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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 HC*?DJ, @ ?k J). 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Kz?#C
K pHw-6" 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 $_Nf-:D*
xZ .!d.rn 要求工具箱：光栅工具箱 `@Oa lg
*[}^[J
x 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 h8{(KRa 6 }m- "8\_D 一、模拟任务： [}z,J"Un 二、光栅的描述 ZDt?j
`]i
[ ]| 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 )[Z!*a m
p3(2?UO! 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 w@-M{ ?R
sG7 u}r 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 |nUl\WRd\
}G
V X>p 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ino:N5&;;
u=x+ J=AH 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 S \ i@s_
7gF"=7{- 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 a_~=#]a pCi#9=?N ~`ny @WD9 p>w]rE:} 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm <AH1i@4 i1lBto[ X}ma] 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm R%Y`=pK>} Lh.b 5Q| zAzP,1$? 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Pe7 3g % SRIA*M.B} 2Os1 C}m 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm *cuuz i& (V`Md\NL` w8S!%abl1 5. 参数运行 kR CQv-*
s$ENFp7P 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 fxaJZz$ o
\NZIEu)5? 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Fb`a~c~s G 2bDf-1ew 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 *iBTI+"] )SF}2?7e nn/?fIZN4 .IBp\7W!?E 7. 总结 P262Q&.}d
i 9<pqQ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 -VxTx^)>
#'D"
'B 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ajR%c2G;
t7 n(Qk rv 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 zi R5:d3 wI]"U2 L5
Un`^jw#_ QQ：2987619807 ^bg2[ FV
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