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案例87.01:粗糙表面光栅的模拟 P
>0S ZP >Gg[J=7` 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ZPM7R3%V)z WR.7%U'; 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 tMf5TiWu@ bU}!bol 要求工具箱:光栅工具箱 b,HXD~= Np9Pae' 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 /s)It Tz&cm= 一、模拟任务: $a\X(okx 二、光栅的描述 k]& I(VQ" )CL/%I,^ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 B7{j$0fm* >)+U^V 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 %iV\nFal> cEJ_z(\=hr 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 mMhe,8E& ?1]B(V9nBq 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” 3kJSz-_M _["97>q 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 *=E4|>Ul, 5hCfi 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 YRl4?}r2 &:+_{nc, T?__ =g@hh)3wP 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm A]V<K[9:b +xmZK<{< 4P24ySy9F 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm kr1^`>O5 Y u^ } Ke&fTK 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm d<;XQ.Wo7 [qt^gy) KRcg 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm Y50$2%kM qn\>(& IZ4jFgpR 5. 参数运行 M[T!AO-S$ 9>@"W- 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 0Zl1(;hx@ Xg"Mjmr 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 bL7mlh [c6_6q As 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 aR;Q^YJ+a }@A~a`9g Y.Ew;\6U G}~b 7. 总结 5O%}.}n ~yf 5$~Z 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 4'; [' 17qrBG-/MD 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 7,LT4wYH )Zm E" 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 X!_OOfueP8 #wm)e)2@ &q` =xF QQ:2987619807 !8s:3]
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