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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 0%,?z`UY d x H . 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 n </Rd=
fN:FD` 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 {<#b@=G
+8"P*z, 要求工具箱：光栅工具箱 u D[T l
H\a \xCP3 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 j0 w@ \gO< N^k&
8 一、模拟任务： ikb77 ? . 二、光栅的描述 XN{zl* `
.CNwuN \ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 yf-2E_yB
@RL 'pKab9 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 oiD{Z
'MN CJ;A@V 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。
AsvH@\\
6z:/ma^
4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” P8;1,?ou
1=` V aS 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 `tXd?E/e
V ZtFgN$J 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 zz(EH<> ,}9
tJY@ E @gM}&G08 hF`<I.z} 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ~&+ a.@T 9E0x\%2K e<FMeg7n 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm _A0X[}^ K *O\lR-z!k >+>N/`BG 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm !\O!Du TmM~uc7mj i M9^. 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm m}S }fH( mZuLwd$0 "/2kf)l{4 5. 参数运行 L {&=SR.
y9=<q%Kc- 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 " SP6o
b)E<b{'W 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 <aI}+ G2+ gEg 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 tF./Jx]_ v "o@q2f_ F V,aQ# NzeiGj 7. 总结 9]1LwX!M2
K@
&;f( Y 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 .b ^!f<j
%Y5F@=>& 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 S 2W@;XvV
gr{*wYL 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 )%f]P<kq6 {Ve` VV5E
^!n|j]aw QQ：2987619807 /W LZyT2
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