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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： "=!sZO?3  
     ?xw0kXK4  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； WB3YN+Xl3  
      _:HQ4s@  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 ?wREX[Tqs  
     aRcVoOq  
    结构设计 l!j,9wz7  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 -`,F e3  
     DhN<e7c`  
    9{8xMM-  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 4D sHUc6  
     t(p}0}Pp  
         ;&$f~P Q  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 d$:LUxM#  
     U3BhoD#f\  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 jbp?6GW  
    k1~? }+<e  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 6&_K;  
     c{[lT2yxU  
    1!Afq}|  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Ww=b{lUD  
    6/.cS4  
    ]MnQ3bWq"j  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 Q-Oj%w4e  
     @@H?w7y?&  
    f"t+r /d  
    _ qU-@Y$  
    导出加工数据 dgT(]H  
     :*MR$Jf  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) , FR/X/8  
     }ZJJqJ`*e  
    6UM1>xq9A  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 Pxf/*z  
     >tE6^7B*  
    Iqq BUH  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 75;g|+  
           6 tl#AJ-  
    7yUX]95y8  
    e*M-y C  
    sBLOrbo  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 j[Gg[7q{y  
    Rw)=<XV)6  
    {\gpXVrn_  
    3L9@ELY4  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 #'BPW<Ob  
     \i3)/sZ?l  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 !vq|*8  
    4@QR2K|  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 #U.6HBuQa  
    1AQy 8n*  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 Qcn;:6_&W  
    h_6c9VI  
    v(zfq'^%`  
    导出加工数据列表 NRazI_Z  
     K9ek  
    hG >kx8h  
    X'j9l4Ph7  
    导入加工数据 o8~<t]Ejw  
     D B(!*6#?  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI J~AmRo0!k  
     A45!hhf  
    5]K2to)>`  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) #fb &51  
     +v< \l=  
    d<[L^s9  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) v1p^=" IHI  
    5YYBX\MV  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 %Z*N /nU  
     ~ 1~|/WG  
    |)S*RQb\  
    )FN$Jlo  
    49YN@ PXC  
    q@1xYz:J  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 S|F:[(WaM  
    gt\kTn."  
    nO#x "  
    6) 导入完成，观察3D视图 Re*_Dt=r  
     'V\V=yc1  
    }s[`T   
    6FY.kN\  
    }b]eiPWN  
    QQ：2987619807
     
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