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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 FQ_%)Ty2 m>abK@5na 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ,yM}]pwlB
i>]<*w 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 _']%qd"%
oXQ<9t1( 要求工具箱：光栅工具箱 veX"CY`hn
[`hE^chd 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 9Ew:.&d 22a l 一、模拟任务： k Y'<u 二、光栅的描述 6HEqm>Yau
;Txv -lfS 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 u^aFj%}]L
%EJ\|@N: 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 w Zo.ynXT
)D Gz`-> 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 _X,[]+ziu%
$IxU6=ajn 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” L=
:d!UF
=.qm8+ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 \i fK~?
DD/>{kff 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 Xx3 g3P #K :-Bys5v WNn[L= f *]}CSZ[> 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm cQ3W;F8|n +{ ")E) H[ BD ) 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ,]PyDq6 eK Z@ FEZ yqC Q 24 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm c-4m8Kg?L Snc; p GSMk\9SI 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm mQd4#LJ_ ]>R`;"( P"(z jG9- 5. 参数运行
h`wMi}q'D
X q }Ucpj 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 }}^,7n pU
DS#c m3 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 N J;"jQ- \H Wcd| 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 IV I~1~ g>2aIun_Q !_CX2| CS/Mpmsp 7. 总结 lLb:f6N
~7dM!g{W 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ?QCmSK=L
g M4P j[W 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 [##`U m
,HFs.9#&B 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 D (y+1^> [8>z#* B
a q3~!T;W QQ：2987619807 2 \^G['9
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