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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： vMXS%Q  
     Vc3tKuMsiX  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； Yw=Ve 0  
     ?Ovl(4VG  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 &j,rq?eh$  
     *]fBd<(8  
    结构设计 Bl-nS{9"  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 LXaT_3 ;  
     s% "MaDz  
    q&Sd+y&  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 aD,sx#g0  
     Us'm9 J  
         B~cQl  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 xT I&X9P  
     c~(+#a  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 @X_x?N  
    Dx =ms^oN5  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 A('=P}I^  
     d_*'5Eia6  
    2JZf@x+}  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 pvJ@$L `'  
    mxhO: .l  
    2/qP:3)  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 ^WP`;e  
     F_=RY ]  
    5 fjeBfy  
    6~sb8pK.=  
    导出加工数据 {[PoLOCI  
     Z9s tB>?  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) QF(.fq8, U  
     $ +;`[b   
    @gQ{*dN  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 {%xwoMVc+  
     o&1ewE(O]  
    BEyg 63=  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 v`MCV29!}  
           Fd-PjW/E8  
    tK6z#)  
     k'X v*U  
    4mJ4)  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 3(G}IWPq<  
    XKB)++Q=  
    Y~vI@$<~(  
    quHq?oXV,  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 D\]gIXg  
     `3^ *K/K\  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 D)XF@z;  
    EA9`-xs|  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 QWv+J a  
    Zf}]sW$H  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ,qV8(`y_  
    k/YEUC5  
    _Iy0-=G  
    导出加工数据列表 Ub*Gv(Pg  
     R>U0W{1NO  
    j2SJ4tB /  
    C Fq3  
    导入加工数据 XtVx H4q  
     5 G cdz  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI qc\]~]H]r  
     okJ+Yl.[?7  
    "S.5_@?  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) &U ]L@ ]x  
     x?Doe`/6?  
    `q7O\  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) R9nW5f Nf  
    3JM0 m (  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 !`L%wS  
     ,\q9>cZ!  
    >&3M #s(w  
    "hi?/B#d  
    \\XvVi:B  
    6gV-u~j[#  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 P:vAU8d>  
    Meo(|U  
    ;75K:_  
    6) 导入完成，观察3D视图 [ZU6z?Pf  
     <7R\ #  
    ~wf&78  
    &^Q-:Kxs8  
    mH2XwA|  
    QQ：2987619807
     
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