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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 g J[q
{b MFdFZkpiV 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 F+m4
uL2 {v 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 ([XyW{=h !
z&yb_A:> 要求工具箱：光栅工具箱 p$!+2=)gY
DSG +TA" 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 v. ^
'x q!h*3mNm 一、模拟任务： (LvOsr~ 二、光栅的描述 @aPu}Hi
9oau _ Q# 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 uc (yos
y8 WXp _\ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 .gsu_ N_v
L!Zxc~ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 L"vG:Mq@D
Cq;K, B9 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 6O qnb+
@f01xh=8 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 0~L 8yMM
ppo$&W
&z 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 A5H8+gATK Wes "t}[25 #Uk6Fmu ] -bb 7Y 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm S$_Ts1Ge6 Sw9mrhzJfe ]( 6vG $\ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm X1PlW8pd &#\7w85$ `[u> NEb 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ump:dL5{ K~~*M?.Z ]be2jQx3 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm &IPK5o, ;%.k}R%O@ 3:gO7Uv
5. 参数运行 GQAg
ex)D
T`0gtS S 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 q@yabuN@,j
7 ( iRz 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 s zs3x-g }@0. 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 N0 KRND 8}b[Q /h! c] 9CN QL!+.y% 7. 总结 :h dh$}y
T{xo_u{Q 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 t-m,~Io W
F&j|Y>m 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ba:^zO^
&IY_z0 = 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 EF{' J8A Q h/~BUg'
8pt<)Rs} QQ：2987619807 ~g|0u O}.
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