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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 s }OL)rW=} T *PEUq 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 'SoBB:
wy tMoG\ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 s-+-?$K
C ;K+ITlJ 要求工具箱：光栅工具箱 4% w<Ekd
KK2YT/K$SG 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 unew
XHA JGTsVa2 一、模拟任务： {wj%WSQj/y 二、光栅的描述 <tZZ]Y]
DB-79U %W 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 $fT5Vc]B4
PpBptsb^|J 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 %;v~MC @
K: $mEB[c< 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ab%I&B<b
".$k OH_ : 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” gh\u@#$8
TK[[6IB 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 +y8Y@e}>
Y6H?ZOq 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 "0[`U(/ +$ nNYD
N>"L2E=z$| 8h@ L_*Kr 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm } F!Uu
KR ^uN[rHZ*u F0z7".) 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm [f6BA|
d~%7A5 B= ~y(Mb 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 0E!-G= v M'< % d[ > !s<JKhI 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm tzGQo5\ KB|mtsi c 1s& 5. 参数运行 2p\xgAW?
_.V5-iN 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 e1h7~ j
E>tHKNyVTp 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 6)* fr'P EYj~Xj8_ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 F I[BZZW +
c3pe4 rZ3ji(4HS JN+7o h]u 7. 总结 vr4r,[B6y
DGb1_2Z Q 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 3 mAiz q3
sBa:|(Y. 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 {TpbUj0
'Gc{cNbXIA 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 vVvF e~y] l`N#~ <.
DMG'8\5C QQ：2987619807 S%}G 8Ty
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