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案例87.01:粗糙表面光栅的模拟 (!"&c*
< .F^372hH3 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Su*f`~G]; fA" VLQE 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 07#e{ }y&tF'qG 要求工具箱:光栅工具箱 ZMGthI}~- y\@INA^ 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 #2*6esP H%G|8,4 一、模拟任务: kH" >(f 二、光栅的描述 Xn
#v! >&D}^TMYY 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 =niT]xf gvCQ![ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ~Hb2-V 7x//4G 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ck\TTNA 2kW*Z7@D 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” H}PZJf_E T))F
r: 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 qj:\)#I {jOV8SVL 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 =BroH\ SK t&BnW %shCqS &b9bb{y_$K 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm |?<^4U8 9`T2 |DkK7gw 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm kX "*kD Jm[_X #j4jZBOTM 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm ='Fh^]*5 Wo+^R%K'4 qt`HP3J& 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm ]*TW%mY q"$C)o nl+8C}=u 5. 参数运行 82KWe=
/33m6+ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 .M( [n- P\{}yd 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 O\q-Ai 4`'V%)M 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 H{I,m- nXAGwU8a sj8lvIY5 \%Lj !\ 7. 总结
PaZd^0'!Z bBgyLyg 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 `9mc+ T07 AH 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 >gf,8flgj h)h%y)1 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 W-<`Vo' Rv Uw,= =i:,")W7= QQ:2987619807 35n'sVn
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