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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 F!&_ C:P.+AU"` 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 $6yr:2Xvt
i`vgD<} 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 1/ vcj~|)t
Z =y^9] 要求工具箱：光栅工具箱
?ubIh.d
#)28ESj 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 %|gj4 6 9|&%"~6' 一、模拟任务： TDj jaO 二、光栅的描述 P:tl)ob
uJ>_
2 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 f*GdHUZ*
q@&.)sLPgO 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ,?> :Cdz4
*Q:EICDE7 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 I
DtGt kF
x\!Uk! fM 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” .5YIf~!59
t 4tXLI;' 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 PU{7 s
G ~|Z (}H 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 #e(P~'A0 X~5kgq0" I\oI"\}U pxO ?: B 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm :Y>M/ /0 eWwI@ASaA z\Y-8a.] 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm SPU_@ Pk *Wmn!{\ g 0G"I} Jp{ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm x1nqhSaD C`>|D [ /?Fa<{ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm {Tym# ZsikI@? +x" cWOg 5. 参数运行 Lv`NS+fX
84 $#!=v 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 |UZhMF4/-L
M,nLPHg K 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 @f wk qC?\i['` 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ]$ gBX= `:fc*n,* 4,pS C yxU??#v|g 7. 总结 "m m|0PUJ
'aoHNZfxw 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ( e$/@3*
G[=8Ko0U+n 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 d5ivtK?
umD[4aP~; 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 R0!qweGi@ l;gj] ,*
Pxn;]!Z # QQ：2987619807 JZ
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