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    [分享]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-23
    案例87.01:粗糙表面光栅模拟 (!"&c* <  
    .F^372hH3  
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Su*f`~G];  
    fA" VLQE  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 07#e{   
    }y&tF'qG  
    要求工具箱:光栅工具箱 ZMGthI}~-  
    y\@INA^  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 #2*6esP  
    H%G|8,4  
    一、模拟任务 kH">(f  
    二、光栅的描述 Xn # v!  
    >&D}^TMYY  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 =niT]xf  
    gvCQ![  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ~Hb2-V  
    7x//4G   
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ck\TTNA  
    2kW*Z7@D  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” H}PZJf_E  
    T))F r:  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 qj:\ )#I  
    {jOV8SVL  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 =BroH\  
    SK t&BnW  
    %shCqS  
    &b9bb{y_$K  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm |?<^4U8  
    9 `T2  
    |DkK7gw  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm kX "*kD  
    Jm[_X  
    #j4jZBOTM  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm ='Fh^]*5  
    Wo+^R%K' 4  
    qt`HP3J&  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm ]*TW%mY  
    q"$C)o  
    nl+8C}=u  
    5. 参数运行 82KWe=  
    /33m6+  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 .M([n-  
    P\{ }yd  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 O\q-Ai  
    4`'V%)M  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 H{ I,m-  
    nXAGwU8a  
    sj8lvIY5  
    \%Lj !\  
    7. 总结 PaZd^0'!Z  
    bBgyLyg  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 `9mc+  
    T07 AH  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 >gf,8flgj  
    h )h%y)1  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 W-<`Vo'  
    Rv Uw,=  
    =i:,")W7=  
    QQ:2987619807 35n'sVn  
     
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