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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ~
L4NK# }B'-*)^|e{ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 lNx P
Led\S;pl 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 UE^o}Eyg
4,;*sc 6* 要求工具箱：光栅工具箱 G{[w+ObX
O4X03fUx 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 <KX9>e znE1t%V 一、模拟任务： F{jxs/~ 二、光栅的描述 F9eE Q{L
c~tl0XU1 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 %w^*7Oi
.L^*9Y0) 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ,;t:x|{%
{A==av 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 / }6I3n
i6HRG\9nU 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” oZ*?Uh *
KfjWZ4{v 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 Z5v_- +K
2vpQ"e- A 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 /V*SI!C<f >fYcr #i0[ "a2|WKpD ;<0vvP| 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 9KX% O-' ; +\h$ /!0&b? 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm -m}'I8 @ K!JE w\ qfXt%6L 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Lan|(!aW 9xbT?$^ L'Cd` .yVO 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm aUNA`
L #~'d
Y\& LC]0c)v# 5. 参数运行 BeFyx"NBg
J\@g3oGw 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 L91vp'+2
O^!ds 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 'a0M.*f}G U3_ O}X+ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 eikZ~!@ xY]q[a?cy >bWpj8Kv ;@S'8 7. 总结 g^
?G)>
d,?D '/ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ]*=!lfrV
a0)w/A& 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 P Ptmh. }e
E] g
Lwg9K 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 }< '6FxR sxr,] @
[_%u5sc-y QQ：2987619807 $yi:0t8t
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