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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： ij] ~n  
     !Dc?9W!b  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； g.Ur~5r  
     &kd W(;`  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 ])y)]H#{  
     D A=LR  
    结构设计 pqs!kSJV  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 0*]0#2Z  
     W:<2" &7  
    2 Ax(q&`9  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 X_-/j.  
     Vfd_nD^8oZ  
         ]z7pa^  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 9*j"@Rm  
     Yw=@*CK'  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 Z-t qSw8n  
    w\ '5l k,"  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 -d!84_d9  
     *9KT@"v  
    SgQmR#5  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 d>J +7ex+  
    HHyN\  
    2|!jst  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 0@' -g^PS  
     _Hq)@A I   
    }:?_/$};  
    O:V.;q2]U  
    导出加工数据 qu1! KS  
     f~?5;f:E  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) $!'Vn)Z7  
     %j0c|u  
    3NwdE/x\  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 }cW8B"_"  
     l}S96B  
    p&XuNk  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 p*$=EomY  
           @B+8' b$9  
    1iqgTi>  
    ~E DO< O>3  
    %> YRNW@%  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 2MXg)GBcU>  
    +A 6kw%"  
    &z\?A2Mw%  
    q2Gm8>F1y.  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 IH=%%AS  
     9Z2aFW9  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 sN[<{;K4  
    *W}nw$tnBX  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 q/7T-"q/G  
    4}Os>M{k  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ayf;'1  
    'Um\m  
    ;cv\v(0  
    导出加工数据列表 }z-)!8vF  
     0a$hK9BH  
    cpq0' x\  
    XC[AJ!q`  
    导入加工数据  vO;:~  
     I7#+B1t  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI dr=KoAIxy  
     fxD|_  
    \$8p8MP<&D  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) +P*,i$MV  
     oM}P Wf-  
    #Nv0d|0\  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) `Z#]lS?  
    nza^<DlS  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 7:)$oH  
     {M0pq3SL*t  
    wGpw+O  
    H?pWyc<,  
    mhnK{M @56  
    BjUz"69  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 g5~1uU$O  
    '$CJZ`nt  
    8+~|!)a  
    6) 导入完成，观察3D视图 %lK]m`(  
     (Bfy   
    z:tu_5w!,  
    pdR&2fp  
    ~ @s$  
    QQ：2987619807
     
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