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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： w" SoeU  
     9:`(Q3Ei  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； TUHi5K  
     SV v;q?jZ  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 Qtbbb3m;  
     HPb]Zj  
    结构设计 SfJ./ny  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ~_Lr=CD;4  
     Nluv/?<  
    ({JHZ6uZ  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 YqPQ%  
     )RO<o O  
         TjHwjRa  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 /1x,h"T\<  
     $/=nU*pd  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 iCW*]U  
    %^1cyk  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 ?t+5s]  
     ow0!%|fO  
    bYi`R)  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 +)j1.X  
    u0#}9UKQ  
    'ihhoW8  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 td4[[ /  
     ax{ ;:fW  
    c)A{p  
    HsnLm67'  
    导出加工数据 1gmt2>#v%  
     rg{9UVj  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) ={5#fgK>  
     rAs,X  
    %H]lGN)  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 UTf9S>HS  
     =QK$0r]c'k  
    m;D- u>o  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 :$_6SQ<?  
           :=8t"rO=W  
    J?Dq>%+ ^  
    j'aHF#_  
    a)S+8uU  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 oyNSh8c7c  
    ] )F7)  
    &Ch#-CUE/  
    2*N_5&9mE  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 Q>R>R*1.j  
     Ov UI@,Ef  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 \mw(cM#:  
     ;b`[&g  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 >[ Ye  
    \MK*by  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 F:D orE  
    #fJ] o_  
    Hew d4k  
    导出加工数据列表 C=s1R;"H  
     `E!N9qI?t$  
    'Fs)Rx}\0  
    o/C\d$i'  
    导入加工数据 9 _QP!,  
     uA$<\fnz  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI H-3Eo#b#  
     bJYda)  
    *dvDap|8W  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) K]U;?h&CZc  
     "*;;H^d  
    3d-%>?-ee  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) pSm $FBW h  
    "wlt> SU  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 eeHP&1= 7  
     R-Z~V  
    [! 'op0  
    UG'bOF4  
    zNY)'  
    #-8\JEn  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 TZt jbD>B  
    avy"r$v_&  
    L:(1ZS  
    6) 导入完成，观察3D视图 _DrJVC~6@  
     K"u NxZ  
    0QvT   
    {CR5K9  
    i 9g>9  
    QQ：2987619807
     
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