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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介: GO~k '  
    l;0y-m1  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; 7=3O^=Q ^Q  
    .Q[yD<)Ubs  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 nh0&'hA  
    "-0;#&!  
    结构设计 { i;6vRr  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 u*2JUI*  
    W_}/O'l{  
    C{&)(#*L  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ~-<:+9m  
    75AslL?t  
         P7r4ePtLk{  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 eXG57<t ON  
    U|?,N0%Z1  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 Rsn^eR6^  
    " @)lH  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 P^zy;Qs7  
    On%,l  
    /buWAX 1  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 |_nC6 ;  
    wv^b_DR  
    zt?H~0$LB  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 G=cNzr9  
    GA@ Ue9  
    "teyi"U+  
    !g2a|g   
    导出加工数据 2GUupnQkD  
    Abf1"#YImy  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) j+Zt.KXjT  
    9wMEvX70  
    (I~\,[  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 ^@"c`  
     qpTm  
    0x71%=4H^x  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 ]1}h8/  
           @d)LRw.I  
    "kr,x3 =  
    -l JYr/MSL  
    VA2<r(y~(  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 ^aptLJF  
    w[sR7T9*  
    Fr;lG  
    Lzz) n%y5  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 \u8,!) 4i  
    l5HWZs^  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 _[JkJwPTx  
    QkE,T0,/?h  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 n ,1tD  
    6|oWaA\gI  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 :t5uDKZ_j)  
    &57U? oY  
    !-RwB@\  
    导出加工数据列表 6RP+4c  
    {XHk6w *-  
    N8 M'0i?  
    u<kD}  
    导入加工数据 `M)E*G  
    Y }/c N\  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI gIBpOPr^d  
    Y%h}U<y  
    ]>vf9]  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) CO'ar,  
    J[r^T&o  
    ?`aTu:1#Z  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) ((cb4IX  
    T`Ro)ORC#  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 }9=2g`2Q  
    B52H(sm  
    DM'qNgB7  
    5H*>  
    B kV(81"C  
    H+R7X71{  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 pg!`SxFD  
    w%rg\E  
    ~v\hIm3=m  
    6) 导入完成,观察3D视图 48k 7/w\  
    RpAiU  
    1 KB7yG-#6  
    $`v+4]   
    'z-D%sCA  
    QQ:2987619807
     
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