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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： }6=? zs}  
     )uMv]  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 4Z5;y[k(  
     ]&dPY[~,/i  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 6Nt/>[  
     %?Q&a ]  
    结构设计 9A/bA|$  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 Uv652DC  
     `6;$Z)=.  
    9,JWi{lIv  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 |o'r?"  
     j(k}NWPH  
         ) .KMZ]  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 p#_ 5w  
     Zo }^"u  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 @th94tk,  
    drk BW}_  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 upX@8WxR  
     _pDfPLlY&  
    6As%<g=  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 67 ~pn  
    pf%; *  
    cOZBl;}  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 =;E0PB_w  
     *M_^I)*L  
    ect$g#  
    s|`wi}"x  
    导出加工数据 7upWM~H^  
     W/}_y8q  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) +\)Y,@cw  
     gNc;P[  
    Nh}u]<B  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 #dD0vYT&od  
     $G5:/,Q  
    1[$zdv{A  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 _:WNk(  
           3^xq+{\)  
    Yl:[b{Py  
    YDj5+'y  
    = ^Vp \  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 iz{TSU  
    (|rf>=B+H  
    . UH'U\M  
    hUuKkUR+Ir  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 kytHOn#  
     9%"`9j~H>  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 .\&k]}0qA?  
    3D1y^I  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Bq1}"092  
    <RZqs  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 dv+ZxP%g  
    9q 2 vT^  
    )rt%.`  
    导出加工数据列表 xI~A Z:m  
     nMfR< %r  
    k_ywwkG9lU  
    ,<)D3K<  
    导入加工数据 \nPf\6;M  
     4y?n62N8$  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ~!Nw]lb!  
     Xo] 2iQy  
    S'kgpF"bm  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) dUt4] ar  
     x[&<e<6  
    URg;e M#  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) &R?to>xr \  
    \E<Qi3W>*  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 dr+(C[=  
     }qhYHC  
    tHHJ|4C  
    E2YVl%.  
    c5b }q@nH  
    FfrC/"N  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 &v t)7[  
    /3K)$Er  
    aq8./^  
    6) 导入完成，观察3D视图 (V\N1T,f  
     P}UxA!  
    UcOP 0_/  
    \w>Rmf'|  
    l>`66~+s,`  
    QQ：2987619807
     
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