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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： {*ZY(6^  
     ;?}l  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； D9mz9  
     !}\4u tHY  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 \7MHaQvS   
     ^[Ua46/"m  
    结构设计 `s '#  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 Sx:Ur>?hd5  
     $I#q  
    &|%6|u9  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 e}@)z3Q<l  
     xR"M*%{@0  
         :0K8h  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 LAx4Xp/  
     7f<EoSK  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 M L7 \BT  
    "'^4*o9  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 v{i7h|e  
     .0u/|Yx  
    "M|P+A  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Y $g$x<7  
    /2{5;  
    ]fnnZ  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 C8#@+Q.  
     o ]Jv;Iy@?  
    4RKW  
    VN4yn| f/  
    导出加工数据 L.xZ_ 6  
     &)i|$J 2.  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) RUCPV[{b  
     IdIrI  
    *xf._~E  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 3$vRW.c\q  
     k^$+n_  
    o01kYBD  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 j4FeSGa  
           , "jbq~  
    5`~mmAUk;`  
    lcON+j  
    MyJ4><oG  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 K.C> a:J  
    sUl6hX4  
    %CZ-r"A  
    7;.xc{  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 >}~#>Ru  
     |CgnCUv+  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 .*=]gZ$IE  
    vgn@d,v  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 :H.   
    i$^)UZJ&0  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 Z'pQ^MO  
    sDqe(x}a  
    %zC[KE*~  
    导出加工数据列表 ogM%N  
     |eoid?=  
    STfyCtS  
    qP!eJ6[Nh"  
    导入加工数据 qZ@0]"h  
     Mv|ykJoz"  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 3>zN/ f  
     QYXx:nIrg  
    He0=-AR8  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) L+B?~_*  
     =9L$L|W  
    nU+tM~C%a  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) HLQ"?OFlz  
    Uts"aQ  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 fBBa4"OK=  
     ZWc+),X  
    y<W8Q<9  
    | sqZ$Mu  
    8B!aO/Km  
    iMF<5fLH&  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 I4H`YOD%  
    F9c`({6k  
    7>o .0  
    6) 导入完成，观察3D视图 78n}rT%k1  
     !yjo   
    fLN!EDq  
    Kj=gm .  
    1,2EhfX|s  
    QQ：2987619807
     
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