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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： 13]y)(  
     y& Gw.N}<r  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； csm?oUniz  
     7YSuB9{M  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 M|aQ)ivh3  
     96k(X LR  
    结构设计 gS0,')w  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 H==X0  
     DDZTqsws  
    P/HHWiD`D  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 1Z=;Uy\  
     d u _O}x  
         agGgJ@  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ggzAU6J  
     VN1# 8{  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 pPU2ar  
    %YsRm%q  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 h6K!|-Gq.  
     i] V F'tG  
    h:eN>yW  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 g5?r9e  
    B>c[Zg1  
    V/+H_=|  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 F^J&g%ql  
     6uv'r;U]  
    +<vqkc  
    w/)e2CH  
    导出加工数据 k|)^!BdO  
     n/,rn>k7:  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) B`t)rBy  
     ,=x.aX Spz  
    G=+!d&mbg  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 `XFX`1  
     $u(M 4(}  
    j58Dki->.  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 ~QQEHx\4zZ  
           g0[<9.ke  
    mCZF5r  
    vUA)#z<  
    uk>q\j  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 LL6ON }  
    ^$ g],PAY  
    hv_pb#1Ks  
    l[ZQ7$kL  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 D~t"9Z\  
     Il tg0`  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 !]UU;8h~  
    ?kG#qt]Q5  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Vb"T],N1m  
    2xz%'X%  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 3/#R9J#  
    Z:r$;`K/  
    pEqr0Qwh  
    导出加工数据列表 N23+1h  
     ^+Y-=2u:  
    Oa3=+_C~$1  
    (PE8H~d  
    导入加工数据 _tWfb}6;Zb  
     9Le/'ovq  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI hc31+TL  
     LmT[N@>"  
    ._F 6-pl  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 4N0W& Dy  
     av| 6r#  
    hIg, 0B  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) &d &oP  
    >(1_Dn\  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 e P,XH{s  
     Q'%5"&XFD  
    R)DNFc:  
    WP#_qqO  
    ?AM 8*w  
    S &lTKYP  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 !xx> lX5  
    &xMJ^Nv  
     6@Z'fT4  
    6) 导入完成，观察3D视图  h(N 9RJ}  
     JQVw6*u{  
    cM7k){  
    f 7QUZb\  
    eL$U M  
    QQ：2987619807
     
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