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    [分享]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-23
    案例87.01:粗糙表面光栅模拟 P >0S ZP  
    >Gg[J=7`  
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ZPM7R3%V)z  
    WR.7%U';  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 tMf5TiWu@  
    bU}!bol  
    要求工具箱:光栅工具箱 b,HXD~=  
    Np9Pae'  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 /s)It  
    Tz& cm =  
    一、模拟任务 $a\X(okx  
    二、光栅的描述 k]& I(VQ"  
    )CL/%I,^  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 B7{j$0fm*  
    >)+U^V  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 %iV\nFal>  
    cEJ_z(\=hr  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 mMhe,8E&  
    ?1]B(V9nBq  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” 3kJSz-_M  
    _["97>q  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 *=E4|>Ul,  
    5hCfi  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 YRl4?}r2  
    &:+_{nc,  
    T?__  
    =g@hh)3wP  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm A]V<K[9:b  
    +xmZK<{<  
    4P24ySy9F  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm kr1^`>O5  
    Yu^}  
    Ke&fTK  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm d<;XQ.Wo7  
    [qt^gy)  
    KRcg  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm Y50$ 2%kM  
    qn\>(&  
    IZ4jFgpR  
    5. 参数运行 M[T!AO-S$  
    9>@"W-  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 0Zl1(;hx@  
    Xg"Mjmr  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 bL7mlh  
    [c6_6q As  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 aR;Q^YJ+a  
    }@A~a`9g  
    Y.Ew;\6U  
    G}~b  
    7. 总结 5O%}.}n  
    ~yf5$~Z  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 4';['  
    17qrBG-/MD  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 7,LT4wYH  
    )ZmE"  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 X!_OOfueP8  
    #wm)e)2@  
    &q` =xF  
    QQ:2987619807 !8s:3]  
     
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