|K*lI/  
     unX^MPpw  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 [KE4wz+s{  
    M^[ jA](a  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 ` q@~78`  
     Q-au)R,  
    HkV/+ {;S~  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ttKfZ0  
    R|M:6]}   
    4dok/ +Ec  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 .XE]vo  
     (,TO|  
    PA=BNKlH  
    \c\=S  
    导出加工数据 #rC/y0niH  
     /<2_K4(-{4  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 5 O6MI4:  
     2?ednMoE  
    kL3=7t^ 1  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 }dR *bG  
     1k~jVC2VA  
    w:N2 xI  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 a;zcAeX  
           SeTU`WLEm  
    evR=Z\ _  
    2X]\:<[4  
    p4Y 9$(X  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 z[rB/ |2  
    ( BGipX4  
    p~b$+8#+  
    Ii8jY_  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 `Qhh{  
     L!G3u/  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 "<(~  
    +W1rm$Q  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 &Xav$6+Z1J  
    OG+$F  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 H:_`]X"  
    YH>n{o;- ?  
    S=2,jPX2r  
    导出加工数据列表 + ThKqC_  
     !:8!\gE ^P  
    WDZi @9X_  
    HHYcFoJwYN  
    导入加工数据 Pla EI p  
     g;h&Xkp  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 9<ayQ*  
     4Uiqi{}  
    'n no)kQ"  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ^:j$p,0e*S  
     Vh8uE  
    &M!:,B  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) ]*|K8&jxl  
    \) ;rOqh  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 4Rn i7qH  
     K0\WN"ua;  
    nGVqVSxKT  
    y ^\8x^Eg  
    ]@>|y2  
    1#(1Bs6X  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 ?zEF?LJoK  
    SXEiyy[7v  
    7E95"B&w  
    6) 导入完成，观察3D视图 H.L@]~AyL  
     {E/TC%  
    qAS^5|(b[  
    1N+#(<x@,  
    KB = z{g  
    QQ：2987619807
     
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