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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 R^v-%mG9 DC9\ Sp? 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 /wt!c?wR
d@sAB1: 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Uq}F rK}
(8JL/S;Z$ 要求工具箱：光栅工具箱 EC`!&Yp+
\nfjz\"R?b 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 F0 .Rv): :6}Z o 一、模拟任务： $N
!l-lu= 二、光栅的描述 *Sd}cD CO%
LS"_-4I} 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 @fI1|v=eF
BM~>=emc 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。
a ~
P\j n ht 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 pr;n~E 'kq
4q9 + a7@ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ;u:A:Y4V
^bD )Tg5 K 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 e 8Ul^]
cDkq@H: 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 $,b1`* 'P AIh*qA M0jC:*D`" PZ#\O 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm *KMW6dg; c @U\d<{w V4["+Y 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm `>HM<Nn-0 [Sj _= } s@
i 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm >'eY/>n{ {wp~ l:@`.'-= 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 7>-"r*W +z
. r?URC ;bYpMcH 5. 参数运行 BN_I #8r
e) \PW1b 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 TPBL|^3K
6"o,)e/z 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 5~R1KjjvA M?gc&2 Y 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 cv=H6j]h | tM:%{az PHxU6UPqy @cS(Bb!(M 7. 总结 Md*~ hb8J
Jan~R ran 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 'NAC4to;;
m=4hi( g 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 LykB2]T
Ya*<me>`
3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 t/vw%|AS 2 ophh/]
WV8vDv1jt QQ：2987619807 n>XfXt =
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