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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 Y 8`))MeD y`B!6p
5j 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 7ck0S+N'b
,[ J '!NC1 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 >h!. Gj
#Rm=Em}d 要求工具箱：光栅工具箱 ' 9p5UC
1[g jb(( 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 TNFm7}= bF Y)o Z 一、模拟任务： [q >i 二、光栅的描述 [-Dgo1}Qr
AXU!-er$ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ^cmP
FvI0 J
2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 H yX4ob[X
DT(Zv2 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 | 7'yk__m
$L#Z?76v 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” -< d MD_
+} ! F(c 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 N>6yacTB
2W:?#h3 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 XF f+efh sO4 }kxZ !,JT9 1 CTbhwY(/ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm (+K of ^a# &wW H'h4@S 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ]BQWA ^1Zq 0 /glnJ3 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm E5[]eg~w%{ RAuAIiQ uuK]<h* 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm zm3MOH^a #2vG_B<M) @~U6=(+ 5. 参数运行 WWs[]zr
I'%H:53^0 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 >RqT7n 8h
2hA66ar{$ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 }` /n2 nIqY}?? 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 H"RF[bX( x EZVsz c Lko ^xNe Eb 7. 总结 Ty4%du6 ?d
' /< b[ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 rR G\:<a
FQ~ead36C 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 TYS\:ZdXF
a~eLkWnh<k 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 f,
j(uP H6C Gc0NS+
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} MJK) QQ：2987619807 U W)&Eky
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