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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： d8? }69:h  
     $MEKt}S  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； o(I[_oUy\  
     0?",dTf3i  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 nsJN)Pt  
     :+SpZ>  
    结构设计 >}*i Qq  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 {{?[b^  
     {1y-*@yU(  
    ^rc!X]C9  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ,afh]#  
     OwwlQp ~!J  
         y+XB  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 O&!tW^ih  
     z Lw=*  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 x-5XOqD{'  
    `R]9+_"N  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 rZDlPp>BPZ  
      @t  
    uhFj|r$$  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 l("Dw8 H  
    h,q%MZ==^s  
     ?6!7fs,  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 PX3rHKK {  
     dE*n!@  
    ?#^_yd|<  
    pC2r{-  
    导出加工数据 ;(Q4x"?I  
     .,pGW8Js  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) $-$^r;  
     xV'\2n=1T  
    zLlu% Oc  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 FLO#!G  
     XQhBnam%  
    c,1Yxg]|  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 &UUIiQm~  
           [ds:LQq)/  
    FrO)3 1z  
    <JKRdIx&1  
    LqTyE  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 q"5iza__H  
    I)AV  
    h#?L6<*tm  
     M SU|T  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 1O1/P,u+  
     dF*@G/p>V  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ;CD.8f]N  
    A('=P}I^  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 k+2~=#  
    f0fN1  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 z!5^UD8"W  
    vBUx )l  
    .Y!*6I  
    导出加工数据列表 LQ"56PP<  
     1Tf"<D p  
    "P=OpFV  
    _*1/4^  
    导入加工数据 Uu{I4ls6B  
      R:98'`X=  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI T9\wkb.  
     IpmblC4  
    V<AT"vU[  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ua*k{0[  
     JS r& S[  
    0&Q-y&$7  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) s)#FqB8  
    )_OKw?Zi  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 I0=YIcH5  
     - *!R  
    '<~l% q  
    _6&x$ *O  
    4mJ4)  
    ps"DL4*  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 {wRsV=*  
    CN@bJo2  
    2J =K\ L  
    6) 导入完成，观察3D视图 1u7Kc'.xc  
     /=A?O\B7  
    s@K)RhTY  
    +M!f}=H  
    q?g4**C  
    QQ：2987619807
     
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