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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 .0
K8h:I ( K rIMZ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 =
zSr re
zq#o8))4X 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 U7N <!6
spf}{o 要求工具箱：光栅工具箱 RL%{VE
i.]}ooI 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 /\.kH6 2 W~qo
` r 一、模拟任务： 3y!CkJ Kv 二、光栅的描述 {+ m)*3~w
mTt 9 o9E 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 "v06F j>q
?{n#j,v! 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Cn,dr4J[
6 eBQ9XV 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 />?d
2?
lZ|Ao 0( 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” )c* ~Y=f
C<pF13*4 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 6\`,blkX
Oj2[(7 mO/ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 Mo/xEB/O ;J:YNup S'WmPv ;pNfdII( 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ]Vubz54 cIX59y#7 4-\a]"c 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm .F]6uXd IRQ(/:] Gp14; 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm #
;9KDt @ /s wT n1<Y #X)s=Y&5!T 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm lIf Our 1 >Op)T>{c D -jew &B 5. 参数运行 FvkKM+ ?F
jq[>PvR 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ( GeJBw,Q
qAU]}E t/ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 0-5:"SN' ELm# 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 k_ skn3,u Z d%*,\ `S {3;4=R3 71~V* 7. 总结 3 3V/<v
NEN br$,G 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 x&;SLEM
p%?R;W`u2 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 a\zbi$S
wC[J=:]tA5 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 & 1I0i[R i^n&K:6
]t,ppFC# QQ：2987619807 | o?@Eh
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