-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2024-06-05
- 在线时间1277小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 `RSiZ%Al 6
:3Id 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 l hYJectJa
kR
%,:
关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 %/w-.?bX
)yb~ kbe 要求工具箱：光栅工具箱 z_xy*Iif
iu=Mq|t0 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 5 l8F.LtO\ w}l^B>Zz 一、模拟任务： dNf9,P_} 二、光栅的描述 !`=iKe&%E
N\ Mdia 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 uo]\L^j
33lh~+C 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 bS8$[7OhX
Ry X11XU 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ==?wG!v2 h
A]0R?N9wb_ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Zj]tiN f\"
1YMi4. 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 OXM=@B<"
JJ) 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 vo
}4N[]Sb % 1k"K~eu GPh;r7xg6 #pAN
2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm >qy62:co XkqsL0\ I/St=-; 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm "B __a( h& 4#5{= ,/p+#|>C= 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ^^ix4[1$ Z .{t5_,P -:_3N2U=+ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm Z:h'kgG & *^ [6uaa q /*veL 5. 参数运行 6bj77CoB
ehr\lcS< 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 F7C+uG Ts
6rE8P# 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 :yJ#yad l =P)$O|=w 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 3%9XJ]Qao u{uqK7]+ Es}`S Ie/ Xl<*Fn? 7. 总结 %?V~7tHm>
PyI"B96gz 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 5.\|*+E~
W^HE1Dt] 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 x76;wQ
:/Pxf N5 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 e:MbMj6` cY!Pv
mBye)q$ QQ：2987619807 fS '` 9
|
