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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 .I{u[
" r!{i2I | 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 :k_ )Bh?+
@CR<&^s5V 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 qe1>UfY
:L:] 3L 要求工具箱：光栅工具箱 jbg9 EtQ!*
jl;N
Fk% 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 uUBUUr ; gaTSYVe 一、模拟任务： =dKk #* 二、光栅的描述 Ia9!ucN7DA
_{LmJ?! 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 B2BG*xa
&2y9J2aA 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 'Q7t5v@FF
Eos;7$u[ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 vcy (!r
FbdC3G|oA 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 8j]QnH0 &
01aw+o 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ZS3T1
<z
H`3w=T+I 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 iRW5*-66f H- WNu+ \Ym $ to 02^ \np 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm rP 6k} f~jd N~ v+C D{Tc 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ,pZz`B# L^s?EqLXS 4Im}!q5;:< 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm )i-`AJK-'v ;%>X+/. y0 0icB2Jm:D} 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm DAN"&& FNl^ lj`Y "tK3h3/Xv 5. 参数运行 u 7p:6W
bx" .<q ( 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Jju?v2y `
X5tV Xd 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 s, #$o3 Oh}@c~7; 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 M9yqJPS}B Z\?!& & p7*7V.>X {5fq4A A6 7. 总结 d?CU+=A&|
?GZ ?HK| 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 KA` )dMWL
.=
8Es# 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 h!hv{c
+hWeN&A 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 i)ibDrX!I
q,'~=Y5
h n/SS QQ：2987619807 *EtC4sP
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