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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： gLzQM3{X9  
     AM:lU  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； '2:HBJ  
     50R&;+b  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 0K:3?Ik  
     y{#9&ct&  
    结构设计 !?aL_{7J  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 &<Iz?AVr  
     }1BpIqee  
    nsjrzO79L8  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 \(4kEB2s$  
     G9AQIU%ii  
         mGC!7^_D`  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 1$RUhxT  
     =8W'4MC  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 W&s@2y?rF  
    pRc<U^Z.h  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 +'ADN!(B_  
     x*a^msY%  
    \sc's7  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 u d$*/ )/  
    ~ \3j{pr  
    m[$pj~<\  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 j1i<.,0g  
     1MYA/l$  
    UC*\3:>'n  
    aQ#6PO7.Z  
    导出加工数据 =67tQx58  
     +sm9H"_0  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) _J ZlXY  
     PlC8&$   
    \ ~uY);  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 sA:k8aj  
     Jj'dg6QY'  
    cqZuG}VR  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 !K8V":1du#  
           @mm~i~~KA  
    $guaUe[x  
    ?3; 0 SAh  
    0`~#H1TK  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 S*Hv2sl  
    4&_|myO&  
    QQW]j;'~  
    3c[< #] 8S  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 Tq,xW  
     o?((FW5.;  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 f@aFs]xV  
    7&Qf))L  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 =q"o%dc`R  
    cM;,nX%/  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 "H3DmsB  
    t(r}jU=qw  
    x!;;;iS  
    导出加工数据列表 Cw,;>>Y_b<  
     . yN.  
    >A*BRX"4C  
    rpM jDjW  
    导入加工数据 $G D@e0  
     mb#&yK(h  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI Mx_O'D  
     ?8TIPz J  
    :Lh`Q"a  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) nf )y_5y  
     Rpou.RrXR7  
    "S^ ""5  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 6sz:rv}  
    OTV$8{  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 A#x_>fV  
     Q zq3{%^x_  
    L)-1( e<x  
    Cs?[   
    atYe$Db  
    :7 OhplI  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 Eq/oq\(/6  
    M) Z3q  
    /6Olq6V  
    6) 导入完成，观察3D视图 Msl8o c  
     2x<4&^  
    M#o'hc  
    7J[s5'~|  
    j5~nLo2  
    QQ：2987619807
     
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