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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： fU$Jh/#":  
     G]aey>)  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； zy$jTqDH  
     n`Pl:L*kG  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 85&7WAco"B  
     _\+]/rY9o  
    结构设计  }cMkh  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 p)B /(%  
     [x{$f7CEh  
    =a,qRO  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 n)5t!  
     Cty{   
         xbCR4upS  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 k5-4^  
     N@PwC(   
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 l3b=8yn.  
    [6l0|Y  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 > .NLmzUX  
     [G8EX3  
    $BehU  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 H3$py|}lL  
    ddN(L`nd  
    )=GPhC/sw  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 b(N\R_IQ~  
     7 w,D2T  
    26aDPTP$<  
    _}p [(sTV  
    导出加工数据 BmpAH}%T  
     =!SV;^-q  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) If'2 m_  
     Rnwm6nu  
    e4=FO;%  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 k^ZP~.G  
     +:^l|6%}  
    EoJ\Jk  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 9+9g(6  
           |qe;+)0>K  
    c6i7f:'-0  
    =M-=94  
    A3tv'-e9  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 K!\v ?WbF  
    ?0:]% t18  
    ,!Q nh:  
    TsT5BC63  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 2LN6pu  
     oQ -m  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 w.58=Pr  
    r}qDvC D  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 NUVKAAgMX  
    4r4 #u'Om  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 !D['}%  
    s.7=!JQ#]p  
    %C`P7&8m=O  
    导出加工数据列表 +0U=UV)U  
     o#6QwbU25  
    z<9C-  
    )e5=<'f 1  
    导入加工数据 s? ;8h &]=  
     3);P !W4>  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI BAXu\a-C_  
     C~4SPCU  
    kiJ=C2'&  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) S|| W  
     vrb@::sy0T  
    <vWP_yy  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) @4UX~=:686  
    OEaL2T  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 n[e C  
     /UK?&+1qE  
    +&)/dHbL`]  
    W8bp3JX"  
    =&08s(A  
    0IqGy}+VU  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 >k`qPpf&  
    }=v4(M`%  
    V-#JV@b  
    6) 导入完成，观察3D视图 ]wDqdD y7S  
     bv h#Q_  
    o_Z9\'u  
    X<IW5*   
    7xO05)bz  
    QQ：2987619807
     
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