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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： 9[f%;WaS  
     z_)`g`($  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； #J~Xv:LgD  
     5byeWH0n3  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 ]|BojSL_  
     C@)pmSQ  
    结构设计 8|vld3;  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 S2}Z&X(  
     "8_,tYAH  
    kC|Tubs(  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 4f jC  
     q4k`)?k9  
         G:hU{S7  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 u7(];  
     ^hysCc  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 Ge~,[If+  
    B<C&ay  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 Q%M_   
     ;&7,7 3!  
    =?+w)(*0c  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 9RB`$5F ;  
    z1}1*F"  
    p Dm K  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 n`QO(pZ6+  
     1(# RN9   
    CnQg*+  
    'oCm.~;_  
    导出加工数据 |I/,F;'  
     A8mlw#`E8b  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) W{\EE[XhCf  
     $ {@q?iol  
    .5^a;`-+  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 3~:0?Zuq  
     m1i4,  
    /bi6>GaC:E  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 &h\CS8nT%  
           1ThwvF%Qo  
    '6+Edu~Ho)  
    ki`8(u6l  
    iT[o KD0)  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 yqYhe-"  
    n{L:MT9TD  
    W?=$V>)  
    6SV7\,2M  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 ">4PePt.n  
     \a?K?v|8  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 e& p_f<  
    CJm.K  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 D{Oq\*  
    8,_ -0_^$  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 wy YtpW  
    _/ct=  
    E*OG-r   
    导出加工数据列表 })KJ60B  
     &ad Y  
    ,%[LwmET  
    @W#fui<<}Y  
    导入加工数据 luibB&p1  
     m$,cH>E  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI  gm(De9u  
     2YE7 23H=Z  
    r)OO&. P@j  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) Zd8drT'@#  
     ix^gAot  
    n>br,bQe  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) B;SzuCW  
    & { DR 6  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 I/Sv"X6E  
     qw|JJ  
    *X~B-a|nJ  
    r|*:9|y{"/  
    ;CA ?eI  
    Mm "Wk  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 E2Us#a  
     NvUu.  
    vc )9Re$  
    6) 导入完成，观察3D视图 K*HCFqr U"  
     qC\]"Z`m  
    kxygf9I!;  
    V_Xy2<V  
    M8\G>0Hc6  
    QQ：2987619807
     
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