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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 E( *CEW.V* a`C2:Z23(# 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 3|URlz
)U}`x }:, 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 }^odUIj
9r8bSV3` 要求工具箱：光栅工具箱 k&u5`F
9: E.Iy 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 6mIRa(6V LzEH&y_O 一、模拟任务： Jep/%cT$w 二、光栅的描述 W<~u0AyO
3
.=Uu{F 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 bK!uR&i^l
4C;"4''L 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 _.W;hf`
X:(t,g*7 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 {~Q}{ha
+ul.P)1J6 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” u*7>0o|H:
mMK 93Ng"& 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 |Ur$H!oe?'
Q$yQ ^ mG 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 X#MC|Fzy@ 5F 8 'f) QT(]S>--n Y5 mk*Q#q 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm Qb86* ?,eq86-M ,!^;<UR: 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 1w 9zl} }ol <D V ' H1k 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ~>3#c#[ 2(9~G|C. _+0c<' 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm f Q2U | Z?."cuTt 0y;1D k ! 5. 参数运行 x^ Y sXzu
AnBD~h h 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ?Vi U%t8J5
9*[!ux7h 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 S$GWY^5}{ <$ `
^ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 /jn0Xh
};>~P%u32 0T:U(5Y9 <x:^w'V_b 7. 总结 Lhxg5cd
)6U^!95 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 9Om3<der
M{XBmDfN 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 7<93n`byM
@u-CR8^ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 !z+'mF?V+X m qQC`Aqx:
[85tZr] QQ：2987619807 R& HkWe
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