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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介: u[ "Pg  
    k\1q Jr  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; a?&oOQd-iP  
    K)F;^)KDHf  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 4l>/6LNMF  
    mu|#(u  
    结构设计 (<2PhJ|  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 xZbm,. v  
    G^j/8e  
    %6dFACv  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 QvjsI;CQ-  
    Rq9v+Xq2  
         D.U)R7(  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 +7d%)t  
    LlX 7g _!  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 lhJT&  
    9cX ~  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 VO[s:e9L  
    uu]<R@!J  
    MQw{^6Z>1  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 _T8#36iR  
    ;lnh;0B  
    kcM9 ,bG  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 WX]kez{<uP  
    om9fg66  
    v-_K'm  
    D_(xhM  
    导出加工数据 S1*n4w.H  
    jsfyNl? 6  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) >*B/Wy  
    jZ7#xRt5w  
    Z/6B[,V  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 8%>  Ls  
    _`*x}  
    ?VO*s-G:J  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 b78'yM&  
           \0'o*nlJ  
    ~'=s?\I  
    q2Ax-#  
    OGrp {s  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 ={YW*1Xw  
    0;} 9XZ  
    x]XhWScr '  
    thl{IU  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 2< w/GX.  
    >}43MxU?  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ]aXCi"fMs  
    B&+V%~/  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 L&][730  
    ;WO/xA-#  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 -=s7Q{O8Z  
    w<.{(1:v  
    Ng0V&oDI  
    导出加工数据列表 w}K<,5I>  
    [XhuJdr"u  
    6 80i?=z  
     9 k)?-  
    导入加工数据 !!%vs 6  
    \[% [`m  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI -r_z,h|  
    ~^w;`~L  
    O}*[@uv/  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) VSc;}LH  
    "=MRzSke3  
    .3Jggp  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) r8pTtf#Q  
    *ukE"Aj  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 kQRNVdiz  
    m%X~EwFc.  
    F'|D  
    GX4# IRq  
    TWK(vEDM  
    "|gNNmr  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 .zAB)rNc |  
    .fk!~8b[Q+  
    #E3Y; b%v  
    6) 导入完成,观察3D视图 `[0.G0i  
    {()8 W r  
    C6Ap  4  
    o;7!$v>uK  
    #f5-f  
    QQ:2987619807
     
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