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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介: f D<9k  
    @7Oqp-  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; |kPjjVGF{  
    M<R3JzT  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 kQ5mIJ9(  
    SW!lSIk  
    结构设计 4NaL#3  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 #1-,s.)  
    Ib(q9!L  
    /a}F ;^  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ^Oy97Y  
    v803@9@  
         ZS*PY,  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口  X}@^$'W  
    WC6yQSnY&  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 &M p??{g  
    5G!0Yy['  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 9Z.Xo kg  
    $on"@l%U  
    eD4D<\*  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 AgEX,SPP  
    TR;"&'#k  
    w;@NYMK)  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 0wM2v[^YO  
    ME.l{?v  
    U($bR|%D  
    6# [  
    导出加工数据 s!WGs_1@  
    <'n'>@  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) `1}WQS  
    T_\Nvzb}  
    SlU?,)J}  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 GM_~2Er]  
    sIUhk7Cd8  
    L|B/'  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 bTBV:]w  
           O+iNR9O  
    ?4k/V6n@y  
    lZ5LHUzP  
    j<"@ Y7  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 \9 ,a"g  
    >A5*=@7bY?  
     cs+;ijp  
    * {avx  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 ltQo_k  
    S vTd#>ke  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 F9ytU>zh  
    7:[u.cd  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 (G1KMy  
    dC'8orFG+  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 EM2=g9y  
    k^VL{z:EWB  
    h^QLvOuR  
    导出加工数据列表 `!,"">5  
    \#50; 8VJ  
    0tz7^:|D  
    ={'3j  
    导入加工数据 Z "mqH  
    t=l@(%O 0_  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI /penB[ 1i  
    0r_3:#Nn  
    $ jkzm8{W  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) #%9t-  
    Rb/|ae  
    8SZZ_tS3r  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 'zJBp 9a%  
    Z=+Tw!wR>  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 *x!j:/S`n  
    |*fi!nvk@  
    $)YalZ  
    SO|!x}GfI  
    q1^bH 6*fl  
    dDg[ry  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 YD9|2S!G  
    q!10 G  
    "g5<jp  
    6) 导入完成,观察3D视图 "cZ){w  
    9kzJ5}  
    G1 K@Ir<  
    gB<1;_KW  
    ZGw 6Bd_I  
    QQ:2987619807
     
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