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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 )wSsxX7: &..'7 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 |Z# ) 1K
*kZJ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 2$\Du9+
B@.U \. 要求工具箱：光栅工具箱 <bIAq 8
VEE:Z^U! 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 EC?!%iO` vHJ ~~if 一、模拟任务： )5'S=av9 二、光栅的描述 nVs 0$?}
> YN<~z- 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 l.>QO ;
,B!u* 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 QP[w{T
lZ/Yp~2S 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 VGq2ITg9eE
vTP'\^; 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” RHVMlMX
rs 7R5 F 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 \T<?=A
Wa ,[#H 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 $;$_N43 B>|@XfPM |w:7).P `Z/"Dd;F^3 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 'rq
[P ", J&{E nJA\P1@m 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm <7?MutHM- "m/0>UU0 Rz*%(2Vz 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm eUx|_*` "mHSbG =;^2#UxXA& 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm .i@e6JE~; M^k~w{ q$>At} 4 5. 参数运行 /':kJOk<[
F9-xp7 T 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 GP`_R
#Z (B4YO 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 k((_~<$2K *.W ![%Be 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ;]vE" M x$ ks
3<zW( vY }/CBmg ~ hYG% 7. 总结 %'k^aq FL
VT;$:>! + 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 om;jXf}A
hPD2/M
2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 RzFv ``g
c o@Q 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。
z.P)
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] 6M- s QQ：2987619807 1r|'n aiZ
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