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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 3.Kdz} k=}hY+/= 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 J$[ Vm%56
LLi X%XOh 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 (ShJ!
dZ Z/( oE> 要求工具箱：光栅工具箱 <KX#;v!I
Vo() J 4L 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 va<pHSX&I@ db|$7 ]!w 一、模拟任务： . +sIjd 二、光栅的描述 8qveKS]vZ
\)*qW[C$a 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 %3wK .tR
hrK^oa_[W 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 `N+ P ,
mDUS 9 > 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 "^`AS"z'
=9-c*bL 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” zF 7T5 Ge
= 1C9lKm 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 =8- e1R/
tEl_A"^e 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 KV 2X[1 rcCM x"L= %o>1$f] q=U=Y
n 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm #%~wuCn<K ,
{^g}d8 p{U ro!J,K 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm Wp $\> GmFNL/x8-v BZ.H6r'Q 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm *P>F#
~X <>cajQ@ cVN|5Y 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm TD'1L:mv Em;zi.Y+V J c*A\-qC. 5. 参数运行 S"*wP[d.9
>U z3F7nHi 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 0 t8-o ui
HzV3O-Qz] 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 *=rl<?tX {>#Ya;E 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 5K0Isuu>> e([}dz N]3XDd|q bT J7RqL 7. 总结 L]Uy+[gg
&12.| 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 -O\ `G<s%
YIfbcR5 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 EG,RlmcPp
]`%cTdpLj 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 9kcAMk1K &W1c#]q@r
n,`&f~tap QQ：2987619807 @<_4 Nb
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