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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： j =%-b]  
     sZBO_](S  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； V*uu:  
     {&qsh9ob  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 [m[~A|S  
     @@mW+16  
    结构设计 ?ML<o>OKg  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ~cj:AIF  
     MJpTr5Vs  
    |RXC;zt9s  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ;OqLNfU3y  
     @7 HBXP  
         > BCX%<&  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 NfN6KDd]2L  
     *<QL[qyV  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 \1 D,Kx;Cb  
     2_v+q  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 eG>Fn6G<g  
     sn`?Foh  
    C)}LV  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ([o:_5/8I  
    >(KUYX?p  
    "E!p1  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 pR>QIZq<gT  
     #|E. y^IC  
    \ jdO,-(  
    W?Abx  
    导出加工数据 &Sp:?I-  
     4<Y[L'UaA@  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) |noTIAI  
     =DwH*U /YR  
    *X5LyO3-gP  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 3PeJPw  
     4zbV' ]  
    )PNk O3  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 iPNs EQ0We  
           vu >@_hv  
    ~36XJ  
    uRhH_c-6C  
    |.nWy"L  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 ,1h(k<-  
    ?IO/zkeXg  
    tvCTC ey  
    4yy yXj  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 .W:], 5e  
     kIo?<=F8T  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 sOenR6J<$  
    CMUphS-KE  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Gl1$W=pR:  
    #]^`BQ>  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 t2<(by!  
    zxHfQ(  
    f89<o#bm7h  
    导出加工数据列表 Yy1Pipv  
     \?}.+v  
    c~;.m<yrf  
    w` :KexD+  
    导入加工数据 <!$Cvx\U  
     q\Z1-sl~s  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI :D-vE7  
     e#{L ~3  
    xSZw,  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) X / "H+l  
     Id1[}B-T  
    ] "_'o~  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) |[ofc!/  
    > xw+2<  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 GrIdQi^8  
     )BDi2: u  
    7G2N&v>  
    IC~D?c0H:  
    qxh\umm+2  
    ><^@1z.J  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 cMAfW3j: ;  
    )qe o`4+y  
    >dY"B$A>  
    6) 导入完成，观察3D视图 *x!5I$~J  
     ,B><la87  
    k5M(Ve  
    q ~lW  
    o,I642R~  
    QQ：2987619807
     
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