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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 IV!` ~\@ ;<m*ASM.3 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ~C^:SND7
;G} 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 O >+=cg
,ja!OZ0$ 要求工具箱：光栅工具箱 B<L7`xL
*<S>PbqLw 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 2DPv7\fW MG=8 `J-` 一、模拟任务： d'Bxi"K
二、光栅的描述 i,^3aZwJ'
?Xvy0/s5 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 &*" *b\
wdP(MkaV 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Z@dVK`nD
!@ ]IJ"\ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ^?H|RAp
izcaWt3 a 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Xx MZU(5
<-?C\c~G@ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 B VeMV4
UA*VqK)Y 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ws9IO ?|&G SWx: -< JMt*GFd (eU 4{X7 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 'I/_vqp@ }NyQ<,+mq& Q PB,B>Z 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm _rB,N#{2R= Dh8'og)7 9o5D3
d
K 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm MuOKauYa +Mijio `K5*Fj x 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm z
mip v
=y
2 M\4 ` S& 5. 参数运行 u*Xp%vNe
2H4vK]]Nl 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Bz_'>6w
t}_ #N'` 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 v5' `iO0o seEo)m`d 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 MBg[ h u% 7xeqs
q O_1[KiZ 1X5g(B
7. 总结 VSY p
h97#(_wV> 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 SdYf^@%}F
Cty #|6 k 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Tp;W4]'a*:
A_9^S ! 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 D`WRy}o <r: AJ;
i WD|F- QQ：2987619807 u5A?; a
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