-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-04-22
- 在线时间1968小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 u'=(&>< 1ThwvF%Qo 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 |a>}9:g,=*
8T<@ @6`T 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 jwq\s tjD
8Kk 3_ y 要求工具箱：光栅工具箱 SF"#\{cjj
Jxn3 $ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 \w3%[+c >eRZ +|k?N 一、模拟任务： fqN75['n 二、光栅的描述 `,Xb8^M2
KjBOjD'I 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 keaj3#O
8s~\iuk 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 v7L"`
?Q;kZmQl 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ;m' '9z)2
{ v,{x1 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ' * }^@[&
2+,5p 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 u]P 03B
_yNT=#/ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 luibB&p1 zuk " Ut]2` 8- sRi?]9JIl 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm Xthtw * A*a7\id!y 8W;xi:CC 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ^Wif!u/HM xC[~Fyhp 3mk=ZWwv 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm | xp$OL"a Q,D0kS P o>@=N2n 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm .\Ul!&y g})6V U Ow~rK 5. 参数运行 ]/LWrQD
0{-`Th+h 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 :
#3OcD4
-xw 9 8 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 C/CN
' ax<g0=^R 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 }iD$4\ L M8\G>0Hc6 yQ8M >H#J "EN98^
Sl 7. 总结 3b+7^0frY#
4g>1G qv6 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 &}>|5>cJu
tB
GkRd! 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Yr5iZ ~V$
'CS^ 2Z 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 &aY/eD T}V7SD.
D} mo\ QQ：2987619807 RlU;v2Kch
|
