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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： OZ6:u^OS]  
     A#8J6xcSrL  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； e)*-<AGwC  
     a9g~(#?a  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 (DY&{vudF  
     T$*#q('1"}  
    结构设计 rBZ0Fx$/[  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 L*(`c cU  
     e>g>)!F  
    3#N`n |UgC  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 UOn:@Qn  
     aI_[h v  
         m"GgaH3,  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 r2T$ ;m.  
     vE&K!k`  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 @Io@1[kj  
    rk &ME#<r  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 o^v]d7I8b  
     l- $5CO  
    ]]XXcQ,A  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 YT}ZLx  
    i'p6#  
    G>,43S!<  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 !p!^[/9"c  
     [,sm]/Xlc  
    6o&ZS @  
    }h1y^fuGi  
    导出加工数据 $V,ZH* g  
     mv>-XJ+  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) @]7s`?  
     "xAIK  
    ^j7>Ul,  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 *R3^:Y&  
     yb!/DaCd  
    I(>j"H)cAF  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Tly*i"[&  
           Pye/o  
    lP *p7Y '  
    p# JPLCs  
    ^Q9K]Vo  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 1>L8EImx]V  
    uc aa;zj  
    ~DP5Qi  
    2`J#)f|  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 m= rMx]k  
     OV|n/~  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 2=7:6Fw  
    '&/~Sh$%  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 <Vl`EfA(  
     E]W :  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 u Au'2M,_  
    -ufaV#  
    $}B&u)  
    导出加工数据列表 <[vsGUbc  
     M[P1hFuna  
    Vg}+w Nt5  
    v%7Gh -P  
    导入加工数据 M[cAfu  
     XZrzG P(  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI }=A+W2D  
     W&HxMi  
    =R*IOJ  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) +wfZFJ:1l  
     5xQ5)B4k  
    mQ3gp&d3W  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) +xQj-r)-  
    = u&dU'@q  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 SgkW-#  
     eoJ*?v  
    <?%49  
    8S5Q{[!  
    -.K'rW  
    ' pIC~  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 .  LeS-  
    ? M.'YB2  
    Fb ~h{  
    6) 导入完成，观察3D视图 }(oWXwFb&W  
     |h6, .#n  
    / 2MhP=,  
    JsEnhE}]  
    \F)WUIK  
    QQ：2987619807
     
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