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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： kUL' 1!j7  
     DD+7V@  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； -lr vKrt7  
     z}77Eh<  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 0I-9nuw,^;  
     b"<liGh"n-  
    结构设计 + B,}Qr  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 %vn"{3y>rF  
     6fE7W>la  
    e-})6)XgA  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 hIYNhZv  
     y;m|  
         '|6]_   
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 <yV"6/l 0  
     jKz$@gP  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 wyH[x!QX  
    ih-#5M@  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 CCs%%U/=  
     )J o: pkM  
    >4x(e\B  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Y Vt% 0  
    rK 8lBy:<  
    \Gef \   
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 r8t}TU>C  
     ]6k\)#%2  
    hE:9{;Gf  
    nUaJzPl  
    导出加工数据 .r=4pQ@#  
     >>4qJ%bL  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) zF`0J  
     q^@Q"J =v  
    :^lI`9'*R  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 etQCzYIhn  
     do hA0  
    u4cnE"  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 a K[&V't~  
            \{_q.;}  
    7uqzm  
    x`eo"5.$  
    `GBW%X/  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 Y sC>i`n9  
    /aCc17>2V{  
    )EPjAv  
    ^ 'MT0j  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 olB.*#gA  
     BiLY(1,  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 tn\yI!a  
    VcE:G#]5  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 RF$eQzW  
    [C 7^r3w  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ](]i 'fE>  
    0@0w+&*"@  
    KJUH(]>F  
    导出加工数据列表 gT{Q#C2Baw  
     c% -Tem'#  
    )2KF}{  
    _IHV7*u{;  
    导入加工数据 IxN9&xa  
     q CC.^8  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI _#E0g'3  
     un"Gozmt5  
    a#(?P.6  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) BN5[,J  
     w>&aEv/f  
    HXC ;Np  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) |*eZD-f  
     `,*3[  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 F@jZ ho  
     bjW]bRw  
    y3Qsv  
    ij`w} V  
    dm0R[[7  
    w$iX.2|9%u  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 =!A_^;NQf  
    A1$TXr  
    \~mT] '5  
    6) 导入完成，观察3D视图 2DDtu[}  
     T@B/xAq5!  
    OX0%C.K)hZ  
    K:[F%e  
    oG?Xk%7&\  
    QQ：2987619807
     
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