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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： \~U8<z  
     lS9rgq<n  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； $I+QyKO9k  
     NtSa# $A  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 ZOfyy E  
     Qnph?t>  
    结构设计 k6. }.  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 jsc1B  
     Xb3z<r   
    G' Jsk4:c  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 XkOsnI8n  
     ;#cb%e3  
         8 <EE4y  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 dz&8$(f,  
     7k{C'\m  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 LEWeybT  
    $_% a=0  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 eDgRYa9\  
     jL>IX`,+6  
    s9@/(_  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 E"nIC,VZ  
    z45ImItH  
    K1]H~'  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 V8 }yK$4b  
     STL&ZO  
    a9`E&Q}z  
    j"9bt GX  
    导出加工数据 #jv~FR`4v^  
     ehV`@ss  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) #\_N-bVu  
     X@2[!%nm  
    aI{Ehbf=  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 xJ:15eDC  
     sjvlnnO   
    yL7D;<!S&  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 *?VbN}g2  
           O=?WI  
    a4Qr\"Qm  
    K?8{ y  
    uckag/tv  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 c,:xm=&  
    waz)jEk  
    hOx'uO`x(  
    %O#)=M~  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 vd6Y'Zk|F6  
     M,7A|?O  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 J=JYf_=4bc  
    0&} "!)  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 01uMbtM  
    !`LaX!bmp  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 XCc /\  
    $vlq]6V8  
    mEyJ o|  
    导出加工数据列表 71_{FL8  
     t;!v jac  
    ;}"_hLX  
    B"rnSui  
    导入加工数据 ) jv]Oz  
     ~za=yZo7(  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI tpOMKh.`  
     sEP-jEuwG  
    CZe0kH^:{  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ?-1r$z  
     r~&"D#)sy  
    :vZ8n6J[  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) y !)  
    mrX 2w  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 Fa:fBs{  
     r2M Iw  
    ?^t"tY  
    v]SHude{  
    FKRO0%M4}Z  
    q1}HsTnBH  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 <Z GEmQ  
    `@1y|j:m  
    J6J[\  
    6) 导入完成，观察3D视图 +RW P;rk  
     o!!";q%DX  
    &.J8O+  
    &D0suK#  
    ChO?Lm$y  
    QQ：2987619807
     
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