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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： Thz&wH`W  
     M|e@N  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； l$z-'  
     UF0PWpuO  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 QCMt4`% 'u  
     &Tl3\T0D  
    结构设计 _jP]ifu`  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 +AXui|mn  
     OCF= )#}qd  
    HjL+Wg  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 , @(lYeD"  
     -R| v&h%T  
         i?||R|>;"'  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 h\:"k_u#  
     {QJJw}!#  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 Sh=z  
    j#.Aiy:,  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 kOeW,:&65  
     ".~,(*  
    Ptn0;GC  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 U H `=  
    1@;Dn'  
    Qp]V~s(  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 Me2%X>;  
     '\=aSZVO  
    S0du, A~  
    eY;XF.mF  
    导出加工数据 wNq#vn  
     x7>' 1  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 3hGYNlQ^  
     <Zn]L:  
    $CRu?WUS]'  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 Wi)Y9frE  
     <V>]-bl/  
    sA#}0>`3S  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 <0T|RhbY   
           u{o3  
    /&_$+Iun  
    xo a1='  
    U]ynnw4  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 jH({Qc,97  
    YZMSiDv[e  
     6g576  
    8,7^@[bzXx  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 X@RS /  
     whxTCIV  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ]{s0/(EA  
    "m4. _4U  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 j 4!$[h  
    Y 3h`uLQ  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 Py y!B  
    nm Y_)s  
    z{`K_s%5  
    导出加工数据列表 +saXN6  
     N?`V;`[  
    1-0tG+  
    JlR$"GU  
    导入加工数据 %D1 |0v8}  
     70Jx[3vr  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI <-;/,uu  
     `i`+yh>pc#  
    B\S}*IE  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) @QteC@k  
     E@,m +  
    K*I!:1;3N  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) e`n+U-)z  
    Znr@-=xZO*  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 +`,;tz=?  
     :^7>kJ5?  
    ,2YZB*6h{  
    @@JyCUd  
    1r$*8 |p  
    (Zg'])  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 L"bZ~'y  
    @<NuuYQ&  
    wg%g(FO  
    6) 导入完成，观察3D视图 qG@YNc  
     3ew4QPT'  
    vj jVZ  
    qv& Bai[  
    ZDg(D"  
    QQ：2987619807
     
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