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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： m[i+knYX  
     Xsa2(-  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； Q*~LCtrI  
     Z,`iO %W  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 b6W2^tr-  
     hp8%.V$f  
    结构设计  rL/H2[d  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 $`APHjijN  
     Ok>gh2e[c  
    AoY -\E  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 Z 1zVwHa_  
     H|,Oswk~-  
         ?MXejEC  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 `L:CA5sBud  
     U QE qX  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 =,%CLS,6w  
    .b\$MZ"(  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 6W@UJx}w5  
     -r#X~2tPzD  
    ;_8#f%Y#R  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 *ohL&'y  
    CQwL|$)]Y  
    rI^zB mrr  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 9Kg21-?  
     !)  S ?m  
    Jm|+-F@I  
    b5,x1`#7k  
    导出加工数据 &GNxo$CG  
     79nG|Yj|\  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) ;?W|#*=R  
     aqYa{hXio  
    > *@y8u*  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 )v]/B+  
     RZ6xdq}>  
    N+zKr/  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 IC6gU$e  
           t^`O{m<  
    iP@ZM =&wz  
    zR `EU,  
    $|]" W=h  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 76>7=#m0u'  
    1J6,]M  
    / y A7%2  
    7Q7-vx  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 FW) x:2BG  
     M(RZ/x  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 4VHqBQ4  
    <WjF*x p  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 fR)m%m  
    kxp) ;  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 OS4q5;1#  
    ONx( ]  
    rm4.aO~-F  
    导出加工数据列表 hdnTXs@z  
     !iH-#B-  
    :[\v  
    1^ _U;O:I  
    导入加工数据 |l&vkRrN  
     9Q(+ZG=JkV  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ZIPl7tTw  
     .~Fp)O:!  
    F.-R r  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) pAb.c  
     !Gu%U$d  
    S;~g3DC d  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) (T>nPbv)  
    -od!J\ KCy  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 AtU v71D:  
     '\Jj8oJQj  
    @[#$J0q q  
    cCo`~7rE  
    chV9_(8  
    T21ky>8E  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 %STliJ  
    AZzuI*  
    2-=\~<)  
    6) 导入完成，观察3D视图 'xhcuVl  
     CM<]ZG7  
    b !%hH  
    cTD!B% x  
    4|mD*o  
    QQ：2987619807
     
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