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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： Yf%[6Y{  
     WllCcD1  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； =W97|BIW,  
     jCdZ}M($  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 6oe$)iV  
     C&qDvvk  
    结构设计 X*D5y8<  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 zcbA)  
     .T[!!z#^  
    Xb8:*Y1'  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 C]{V%jU  
     R;N>#_9HU  
         Bil;@,Z#  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 oc,U4+T  
     `-E.n'+  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 Fb $5&~d  
    Sv CK;$:  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 c9/ 'i  
     A@lhm`Aa  
    ?Ix'2v  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 &)/H?S;yN  
    \^^hG5f  
    P,LXZ  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 xw/h~:NT  
     O=9VX  
    l)2HHu<  
    jn#N7%{Mk  
    导出加工数据 !F}J+N=}  
     P"[l86:  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) Vf\?^h(tP  
     Bwi[qw  
    Vtc)/OH  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 d(dw]6I6  
     /ltP@*bo  
    ML9T (th6v  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 4YB7og%P  
            Cq~ah  
    kcZ;SYosj  
    8[{0X4y3  
    8u~\]1 (  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 'KIi!pA.  
    xN":2qy#T  
    Z-;uzx  
    M,v@G$pW  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 &t=>:C$1Y  
     3K;b~xg`nw  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 Duo#WtC  
    D2wgSrY  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置  C.TCDl  
    %<#$:Qb.  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 th>yi)m  
    >t6'8g"T  
    \Lh<E5@]  
    导出加工数据列表 vNwSZ{JBd  
     ."#jN><t  
    I! eSJTN  
    @|*Z0bn'  
    导入加工数据 a[{QlD^D  
     1Qc(<gM  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ne%OTr 4dD  
     :Pp;{=J  
    K5c7>I%k  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) "1j\ZCXK_Z  
     Up2\X#6  
    <)*g7  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 1Mhc1MU  
    MZ+IorZl  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 g)G7 kB/<p  
     NbK?Dg8WJG  
    R`3>0LrC8  
    '9F{.]  
    e hB1`%@  
    <OO/Tn'a  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 u5)A+.v  
    M6d w~0e  
    ,/?V+3l  
    6) 导入完成，观察3D视图 Z 5YW L4s  
     R*5;J`TW  
    {q>4:lsS  
    OL9C #er  
    t 6IaRD  
    QQ：2987619807
     
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