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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： Q =4~u z|  
     6U%F mE@  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； a5uBQ?  
     J6g:.jsK!  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 <L:}u!  
     eRB K= X  
    结构设计 K# BZ Jcb  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 q;9OqArq  
     `WlQ<QEi  
    ,*g.?q@W2  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 !'8jy_<9  
     I$JyAj  
         TS@U0Ror  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 0 1:(QJ  
     jF|LPWl  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 !X+}W[Ic^  
    &?3P5dy_  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 H<ZXe!q(nx  
     0"DS>:Ntk  
    YAYwrKt  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 z?.XVk-  
    -\V;Gw8mD  
    tW"s^r=95  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 & hv@ &  
     \_AoG8B  
    KBwY _  
    o 5<w2(  
    导出加工数据 CzG/=#IU  
     ?/^{sW' |  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) Q6=>*}Cm6m  
     Zr$D\(hX  
    F7U$ 7(I2G  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 oZ!+._9  
     .MW/XnCYs4  
    `a]feAl  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Tu-I".d+  
           884-\M"h  
    4\(|V fy  
    1'SpJL1u~  
    y.?Q  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 1-?TjR  
    ;  8u5  
    d?>pcT)G_  
    48[b1#q]  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 VpWpC&  
     2[5z6oG  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 9~yp =JOV@  
    y+P$}Nru  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 }!@X(S!do  
    ;#S4$wISw`  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 `bcCj~j  
    h SU|rVi  
    !k=~a]  
    导出加工数据列表 <x\I*%(  
      b~Oc:  
     f%c-  
    ]hlYmT  
    导入加工数据 o&Sv2"2  
     1zc-$B`t  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 'cvc\=p  
     .*+e?-  
    6x"|,,&MD0  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) }d16xp  
     7.7Z|lJ  
    l5,}yTUta  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) T``~YoIdz  
    yNN_}9  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 <PXnR\  
     J)_IfbY  
    3k5F$wf  
    o]m56  
    z)&GF$*  
    Wup%.yT~Ds  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 aXyg`CDv  
    :qO)^~x  
    @BS7Gyw  
    6) 导入完成，观察3D视图 & *!) d"  
     n]J;BW& Av  
    7g&<ZZo  
    v#Y9O6g]T  
    ,: 4+hJ<q  
    QQ：2987619807
     
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