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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： FQB6` M  
     LHusy;<E[  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； EE~DU;p;]  
     !F)BTB7{<  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 &bwI7cO  
     i)M JP*  
    结构设计 "IzM:  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 GOY!()F  
     Nj}-"R\u  
    pq*4yaTT'  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 QqB9I-_  
     x3=SMN|a  
         $$---Y   
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 wN$u^]  
     l7S&s&W @  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 QjFE  
    ,Y27uey{wa  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 y.WEO>   
     fsV_>5I6  
    (x8D ]a  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 =\x(Rs3  
    j.g9O]pi  
    h~.z[  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 a>)|SfsE  
     b^&nr[DC  
    @HP7$U"  
    ^r^)  &]  
    导出加工数据 I :o.%5)  
     .Za)S5U  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) hv9k9i7@l  
     -<@QR8:  
    Bpdx]5qfK  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览  pytF K)U  
     JX2@i8[~  
    !^(?C@TQ  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 s)V<dm;T  
           [UYE.$Y#(  
    7Ezy-x2h  
    Hge0$6l  
    hD>cxo  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 :eW`El  
    7\ kixfEg  
    U<.,"`=l  
    fV5MI[ t  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 "1>48Z-UC  
     >Ef{e6  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 lb<D,&+  
    TCetd#;R  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Eh|v>Yew  
    9*j$U$:'  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 K_ [B@( Xl  
    {K>}eO:K  
    DjveMs$d  
    导出加工数据列表 h4k.1yH;  
     NKE,}^C  
    si`h(VD9w  
    ;n;bap  
    导入加工数据 Kz2s{y~?  
     #^eXnhj9  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI p2uZ*sY(D  
     0iTh |K0  
    >}6V=r3[+  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) b]xE^zM-I`  
     oVja$;>  
    2(K@V6j$M  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) kr>H,%3~  
    OCN@P+L3q  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 &ub0t9R  
     KkD&|&!Q7u  
    a?ux  
    bz\-%$^k  
    {<y.G1<.  
    _"688u'88  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 (bo-JOOdY(  
    g]E>e v{`  
    |++\"g  
    6) 导入完成，观察3D视图 \O(~:KN  
     Ue2%w/Yo  
    XCUU(H  
    6Dz N.fz  
    !pAb+6~T  
    QQ：2987619807
     
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