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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 i3M?D}(Bs j'#jnP*P 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Y hc6P%{Z^
Z0( ) pT 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 |c 06ix;).
u5cV z_S 要求工具箱：光栅工具箱 [D<RV3 x9
Giy3eva2 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 >YJ8u{Z{o @O}IrC!bf 一、模拟任务： z qekkR] 二、光栅的描述 hapB! ~M?
XI@6a9Uk 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 e'k;A{Oh
1EC -e|M. 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Qm35{^p+
_S9rF-9G] 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 n=<NFkeX
vi[#? ;pkF 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” r3+<r<gs
+ AcKB82 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 )XmCy"xx
L~*|,h 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 };|! Lhl+ MO));M) Z-^uM`],G (xk.NZn F 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm F:[7^GQZ{ J< b3"wK0[ :DOr!PNA 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm kP!%|&w; ffm G~$Yh_ Ij;==f~G 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm r.^0!(d Wphe%Of cPA~eZbX 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 8 *4@-3Sx fnVW/23 ^?$D .^g 5. 参数运行 Nd]0 ta
a za o`z 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 WW@JVZxK
|Hx%f 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Gkdm7 SV NEq t).
6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 eP V-yy !7A"vTs =]=B}L ` lTa1pp
Zw 7. 总结 C/mg46
v2W
Pk$}%;@v 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 KotPV
*hv=~A
$q 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 9 b?i
G
S hC_hi 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 th5,HO~ 6!4';2Q
>} -~rZ QQ：2987619807 \w{@u)h
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