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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 q,Nhfo( #$dEg 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 =xs"<Q*w>
S -
N
[ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 \jpm
2{J ohqf 要求工具箱：光栅工具箱 K*/X{3 J;
W2`/z)[*> 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 G u4 mP pYBY "r 一、模拟任务： Cu $mb}@ 二、光栅的描述 o,q47W=7$
L |`(u 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 LkwjEJQf
*NjjF k=R 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 +7V4mF!u
%7wNS 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ~lQ<#*wl
H[DBL 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 'V`Hp$r
RG8Ek"D@ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 sy(8-zbI
DGJt$o=&@ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 hM NC] %+bw2;a6 6>d0i
S@R 5*hA6Ex7 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm =U`9_]~1c@ &_o.:SL| ; !9-I%e 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm .kqH}{hf q(s &2| j&|>Aa${ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm xV\mS+#
r^ Mu`*x* JW2~
G!@ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm mM;5UPbZ T\OpPSYbl + d 289" 5. 参数运行 }1BpIqee
2JR$ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 -R BH5+SS2
;56mkP 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 M@a=|N~ OaF[t*]D3 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 :YUQK y gC P f1z LQ{z}Ay /DxeG'O 7. 总结 7f_tH_(
^77X?nDz=h 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 2od 9Q=v~
#,jw ! HO] 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Z~6PrM-M
aTi,gJ;* 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 @A1Ohl j= vlsW
kNC]q,ljt5 QQ：2987619807 F- l!i /
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