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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 =j- ,yxBvJ \ HUDZ2 s 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 P/1YN
2#^g] o- N 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 ]*mUc`
)~R[aXkvY 要求工具箱：光栅工具箱 }}]Lf 3;
=:w,wI. 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 V~/-e- 9u xl,%
Z~[ 一、模拟任务： j xkQ #Y 二、光栅的描述 u=v-,Tw
B&rN gG7~ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 0El EaH1z
PpG;5 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 d;gs1]E50
xcmg3:s 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 YzG?K0O%
S g1[p#U 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 98 5h]KQ
fu~iF 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 JmR2skoV,
Q0jg(=9wP 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 [@VzpVhXz N_B^k8j H3R{+ 7 +8?18@obp 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm F4T!&E%6 F::Ki4{jJ j uF=ZW%i 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm =,N"% }
hO.b?>3NL LFi* O& 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm zT&"rcT"> rBQ< 5. Myg;2 . 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm f m^` _)= e`9% %SIll 5. 参数运行 U&R)a|
7R
qCrp c= 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 0F- +)S?M[
Z>y6[o 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 psIo[.$rTk P#!g P3 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 #Ox@[Z 1I
C&qo$C :'<;]~f 'JdK0w# 7. 总结 K7JZUS`C!
Za Y|v- 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 R 8lja%+0$
gS[B;+d 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 |H^v8^%>zm
<aaT,J8%[ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 x5PM ]~"p "dt} k$Gr
\ Qx%7 6 QQ：2987619807 RaSuzy^`*]
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