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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介: a/~aFmu6b  
    M)?dEgU}M  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; G{aT2c  
    ?EMK8;  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 2:}fe}  
    k>}g\a,  
    结构设计  gB\T[RV  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ggt DN{t  
    "HD+rmUEH  
    H-rWDN#  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 0Q1FL MLV  
    qo+N,x9o  
         y`e4;*1  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 Mv|ykJoz"  
    ;vhyhP.oM  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 @/ J [t  
    6nDV1O5  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 Gx?+9C V  
    /|{,sWf2  
    Uu6L~iB  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 _ |<d5TI  
    Q8p&Ki;i  
    W-RqN!snJ8  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 ?&WYjTU]H  
    |1Dc!V'?"  
    YF#H Sf7  
    1rw0sAuGy  
    导出加工数据 DG(7|`(aY  
    P7r'ffA  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) < V\Y@Ei+  
    tc_f;S`k  
    N;F)jO xsl  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 ,O=a*%0rt  
    y$ Zj?Dd#  
    c- $Gpa}M  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 XXmE+aI  
           s*M@%_A?  
    3HG;!D~m;  
    %k f>&b,Mi  
    ~>G]_H]?  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 CozKyt/r7  
    m(D]qYwh  
    ,zcQS-e2  
    QrD o|GtE  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 K5 3MMH[q#  
    FHy76^h>e  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 k>4qkigjc  
    <Pqv;WI|R  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 u'Q?T7  
    ~KjJ\b)R  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 78#!Q.##  
    c"YXxA J  
    PL0`d`TI  
    导出加工数据列表 {B$2"q/~  
     R)Q 4  
    V|Tud  
    +%J\y^09kr  
    导入加工数据 XR# ;{p+b  
    KHiFJ_3  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI xc 1A$EY  
    UyYfpL"$A"  
    7D"%%|: h  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) S^RUw  
    W-2i+g)  
    4\X||5.c  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) ~d>%,?zz  
    Z%o7f6P0IX  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 ={(j`VSUX0  
    ;uI~BV*3  
    4 (?MUc  
    ;#?M)o:q  
    c|p,/L09L  
    S*W;%J5  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 y+mElG$F  
    dT@UK^\  
    >O{7/)gS^  
    6) 导入完成,观察3D视图 -<f/\U  
    H>7dND 2;  
    SQ(apc}N4  
    Ng<1Sd|MV  
    /9ZcM]X B  
    QQ:2987619807
     
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