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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： %N\45nYU:  
     Lz9|"F"V  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； M$v\7vBgO!  
     Q&$2F:4f&  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 V 7 p{'C   
     $XyDw|z[  
    结构设计 Yh,,(V6  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 &6GW9pl[  
     v*y,PY1*  
    `)=sQ2P  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 X.e4pLwGK  
     4M$"0}O;[h  
         "2!5g)iO  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 d<] eJ{  
     <@>icDFEHn  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 aB&a#^5CI  
    zcV~)go6  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 $*fEgU% c  
     x 'i~o'  
    u~t%GIg  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 d^Cv9%X  
    ;x)f;!e+  
    Q >h7H{c  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 pmUC4=&e  
     rb.:(d)T  
    TY+Rol;!  
    74A&#ecb{  
    导出加工数据 O8*yho  
     Q:b>1  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) R,hwn2@B  
     rgv$MnG  
    W1}d6Sbg  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 '8^>Z.~V  
     sVS),9\}  
    > W^"*B  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 p1s& y0:d  
           ;|vn;s/  
    ]D>\Z(b  
    }1Hy[4B(k\  
    9Kc;]2m  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 ,Igd<A=  
    TwZmZE ?!  
    &K"qnng/y  
    > {h/4T@  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 3jM+j_n R  
     ]E vK.ORy  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 DvBRK}'  
    =eeZtj.  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 l !R >I7  
    &~N@M!`Dn  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 enQev?8%  
    ;0 9~#Wop  
    Tml>>O  
    导出加工数据列表 /s`8=+\9  
     8Dc'"3+6  
    jW.IkG[|  
    =@ed {~  
    导入加工数据 HqKD]1  
     Ix+\oq,O  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI :&=`xAX-  
     {r[g.@  
    |("zW7g  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) &n2dL->*#  
     D]5cijO6  
    `< cn  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) X2C&q$8  
    Pu0O6@Rg  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 uKpWb1(  
     uU`Mq8) R  
    {edjvPlk  
    :LMLY<8>9  
    j |:{ B  
    8s<t* pI2  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 R(cM4T.a  
    %@x.km3e2  
    JQ"w{O  
    6) 导入完成，观察3D视图 =bl6:  
     47^R  
     jf~-;2  
    OOX[xv!b  
    ]^DNzqu=@h  
    QQ：2987619807
     
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