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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： } yq  
     J"&y |; G  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； {D,RU8&  
     $?f]ZyZr.  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 5f_7&NxT  
     %U?)?iZdL  
    结构设计 @?a4i  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 CQ>]jQ,2  
     %3G;r\|r]  
    Jck"Ks  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 n7DLJ`ho{  
     3 Gd|YRtk  
         Qlh?iA  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 m6MaX}&zv  
     @L8;VSI  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 yjpz_<7a=  
    rzT{-DZB[4  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 s=U\_koyH  
     xwOE+  
    X6kaL3L}  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 s<VJ`Ur  
    \Tkp  
    `M]BhW)  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 <kbnu7?a*  
     e=J*Esc@k  
    Yxq j -   
    v, 0<9!'v  
    导出加工数据 ZIW7_Y>_  
     ?O7iK<5N  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) VIg\]%qse  
     gh61H:tkR  
    8&?p  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 {(0Id!  
     XtzOFx/  
    {aIZFe}B  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 8Fx]koP.  
           PUKVn+h  
    JV%nH! Fs  
    @,Jb7V<  
    ;qb Dbg  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 8]]@S"ZM,\  
    =mLeMk/7 w  
    Xi+n`T'i  
    nl9kYE [  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 W0?JVtq0Z  
     }5hZo%w[n  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 dk:xnX%  
    Q@Dkl F  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 X+*<B(E  
    #G~wE*VR$  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 tvCcyD%w  
    X TM$a9)  
    t%HI1eO7h  
    导出加工数据列表 b=G4MZQ  
     ogp{rY  
    B,MQ.|s[  
    v^\JWPR/  
    导入加工数据 f-&ATTx`J  
     l.uN$B  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI jJ<;2e~OW  
     X98#QR#m  
    r;'i<t{P  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 7?,7TR2Ny  
     GI?PGAT  
    _hWuAJ9Qy  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) y,V6h*x2  
    qL,ka  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 [bsXF#  
     re/xs~  
    .Nk}Z9L]k  
    },v&rkwR  
    ^?nP$+gq  
    @]E]W#xAn  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 {wHvE4F2  
    C_-%*]*,j  
    aj?2jU~Pq  
    6) 导入完成，观察3D视图 9lKRL'QR  
     Y}S.37|+^  
    )O9fhj)  
    t@6w$5:}  
    x ~wNO/  
    QQ：2987619807
     
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