-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-09-29
- 在线时间1866小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 IsjxD|u kDJ $kv 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 e~]3/ 0
BoQLjS{kN 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 GPBp.$q+B
+-tvNX%IJ 要求工具箱：光栅工具箱 OUCL tn\
_GEt:=DAP# 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 K=,nX7Z5 sXHrCU 一、模拟任务： |iN!V3#S 二、光栅的描述 q =sEtH=
&:1PF.)N 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 A&EVzmj-+X
;UuCSfs{ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ct,B0(]
~ [L4,q 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 \a\- hm
i SD E6 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” *J^l
r"%c
Gx Z'" x 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 '
>a(|
o !:V=F 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 X(s HFVU+ 3ZdheenK9 l AjP'( Qtj.@CGB 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm {Up@\ M 9G njJ & o{= 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ;',hwo_LBf %`*`HU#X 6)<g%bH! 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm \@G
7Kk*l &!/E&e$_ b4NUx)%ln 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm ['9awgkr/ < dzfD; <}e2\x 5. 参数运行 5= <
y%VF
@tv3\eD 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 b{T". @ b
PL+r*M%ll 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 [C1 .*Q+l :r5DR`Rfm 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 T NwBnM e M0Eq
7:Ba E?$|`<o{|` DH7B4P 7. 总结 %V r vu5
Q [g>ee 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 %x$1g)
zJ-_{GiM*L 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Fk&W*<}/;
bbG Sh|u+P 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ,&+"|,m Kob i!
k jCXP QQ：2987619807 |>w>}w`~
|
