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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： |TUpv*pq  
     ;:e,C@Fm  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； cY"^3Ot%^  
     aXJe"IT.u  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 7}x-({bqy  
     V]O :;(W_  
    结构设计 ZkIQ-;wx  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 *"CvB{XF&Z  
     zc1Zuco| R  
    Km nr }Lp9  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 %xfy\of+Nk  
     `?@7 KEl>  
         ;dFe >`~  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 y%,BDyK  
     \Cs<'(=  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 Qm.kXlsDI  
    -&EmEXs%  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 <di_2hN  
     'AAY!{>  
    0/ Ht;(  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 _)l %-*Z7p  
    6-=_i)kzq  
    :}JZKj!}M  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 u7=[~l&L  
     ~/U0S.C  
    V3oAZ34)  
     * [5  
    导出加工数据 *02( J  
     @,MdvR+a  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) eFio,  
     E%^28}dN  
    0uz"}v)  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 6b/b} vl  
     [KH?5 C  
    rxK0<pWJhx  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 K8J2eV\  
           88>Uu!M=f  
    &XsLp&Do2  
    QVW6SY  
    re!8nuBsA  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 x 5SQ+7  
    S |x)7NC  
    pNlisS  
    T]|O/  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 \`zG`f  
     i'wF>EBz  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 sPg6eAd~?  
    5G!U'.gr  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 WQpJd7  
    $t$f1?  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 C):d9OI?  
    ikhX5 &e  
    &XRFX 5gP  
    导出加工数据列表 `5-#M/J  
     y.:-  
    n:'BN([]o  
    a{*'pY(R0$  
    导入加工数据 n ;5?^Un%  
     DH9?2)aR  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI !|h2&tH  
     l :Nxl  
    xD# I&.  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) f*vk1dS:*3  
     X-$td~r  
    %GbPrlu  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) )[sO5X7'^  
    +)JqEwCrq  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 "IG$VjgcB  
     3Z:!o$  
    tgtoK|.  
    M5kHD]b  
    $pfe2(8  
    ^Cn]+0G#C8  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 GFdJFQio  
    kQd[E-b7  
    #}7m'F  
    6) 导入完成，观察3D视图 DG*o w^  
     +N$7=oGC  
    = )l:^+q  
    8+a<#? ;  
    wT~;tOw~  
    QQ：2987619807
     
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