-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-09-04
- 在线时间1983小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 @awN* mO .=-K 7.X.) 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 j 1#T]CDs
Z
)dz 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Og3bV_,"
JIyIQg'5i 要求工具箱：光栅工具箱 B%d2 tsDw
$2\k| @)s 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 80qe5WC.2u I@9k+JB 一、模拟任务： 2d Px s:8& 二、光栅的描述 -QUvd1S40
{BKr/) H 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 Ws(#T hA
D V!) n 6 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ZICcZG_y
,zY!EHpx 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 <sq@[\l}a
g>*t"Rf: 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” /IN/SZx
^zr]#`@G 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 d^.f B+)A3
`[5QouPV 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 'F@#.Op` zn|/h,. lj!f\C}d . 2
/$ !'E 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm * F T )` [1*3 kt*h i@M^9|Gh 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm )
Pdl [+a W+0VrH
0F p KF>_\
4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm /n SmGAO e .|_=Gd2/ N yK7TKui 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm z2QZ;ZjvRS *. DTcV ;9R;D,Gk! 5. 参数运行 ?#LbhO*
&<E*W*b[ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 $}/ !mXI5
R)w|bpW 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Bld $<uU bvM a|;f1 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 a!>yX
ex .hxcx>% f: h.O# d> kMHupROj 7. 总结 dik+BBu5z
t-$R)vZ}M 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ,/;mK_6
|QvG;{! 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 o0p %j4vac
eswsxJ/! 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 hel iL/ ~iZMV ?w
P/'~&*m- QQ：2987619807 38%xB<Y
|
