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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 F9a^ED0l\ 5)UQWnd5 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 @1 :0h9%
A6 !F@Ic[ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 l 63hLz
jQ+sn/ROp 要求工具箱：光栅工具箱 %\Wf^6Y^
Zsx3/} 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 =r 9r~SR# &%mXYj3y5 一、模拟任务： mb xbEqz 二、光栅的描述 ba@ctkCW
KzV 2MO-$ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ypdT&5Mqb!
t9cl"F= 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 'xE
_Cj
)Xt n k 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 +&i +Mpb
!. T LW 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 5Qh?>n>*
. (}1%22 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 }4//@J?:
Ul+Mo&y- 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 % $5H!!~o E 3aDDFDH 5ZY<JA3 {{yZ@>o6 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 6 #@ f'~s 0#*Lw }qi bm% $86 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm / JkC+7H4 U#&7p)4( %w7pkh, 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 2lVHZ\G YXo|~p;=Y cLVe T 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm C3NdE_E C Qh,~ N MOut@ 5. 参数运行 ]X Z-o>+ ,
U.!lTLjfLz 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 -Go 7" j
??60,m:] 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 y: m_tv0~0 svf|\p>]H 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ::FS/Y]Fg R:Q0=PzDi# F#
T 07< /,=@8k!t? 7. 总结 ' Z0r>.
RPd}Wf 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 7\FXz'hA
I`KQ| h0% 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 %\|'%/"`2(
~w8JH2O 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 n_ lo` &`0/CV
?;/^Ya1;Z QQ：2987619807 #jA[9gWI
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