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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 g h&,U` 8|\?imOp\[ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 +#
tmsv]2
lhx]r}@'MC 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 3R$*G 8v
AU^5N3%j 要求工具箱：光栅工具箱 Ba]^0Y
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EEO)b_( 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 /%T d( c o%-d 一、模拟任务： [>U =P` 二、光栅的描述 CN<EgNt1kN
l)(
3] 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 $2gZpO|
y j C@ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 >-Q=o,cl%3
VTvNn 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 d,caO E8N
'nh^'i&0. 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” o@tc
H{j
jA+0 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 E >lW'
vmK`QPu 2 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 Omy<Y@$ *.F4?i2D * b+ ~@o a EmL f 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm Y|96K2BR j z72~+)T P+t`Rw 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm As-xO~ + JP*VR=0k? rW B/#m 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 1=Nh<FuQ l's*HExR _Kf8,|+ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm IG=# 2 /$ RYuR&0_{ n(tx '&U"R 5. 参数运行 bL]N SD
k]9v${Ke 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 G2BB]] m3
8Xjp5 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Yb;$z ' A9\(vxxOpC 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 5>u,Qh Th>ff)~ e tzV^.QWm Ty;P`Uv]r 7. 总结 %{ H eXe
Ek%mX" 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 w=feXA3-S
&Y3 r'" 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 '| rhm
ap|$8 G 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 H^r;,Q$9 |Pj]sh[^Y
<Po$|$_~ QQ：2987619807 >JckN4 v
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