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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 xBU\$ToC uOc>~ITPS 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 aGNVqS%y
Pca~V>Hd 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 pOD|
SqFya 要求工具箱：光栅工具箱 g}IdU;X$NT
y&9S+ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 @8Drh x %0INtq 一、模拟任务： Q L}5vSl 二、光栅的描述 ~X5 yHf3
$/],QD_;" 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 a*CP1@ O
9:A>a3KOH 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 tu7 7Sb
# j*$ `W; 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 KpC)A5u6
MjE.pb 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” twt
Bt L
'LFHZ&- 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 Xn"n5 =M
PTA;a 0A 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 Y_> z"T 4DEsB)%X CSc* UX+ V|}9d:&O 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm L;nRI. BQSA;;n] J=*y>Zt-b 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm T =3te|fv -6~*:zg, 0-0 )E&2 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm yr&oJYM GWjKZ1p 8 jqt=}b 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm kBIF[.v(\ #1hT#YN 10}oaL S 5. 参数运行 KwPJ0
]('_
rZu_"bcJ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 E2(;R!ML#
?*}76u 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 V== ' 7n (m) %5*: 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 eN/s W!:P| c/;t.+g L)8 +/+ X$ /3 7. 总结 {tOuKnnS
7b+OIZB 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ~Zl` Ap
-J[ zJ4z # 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 =e$
#m;
T~"tex] 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 0#K@^a (n" )
@kvp2P+O QQ：2987619807 Zt lS*id_
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