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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 (G5xkygR9 VBx,iua w 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 I>((o`
{Nq?#%vdT 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 YkbO&~.
yH(V&T v 要求工具箱：光栅工具箱 D _aR\
# ,P(isEZ" 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 9N}W( > l @A"U)A( 一、模拟任务： ma7fDo0,`h 二、光栅的描述 :GM#&*$2<
+{xG<Wkltz 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 5<r)+?!n
&PWf:y{ R` 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 EVS K8T,
;xW{Ehq-h 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 Fd"WlBYy0
aL$j/SC 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” s?<!&Y
0=,'{Vz}A 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 O<a3DyUa;
oUS ,+e 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 mCrU//G Vw?P.4 2;R/.xI6v !pS~'E&q 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ) ]]|d ^8\Y`Z0% t;XS;b % 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm z9fNk% 0hZxN2r r1 hD
%a 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ,^!Zm^4, $Q,n+ / 'Ix5,^M}B 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm )x9]xqoR * p"O* zj {"\q(R0 5. 参数运行 YRu%j4Tx
<mn- =#) 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 S
`wE$s o>
67,3i~ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 /W``LK>;? k2wBy'M .' 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 : 3 PG f 9`,,%vd j r)%4-XeV @ p"NJx" 7. 总结 5G UH;o1m
M;> ha,x 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 NB3/A"}"02
C,R,:zR 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 d g m+U%E
~"RQ !&U 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 lWIv(%/@ \4C)~T:*
;,FT&|3o QQ：2987619807 Vz k cZK
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