切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1567阅读
    • 0回复

    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    7056
    光币
    29425
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介: ex-W{k$  
    $|r p5D6  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; P0XVR_TJf  
    4+15`  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 6i_dL|c  
    LjMhPzCp  
    结构设计 "N*i!h  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 c %.vI  
    r&c31k]E  
    lM-*{<B  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 >PMLjXK  
    (w{C*iB  
         <.B^\X$  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 [u}2xsSx  
    w00Ba^W  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 52d8EGC  
    RTRi{p  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 om}jQJ]KH  
    ;m cu(J  
    vQIN#;m4  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ;f)o_:(JJ  
    >gLLr1L\  
    ?^H1X-;  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 '`fz|.|cbB  
    A%c)=(,  
    ?sm@lDZ\  
    ;IYH5sG{  
    导出加工数据 bem-T`>'  
    hCKx%&[^7  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) hXx.  
    R x.]m0  
    cPm-)/E)i  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 &b7i> ()  
    DRw;.it2  
    ~ GW8|tw  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 -L%2*`-L$  
           {IpIQ-@l  
    Ee?+IZ H7|  
    dn)pVti_  
    ZT'Sw%U:  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 czv )D\*  
    ;c;n.o.)/#  
    x3++JG  
    c@1q8,  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 GxR, 3  
    f8'$Mn,  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 HAr_z@#E  
    oz- k_9%  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Y!tjaL 9D  
    WDdp(<  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 ] 336FgT  
    P.;S6i n  
    t|Ipxk.)  
    导出加工数据列表 MlM2(/ok  
    'F[ C 4  
    J|BZ{T}d  
    ;dh8|ujh  
    导入加工数据 BLvI[b|3gn  
    X;?Z_3I:5  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI  j{;RuNt  
    K{s% h0  
    ]$vJK  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) 0y3<Ho,+$  
    H~P"uYKIZ  
    A' \jaB  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) QF fKEMN  
    M5Twulz/w  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 f @cs<x  
    DB>Y#2j4h  
    dTV:/QM  
    8zRb)B+  
    XT|!XC!|  
    ]%y~cq  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 hR$lX8  
    B !(t<W8cu  
    cc%O35o  
    6) 导入完成,观察3D视图 f~.w2Cna  
    jbHk  
    w$5N6  
    (&6C,O~n^.  
    [wM<J$=2  
    QQ:2987619807
     
    分享到