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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： XO\P4x :c  
     ji">} -  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； $NqT ={!  
     G:f]z;Xdp  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 w(s"r p}  
     RM,r0Kv17Y  
    结构设计 3 bGpK9M~  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 qdzc"-gH`  
     AWGeK-^  
    I,.>tC  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 C7,Ol0`v  
     n;4` IK|  
         AOeptv^k3}  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 wz;IKdk[  
     oc>,5 x  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 h@l5MH=|%  
    l9#vr  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 m ?LOd9  
     6f0 WN  
    _aq3G9C_  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 :rwF5  
    ]{Iy<  
    f5^[`b3H  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 l3-;z)SgH  
     FjVC&+c  
    6wfCC,2  
    P)ZGNtO9fG  
    导出加工数据 $Y 7q2  
     HLa|yc B%  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) #~ UG9@a  
     r0}Z&>]66N  
    Kp8!^os  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 * r$(lf  
     or>5a9pj  
    vfm |?\  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 KE6[u*\  
           -@e9!/GP,  
    4Rp2  
    cl30"WK!  
    Sr/"'w;  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 WTZP}p1  
    80LKxA;5N  
    0k0 y'1SL  
    n ;y<!L7  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 Mq8jPjL  
     bwS1YGb  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 (s z=IB ;  
    a>G|t5w  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 N)WAzH  
    :"|}oKT%mP  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 hj4Kv  
    /T!S)FD\/v  
    Z>{3t/`  
    导出加工数据列表 -P^ 6b(  
     +K])&}Dw  
    S zsq|T  
    8S"vRR  
    导入加工数据 ng;,;o.  
     swntz  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI C2<!.l  
     bO^#RVH  
    _jQ"_Ff  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) M8oI8\6[  
     eR4%4gW)  
    _ko16wfg  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) D9*GS_K2 t  
    `B}( Ln  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 N=YRYU o  
     9s8B>(L  
    $WI=a-;_e  
    PF+v[h;,  
    DDsU6RyN  
    SxdH %agM  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 A]id*RtY  
    > SU2Jw  
    .^6"nnfA#  
    6) 导入完成，观察3D视图 ]cdKd)  
     nlQ<Aa-%  
    t9685s  
    Pwn"!pk  
    %6}S1fuA  
    QQ：2987619807
     
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