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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： ~SKV%  
     S87E$k  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； N{/):O  
     QT\||0V~p  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 c lhmpu  
     EI+RF{IKh  
    结构设计 {owXyQ2mK  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 2bu,_<K.  
     rV6&:\  
    6z-ZJ|?  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 [)efh9P*  
     ^"lVTDsU  
         QMO.Bnek  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 eyM<#3\\S  
     a^{"E8j  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 g|STegg  
    j p"hbV  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 *A<vrkHz  
     *'?aXS -'r  
    "Zh3,  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 E`0mn7.t  
    ]1Wh3C  
    #)3luf3G  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 k7L-J  
     #uRj9|E7  
    fBj-R~;0  
    \v\f'eQ  
    导出加工数据 RpmOg  
     e]9Z]a2  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) }}?,({T|n  
     )~X.x"}8k  
    `;~A  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 Jn:h;|9w  
     ?Yf0h_>  
    \iP=V3  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 R$|"eb5  
           ,1K`w:uhS  
    &~Hx!]uc  
    j^1Yz}6nR  
    f (Su  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 z=FOymv C  
    C0K0c6A (4  
    rv?4S`Z,x$  
    ,K W IuCU;  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 <u_ vL WS  
     <5 )F9.$  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 -I0J-~#  
    ]&;K:#J  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 F tS"vJ\  
    :pH3M[7  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 '.B5CQ  
    Q "vhl2RX  
    [4 v1 N  
    导出加工数据列表 ?hmuAgOtbh  
     <B&vfKO^h  
    ,f@\Fs~n  
    ]N;\AXZ7  
    导入加工数据 (Q?@LzCjy  
     ,,c+R?D  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI /lS5B6NU  
     $TX]*hNn  
    :Tcvj5  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) R wTzS;  
     (V x2*Aw]  
    3\ {?L  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) egmNX't6f5  
    5 W!#,jz  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 207FD  
     XiM d|D  
    tMiy`CPh  
    \0veld  
    QJy1j~9x  
     Al1}Ir   
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 AM0CIRX$  
    9RPZj>ezjA  
    %"Ia]0  
    6) 导入完成，观察3D视图 &+]-e;[  
     =D&XE*qkZ  
    %-KgR  
    8ZF!}kb0F  
    r"9hpZH  
    QQ：2987619807
     
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