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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： %`}CbD6  
     ),\>'{~5&  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； =O)JPo&iwY  
     [`fq4Ky  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 ja7Z v[  
     0m`7|80#P  
    结构设计 :Rt5=0x   
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 BdO$  
     *!9/`zW  
    jD^L<  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 y=vH8D]%X  
     YC=BP5^  
         Op)0D:BmR  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 0uU%jN$  
     /"CKVQ  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 sD{b0mZT  
    yekIw  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 @?B=8VHR  
     {C]M]b*F6(  
    c(#`z!FB  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 +X*`}-3  
    N@MeaO  
    ri JyH;)  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 w ^<Y5K  
     dWqFP  
    zK-hNDFL{  
    Jl]]nO BQ/  
    导出加工数据 t^CT^z  
     @>9p2u)=  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) h{* O9O<  
     uCu,'F,6Y  
    G'Q7(c  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ^CK)q2K>[  
     [BQw$8 +n_  
    ooZ-T>$  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 D`t e|K5  
           _).'SU)>  
    ,#wVqBEk  
    jujx3rnK?  
    :):Y6)giBD  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 Eq8OAuN  
    9>i6oF]Oq  
    $k`8Zx w  
    :T\WYKX3C  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 !GIsmqVY  
     j&Hn`G  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 4C*3#/TR  
    I }/Oi]jA6  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 <y.D0^68  
    w@: ]]R  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ^X&9"x)4  
    X#3<hN*v  
    R82Y&s;  
    导出加工数据列表 pt4xUu{  
     13QCM0#  
    2 YN` :"  
    }=|ZEhtOp  
    导入加工数据 Oq2H>eW`f  
     Qi[D&47XO  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI qXI30Yo#d  
     J7\q #]?  
    y[|g!9Rp  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) [*vN`AfE  
     e6R "W9  
    epbp9[`  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) xI<dBg|]+  
    V1:3  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 5HbTgNI  
     h]Oplp4 \W  
    5qr!OEF2  
    cik@QN<[0  
    {^f0RGJg9  
    -7O/ed+  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 .zAafi0  
    -{*V)J_Co  
    vs@:L)GW\  
    6) 导入完成，观察3D视图 S1zw'!O5  
     Dq?HUb^X  
    4:@|q:DR  
    Qyjuzfmz  
    =Yj[MVn  
    QQ：2987619807
     
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