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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 hS/'b$# <08 V- 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 -L 3RzX
u{ d` 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 _YUF /B'
\5_^P{p7< 要求工具箱：光栅工具箱 32/P(-
IH}L 1i A) 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 K Hc + <5^(l $IBj 一、模拟任务： SHh(ujz, 二、光栅的描述 ^ %^0x'"
h}_q 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 !X_~|5.
dkC / ? R 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 I-hhHm<@
U]$3NIe 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 M*uG`Eo&
?^Ux+ mVE 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” <ZdNPcT<s
u{z{3 fW_ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 x~^nlnKVf
0&~u0B{ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 '& :"/4@) CB1u_E_ bq ]a8tSB }5U f`pM8 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 7F~+z7(h Y6a|\K| zBfBYhS- 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm b<7f:drVC Awh)@iTL P!EX;+7+x 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm r0>T7yPAK Tkf !Y? '~ 0&m]N 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm ?YO%]mT P }fZBP]<I( PMcyQ2R-> 5. 参数运行 f' S"F
(#qVtN`t 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Po3W+; @
cO9Aw ! 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 7(Kc9sJC%% 0b 'R5I.M 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ":ycyN@g EK_^#b ).xWjVC QZo l( 2~Y 7. 总结 3OlY Ml
1wt]J!hgV 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 /Z_ QCj
u.6%n. g 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 $P_Y8:
WW=7QC i 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 U^D7T|P$V 3$54 *J
zAewE@N#_ QQ：2987619807 <*P1 Sd.
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