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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 _9p79S<+ uwZ,l-6T 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 i ? uX'apk
Oe
:S1 f 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 |_-w{ 2K
^3H:I8gRCl 要求工具箱：光栅工具箱 UX<-j Y#'V
S $o1Q 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 k)X\z@I' >7~*j4g 一、模拟任务： y;<suGl 二、光栅的描述 -/0\_zq7
M* Ej*# 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 hiA\~}sl n
$|3zsi2 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ,9_O4O%
!c M<&3/ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 )Ho"b
uozq ^sy 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” BT_XqO
{2D|,yH= 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 1EC;t1.7
gH\>", [ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 o^* : ' ]+!i a yg*
#~, bj6Yz,g F 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm jWi~Q o + [[6" qq U=69q] 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm : D-D+x rBi<Yy$z L=EkY O%\" 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ^,AE;Z T7 Dc$q0|N=z % -A cA 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm H.' 9] * z>,M@ @ I2*(v%.- 5. 参数运行 7iwck. *
2 rf8)8': 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ~ho,bwJM[T
>3KlI 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 l>pB\<LL
<HN+p i 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果
^v cnDi :( m, 06K UXdc'i g S Z/yijf 7. 总结 V;"2=)X
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*sT*;U 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 g'7\ WQ
.ve_If-Hg 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Q<;EQb#
3%1wQX r0 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 M: %g)FgW 3C%|src
R.HvqO QQ：2987619807 "#7Q} d!x
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