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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介: XCk \#(VSE  
    fdPg{3x*k  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; [g%oo3`A  
    s^E%Uk m  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 "V^(i%E;  
    6T)D6;@L  
    结构设计 jF'S"_/?  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 jd$lu^>I  
    Yr0%ZYfN  
    H7R1GaJ  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 j:fL_1m  
    F02NnF  
         Q"\*JV5  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 <Z}2A8mjY  
    *VD-c  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 6r^(VT  
    C:H9C  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 zfv l<"Rv  
    K 0b(D8!  
    *P9)M%  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 tcmG>^YM  
    OI1&Z4Lx  
    IV!&jL  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 z m_mLk$4H  
    6\ (\  
    ,%D \  
    S3.Pqp_<  
    导出加工数据 .( 75.^b2)  
    )=2iGEVW  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) >/-<,,<\C  
    02bv0  
    l'mgjv~  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 v vOG]2z  
    |wWBV{^  
    poQY X5  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 XlR.Y~  
           \z0"  
    `@-H ;  
    PT|t6V"wd  
    \_0nH`  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 `WX @1]m  
    LzP+l>m  
    ]B\H  
    UoBmS 5  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 f)/Yru. ;  
    uq{w1O5  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 jDOB (fE  
    wwk=*X-8  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 [gx6e 44  
    R$_#7>3  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 9qIjs$g  
    ):kDWc  
    FK{Vnj0  
    导出加工数据列表 2E;UHR  
    :$L^l{gT  
    {p=`"H>  
    H0LEK(K  
    导入加工数据 :I[nA?d[&  
    !.Eua3:V*  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI M4~^tML>Ey  
    .}=gr+<bf  
    n&y'Mb PB  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) :G!i]1x<  
    Eg$ I  
    4$~eG"wu  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) x2%xrlv<J/  
    a9}7K/Y=d  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 CD]"Q1 t}  
    DI"KH)XD  
    Wl\.*^`k  
    :2ILN.&  
    8eGq.+5G  
    'I^3r~_  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 t<h[Lb%{T4  
    waT'|9{  
    n W:P"L  
    6) 导入完成,观察3D视图 "MM)AY*b  
    z0!k  
    >BFUts%  
    76epkiz;=  
    5 6w6=Is  
    QQ:2987619807
     
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