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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： [K_v,m]   
       -58  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； %-C   
     nff X  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 C4vmgl&  
     ]ADj 9  
    结构设计 h>>KH*dQ  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 @uru4>1_dy  
     I9JiH,+  
    7R W5U'B  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 1+`Bli]dE  
     s^:8bFn9$  
         Y`$dtg {  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 )*!"6d)^  
     JBY`Y ]V3  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 92y<E<n  
    ~loJYq'y  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 ce3w0UeV  
     >,JLYz|</  
    ""LCyKu   
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 HR0t[*  
    HoA[U T  
    X~ca8!Dq  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 +n#(QOz  
     CUz1 q*):  
    Vaj4p""\F  
    RZwjc<T  
    导出加工数据 cE}y~2cH  
     `U-i{i  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) y_aKW4L+  
     kGaK(^w  
    BK,h$z7#6  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 e+Qq a4  
     n.}A :Z  
    )C \ %R  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 *Ru@F:  
           L`$m<9w'  
    be ^09'  
    )`Zj:^bz9  
    if|j)h&  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 6Xu^ cbD  
    Jptzc:~B  
    iF.eBL%  
    .QwwGm  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 Rg4'9I%B  
     m53XN  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ] qT\z<}  
    >MXE)=  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 d[h2Y/AR  
    :g1C,M~  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 q]1HCWde  
    ho 5mH{"OV  
    +4[L_  
    导出加工数据列表 ; E Nhy  
     6 [q<%wA  
    D{b*,F:&@)  
    (X!?#)fyn  
    导入加工数据 '|v??`o#  
     U g 'y  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI j%|#8oV  
     43i@5F]  
    x3X^\ Ig  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) *rs@6BSj  
     QG~4 <zy  
    aT v  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) | rY.IbL  
    \ C^fi}/]  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 (:JX;<-  
     w Pk\dyP  
    *pu ,|  
    -2)6QKh~D  
    eB]cPo4gW  
    K^H{B& b8  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 3<5E254N  
    *2K/)(  
    R`)^eqB  
    6) 导入完成，观察3D视图 ^lF'KW$  
     3~Qvp )~  
    qs96($  
    ;S+UD~i[Bu  
    jgcI|?yL  
    QQ：2987619807
     
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