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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： 3Q!J9t5dc  
     W2W2WyPk  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； aJa^~*N/Aa  
     ou,=MpXx*  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 4 HJZ^bq9|  
     5E oWyy  
    结构设计 0:B^  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 9Qs"X7iH  
     Uf2v$Jl+Yh  
    P9tQS"Rs  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 jhEg#Q$  
     k,*#I<($  
         5[j!\d}U  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 0Z) ;.l^  
     %&=(,;d  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 ;KZtW  
    ;MRC~F=  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 !$KhL.4P  
     :?:j$ =nWN  
    v<J;S9u=  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 U)I `:J+A  
    N;`[R>Z~  
    (HrkUkw  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 ";S*[d.2tA  
     ch,Zk )y:_  
    : ! iPn%  
    }fZ =T4r  
    导出加工数据 EDidg"0p  
     3!oQmG_T  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) :@@A  
     Pdm6u73  
    q V UUuyF  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 `F+x]<m!  
     9M7(_E;)B  
    rX>y>{w~  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 72`/xryY  
           -IE P?NX  
    P7k$^n  
    ,8"[ /@  
    };|PFWs  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 _hyxKrm' 6  
    , w'$T)  
    &pY G   
    SX=0f^  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 ,nChwEn  
     On.x~ t  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 =Wy`X0h  
    S. F=$z.%  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 jme5'FR  
    PD T\Q\J^X  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 b;{"lJ:+Z  
    q}F%o0  
    Gx a.<E^k  
    导出加工数据列表 C.B}Py+   
     BSu)O~s  
    6u, 0y$3  
    7@cvy? v{  
    导入加工数据 M7<#=pX&  
     ?! _pP|  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI %FWfiFV|<  
     i`nw"8  
    aLk2#1$g  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) Y$$?8xr ~  
     $0S"Lh{  
    (`y|AOs  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) KIBZQ.uG  
    s>``- ]3  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 U8$dG)PhA  
     I;Fy k70w;  
    -QI`npsnV  
    ZFuJ2 :  
    G1^!ej  
    jzA8f+:q  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 <d&)|W  
    8Pdnw/W  
    g7z9i[  
    6) 导入完成，观察3D视图 ^t ldm7{_  
     ftH%, /,  
    <.(/#=2  
    J$/BH\  
    JIKxY$GS  
    QQ：2987619807
     
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