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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    7172
    光币
    30001
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： 7T?T0x3>  
     eA-$TSWh  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； LfMN 'Cb  
     8gW$\  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 zU";\);  
     +\RviF[+  
    结构设计 VLC=>w\,  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 q3ebps9^  
     qRCUkw} fs  
    p~z\&&0U0  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 Q&vU|y  
     w_*$w Vl  
         @6V kNe9  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 4o kZ  
     {cmV{ 4Yx  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 dC?l%,W  
    ;RS^^vDm  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 J:l%  
     :8Ugz~i  
    U /jCM?~  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 6t'vzcQs  
    $u, ~183  
    ;eC8| Xz  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 LT:8/&\  
     9j<7KSj  
    7@Xi*Azd  
    @+Anp4%;Y  
    导出加工数据 t]+h.  
     v(l:N@L  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) v K!vA-7  
     }VqCyJu&{  
    e\ ! ic  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ese?;1r  
     }T"&4Rvs2R  
    B1va]=([)W  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 rGQY  
           RC^k#+  
    ^\w!D{Y7Q  
    r^`~GG!,Q  
    O[ug7\cl+  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 6f&qtJQ<A  
    4d%QJ7y  
    oA4<AJ2  
    ),Igu  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 *_eY +\j  
     4^k+wQU  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 QoS]QY'bZ  
    s[}cj+0  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 ~y1k2n  
    LuWY}ste  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 vpoJ{TPO  
    M+WN\.2pX  
    /;`-[   
    导出加工数据列表  5 c1{[  
     `A$zLqz)Vm  
    j~O"=?7!O  
    d8VFa'|  
    导入加工数据 u=ZZ;%Rvd  
     $;j{?dvm.  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI kI,O9z7A7  
     b#Vm;6BHD1  
    N.-*ig.YR7  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) #X*=oG  
     }kMKA.O"  
    ZC9S0Z  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) }XfRKGQw  
    **F-#",  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ]_2<uK}fg  
     :CG;:( |  
    9C|-|mo  
    i"#zb&~nF  
    #<yKG\X?  
    '|nAGkA  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 zI'c'X1,  
    c6LPqPcN  
    VX e7b  
    6) 导入完成，观察3D视图 =8E GB\P  
     z}2  
    :{~TG]4M  
    A<{&?_U  
    $rH}2  
    QQ：2987619807
     
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