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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ^Ebaq`{V\' sxl29y^* 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 c^UG}:Y
]gkI:scPA 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 fT/;TK>z>
k5=0L_xc 要求工具箱：光栅工具箱 ;-@^G
3C:
WU{G_Fqaz 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 UL(R/yc N(]6pG= 一、模拟任务：
6I72;e ^! 二、光栅的描述 A%oHx|PD
P$ Xi g 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 e! ar:>T
r. [!n)* 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 28LjQ!
DK&J "0jz, 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 MI!C%
p-y, OG 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” %z tCcgu*
\N S\>Q+d 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 RXb+"/
AlIFTNg:" 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 1N1MD@C?P ,F.\ z^\{ TNUzNA +I 5@Gys 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 4At%{E ; a XcGa 5"c#O U 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm `3SY~&X I/<aY*R4 41^+ T<+ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm # )t t}GX C\j|+s 60 *2k 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm n87 B[R 5< GC hoD (G X 5. 参数运行 YbND 2 i
g599Lc&
1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 0j7W\'!t
g[0b>r7 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 b/Z=FS2T EQ -r 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 {l%O f tz)aQ6p\X G}&B{Ir =[FNZ:3 7. 总结 ? gY^,Ckj
d0"Hu^] 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 (q59cA w~X
WOrz7x 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 |yx] TD{~P
Q35$GFj"jD 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 M^AwOR7< >u
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G< # 9` QQ：2987619807 IC{\iwO/~c
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