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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 w-:
D NgxO&Zp 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 T 46{*(
iEhDaC[e(b 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 d| \#?W&
tc/ jY]'32 要求工具箱：光栅工具箱 M(S{1|,V
7SHo%b A 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 :y D@5) A_Gp&acs$ 一、模拟任务： 1UyH 0`& 二、光栅的描述 -s~p}CQ.
M9g1d7% 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 }85#[~ m'
+~:0Dx v W 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 h.LSMU (O
s}!"a8hU` 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 s=j O; K$
j&}B<f _6J 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” P rt #L8
Ap,q
`S 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 Vx(;|/:
:+A; TV 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 L4mTs-M. EEg O m2MPWy5 s #ZwY?T
x 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm A?V<l<EAm Px#4pmz -( ER4# 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm G[B*TM6$ m-#d8sD2C OAyE/Q| 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 2c*2\93> L`bo#,eg6 D2-O7e 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm T/3;NXe6E 8Nv-/VQ/b 2X +7b M 5. 参数运行 EkV!hqs*
7dx4~dF 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 vKV{
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*xho 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 /iTH0@Kw; q .)^B@}_ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 j[ BgP\&, D`5:
JR-{ C(ZcR_+r$, Kjvs@~6t 7. 总结 uFa-QG^Y{
gB'`I(q5. 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 A`
oa|k!U
pzYG?9cwz 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 | eK,Td%
Y-?51g [u 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 `_6@3-% ZlUFJ*pk
IrUpExJ QQ：2987619807 .j y)>"h0
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