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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 w:(7fu= -\v8i.w0 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 e e[NZz
y{P9k8v!z 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 HBGA
lZ
UHHKI)( 要求工具箱：光栅工具箱 70(?X/5#
=xP{f<` 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 mQuaO#
I, 4'| :SyOm 一、模拟任务： 84cH|j`w 二、光栅的描述 RL 8 wSK
<OB~ 60h" 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 }-iOYSn
!}48;P l 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ^C
T}i'
(fb\A6 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 wajhFBJ
@b({QM| 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” be@uHikp;v
E.9k%%X] 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 =LA@E&,j
zt}p-U2I 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ( LPD oPZ4}>uV ZM!~M>B9R IbwRb 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm KK|Jach 54%}JA][ 4tTJE <y 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm essW,2,rjC NWj@iyi< +2O_LPV$, 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm $Bb/GXn{\ S45_-aE PC jY ,O 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm -C<aB750O) P^-9?u Bno KR0
x[#.* 5. 参数运行 D 3ad2vH
^Yz05\ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 {*Pp^ r
iq -o $6Pg 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 k =_@1b- g7i 6Y j1 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 U 7?ez ;_\P;s 3}Qh`+Yj] # w 6CL 7. 总结 pT tX [CE
9f`Pi:*+/ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 CXZeL 1+
Jmx }r,j 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 W9"I++~f
v(~m!8!TI 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 2oLa`33c1 4uA^/]ygo
jfamuu 7 QQ：2987619807 < & iBR
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