-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-06-05
- 在线时间1977小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ;0c
-+, C@3`n;yZ= 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 d~F 4
;"K;D@xzh] 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 74p=uQ
4fyds< f 要求工具箱：光栅工具箱 ^I CSs]}1
- E(0}\ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 P ` xQL 4{ rqGC / 一、模拟任务：
e#t7 二、光栅的描述 [ <,i}z
FP_q?=~rFs 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 (/a#1Pd&
n,_q 6/! 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 #{ DX*;1m
2]}4)_&d<e 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ni gn" r
5mYX#//: 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” b?kY`L C
,ut-Di=6 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 NtfzAz/
(& UQ^ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0
MOi a] 5 a7@':Rb n p Rys 5/&v lPyY 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 9Gc4mwu /2.}m`5 6|G&d>G$_ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm dtT: ,& Mm)yabP Oo0SDWI`( 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm _@5|r|P> }NJKkj? D>fg 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm $-MVsa9>I .C*mDi)wZ uo8[,' 5. 参数运行 qipV'T,S
U
#C@ &2 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 xWnOOE$i
4OaU1Y[ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 hGy[L3 { T!7B0_ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 lsaA
r@a]fTf "qrde4 O 3Cw}y55_y 7. 总结 Xwo%DZKN
awv$ }EFo 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 sg8[TFX@Z
p9>1a j2a 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 er8T:.Py
V1&qgAy~ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 \i'Z(1 X- ZZLl#
u*T( n s
l QQ：2987619807 ~].?8C.>*
|
