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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 %pQ o% <d XO~^*[ K 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 vGT.(:\-,
Jh IK$Ti 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 a`Z f_;$@
yv4PK * 要求工具箱：光栅工具箱 D +""o "%
0M+tKF b 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 (SA*9% uI&M|u:nT 一、模拟任务： mP[u [ | ] 二、光栅的描述 !#qB%E]a
>;W(Jb7e 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 /z :K#
@ R Bw T 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 6|}mTG^
7*"LW 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 {2@96o2}
\9QOrjiw 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” c$fM 6M
}
=T$- #bA) 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ),, vu
l:f
sZO4 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 3v U (4}@ Q 4q#/z +(%[f W bp,CvQ'}a 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm _s8_i6 Y nVzo=+Yp pASVnXJZ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm =YIQ
_,{u Z- (HDn i> 2_hn_UR 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 0aWb s$FyU KL4/"$l] sX u+F2O 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 9l]IE,u :TI1tJS~* {+Yo&F}n 5. 参数运行 h[ T3WE
[dMxr9 M 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 rI/KrBM
q =6 Y2Q 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 vNGvEJ`qn 8t %1x|! 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 B!@0(A .~J^`/o {wI0 =U n} { cs 7. 总结 Di*>PE@
cDg27xOUi 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 Hr$5B2'
*en{pR' 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 :cTi$n
T*m21 < 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 &&O=v]6,V Xl;N= fc
ZV;y XLx| QQ：2987619807 x5ia<V>=d
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