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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： [[]y Q "  
     ms;zC/  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； $y,KDR7^  
     Fx}v.A5  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 D\+x/r?-I  
     ' `c \Dq  
    结构设计 ] Ok &%-  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 $] xH"Z%"  
     2O@ON/  
    }yn%_KQ0  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 $GU  s\  
     y9]7LETv\M  
         aMGh$\Pg  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 fZr{x$]N0  
     k{lo'  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 \m}a%/  
    &=*1[j\  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 lK7:qo  
     0tL5t7/Gr  
    wJJ|]^0.  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 {fDRVnI?  
    A^+kA)8  
    wBg?-ji3<  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 N0}[&rE 8  
     568M4xzi  
    X_nbNql  
    R!7--]Wcg  
    导出加工数据 !KJ X$?  
     G~.VW48{n  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) o6|- :u5_/  
     l l*g *zt3  
    [h-NX  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 jg'"?KSU~  
     Qi dI  
    qGR1$\]  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 @ N'P?i  
           ## vP(M$  
    `L <sZ;Cj  
    fV7 k{dR  
    !Sy9v  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 tj0 0xYY  
    ;nbEV2Y<  
    GHLnwym  
    B/K=\qmm  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 tC$+;_=+F  
     9 ;vES^  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ow 6\j:$?  
    :.l\lj0Yf  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 `FNU- I4s  
    :N^B54o%6  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 )>b1%x} =  
    y c<%f  
    ]Hi1^Y<  
    导出加工数据列表 kO^  
     i@WO>+iB  
    !=;Evf  
    `WC4:8  
    导入加工数据 -V@ST9`  
     QjJlVlp  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI j!Ys/ D  
     Bs`='w%7  
    x~8R.Sg  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ujX\^c  
     +|+fDQI  
    ~ W8 M3(^  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 0{o 8-#  
    hZUS#75M5  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 TQ/#  
     X,o ]tgg=  
    #\Q)7pgi.  
    {/?{UbU  
    G+C{_o#3  
    ?H!&4o  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 }c4F}Cy  
    "4smW>f:%  
    93w$ck},?G  
    6) 导入完成，观察3D视图 4T&Jlu?:  
     \B/( H)Cd*  
    EOqV5$+  
    ^H<VH  
    GLV`IkU %  
    QQ：2987619807
     
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