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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 'w/ S6j 64'sJc . 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ;D(6Gy9~
{?cF2K# 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 @6;ZP1
#z*,-EV| 要求工具箱：光栅工具箱 k
$# ,^)T
02:`Joy2D 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 4 4WyfpTJ* O2lM;=" 一、模拟任务： urL@SeV+$ 二、光栅的描述 G8Ow;:Ro
^7:UC\_ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 }4,[oD
g\49[U}[~F 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 +t]Ge
>S
+}mj;3i 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 r"VNq&v]9
ATV|M[B 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Io /;+R .
x%dVD 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 \SJX;7 ST
6OtNWbB 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 LF:~&
m P|;v > h54\
\Ci M@pF[J/ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm '+G Yw$ 16~5 ;u jS#YqVuN 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm *oh , Va & TN.6Hm3 ?'tFTh 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm XWB# 7;,R Q[T)jo,j% n (Um/ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm =ATQ2\T$m raMtTL+ btDTC 9O 5. 参数运行 $?OQtz@
7G Jhc 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 )[E7\pc
{{ 1qk G9$ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Z 3X9-_g ,K.Wni#m 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 H<*n5r(c &mba{O >GDf*
ox[ 5E${ 7. 总结 m9 ky?A,
a,xy3 8T< 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 oSO ~72
Yg;7TK y 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 H[?l)nZ}
x*:"G'z T 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 dZC jg0cx "(p&Oz
R{9G$b1Due QQ：2987619807 C&.Q|S2_
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