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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介: 2$  
    M!-q}5';  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; .h a`)@MsZ  
    Slo9#26  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 u5/t2}^T  
    iW":DOdi_  
    结构设计 mUiOD$rO  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 V3 qT<}y|  
    HmFNE$k  
    ;i/"$K  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 u9 %;{:]h  
    G IK u  
         $>|?k$(x  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ~U/8 @gR  
    ?${V{=)*X'  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 @{'o#EJY  
    pAMo XJ`  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 +&(J n  
    a4:`2  
    ^z38<L=z"  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 oO8]lHS?@  
    xP42xv9U  
    /#@LRN<oCq  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 l<s :%%CX  
    _ \_3s  
    +BU0 6lLD  
    gZ1N&/9;  
    导出加工数据 #&}%70R)  
    <` #,AVH  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) =z+-l5Gu"  
    i'U,S`L6>  
    fmtuFr^a1  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 >\Z lZ  
    G,+xT}@wu  
    is64)2F](  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 bb*c+XN0  
           _F! :(@}  
    @wg&6uQ  
    G[ ,,L  
    ="/R5fp  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 Rd`{qW  
    2Y9y5[K,F)  
    MacL3f  
    Ma% E&.ed  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 muW`pm  
    e!TG< (S  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 |G[{{qZM5  
    9NJ=~Ub-  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 GjG{qR  
    Rc$=+K#  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 Uyz;U34 oI  
    u?F7 L8q]  
    Sn;/;^@(\  
    导出加工数据列表 Wh#os,U$  
    9|us<k  
    b>G qNf!  
    cP/F| uG5  
    导入加工数据 x0}<n99qE  
    N:m@D][/sW  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI s?4%<jz  
    }Z~pfm_S  
    =e"H1^Ml  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) %#[r_QQ^  
    B^E2UNRA  
    JS<e`#c&  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) "~ .8eKRQ  
    D4YT33$tC  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 )Mm;9UA  
    >\^N\&  
    4WBo ZJ  
    mtiO7w"M\7  
    w a-_O<  
    @g@ fL%  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 \i&vOH'  
    G}Qk!r  
    KT]J,b  
    6) 导入完成,观察3D视图 nN(D7wk  
    Q6s5#7h'"  
    E@\d<c.  
    Z7m GC`>  
    f4A4  
    QQ:2987619807
     
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