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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： Bt> }rYz1  
     %X4xv_o`f  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； eqP&8^HP  
     GNXHM*~  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 @ zs'Y8  
     p<TpK )  
    结构设计 u.mJQDTH  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 SH_(rQby  
     6|aKL[%6  
    LQtj~c>X-|  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 J8S'/y(LE<  
     =NnNN'}  
         X 9p.gXF  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 MaRi+3F  
     (eCJ;%%k  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 /4a._@1h[y  
    ln?v j)j  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 HG+%HUO$  
     .q%WuQw  
    7![,Q~Fy  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ]$Yvj!K*Q  
    ,_Z5m;  
    !G SV6  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 _AQb6Nb  
     SnE(o)Q  
    tNGp\~  
    r<K(jG[:{f  
    导出加工数据 CjlKMbnBH  
     k"NVV$;  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) uT}' Y)m  
     Min ^>  
    9cf:pXMi  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 G]+&!4  
     Qa.<K{m#?  
    ^C_#<m_k  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 zUKmxy@  
           Zb1<:[  
    i'9vL:3  
    H*[ M\gN$  
    R{ a"Y$  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 2Ou[u#H  
    _9=Yvc=  
    { jhr<  
    BReJ!|{m}  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 -amBB7g  
     GH+r ?2<  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 LG<J;&41~S  
    ~kZ G{  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 w *oeK  
    |QU <e  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ~xD ={9BL  
    yp$_/p O=2  
    NMa} <  
    导出加工数据列表 WN01h=1J_  
     eu(:`uu  
    ~C>?W[Y  
    |962G1.  
    导入加工数据 5<UVD:~z  
     S4G^z}{_  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI .u4 W /  
     f ` R/ i  
    7cTV?nc  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) Jh ]i]7r  
     &Rvm>TC=  
    CbwJd5tk  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) BZR:OtR^  
    EJsM(iG]~M  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 k&,~qoU  
     oZ!m  
    ;\=M; Zt  
    W3 'q\+  
    `[W[H(AjQ  
    N7O-2Z *  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 &ge "x{,?  
    =~=*&I4Dp  
    3?1`D/  
    6) 导入完成，观察3D视图 /7}It$|nhy  
     D^=J|7e  
    FLGk?.x$\  
    `QyO`y=?[Y  
    T3k#VNH  
    QQ：2987619807
     
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