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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 /W% {b: 4:7 z9h] 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 |<OZa;c+
\D0Pik@? 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 P*_Q 8I )Y
{sbQf7) 要求工具箱：光栅工具箱 0nC%tCV'
P66>w })@ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 /P320[B}m& {'JoVJKv 一、模拟任务： mN, Od?q[ 二、光栅的描述 Q\ }5q3
Vg0Rc t 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 8uNq353
r'"H8>UZ% 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 lbMb
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*>$6H; 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 -(dc1?COi
+Bgy@.a? 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” -(P"+g3T
C"K(-/ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 >< %z~ s
XK>B mq/] 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 .:E%cL
+h S'q (Qo cZi /bIh #Fq6-]y1") 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm D >$9( ~'n3],o? ngE5$}UM 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm }Til $TT%H h?jKq2`
XI@;;>D1=U 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Cjdw @v0; Zgd|
J T7 =XuBan3B> 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm :T.j;~ @uApm~} @-)jU! 5. 参数运行 U,\3 !D0jt
[BWA$5D)Ny 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 *>I4X=
bkTk:-L5: 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 iLD }>= Dn1aaN6
6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ]y:2OP 8tJB/P w`S A&XI1. j6 MF69n,(o 7. 总结 jInI%
5 o- WA1 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ,6J]oX
k <SFl 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 WKek^TW4HE
2[z FKK 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Xy0*1$IS] p,0J $L
cgY + xd@ QQ：2987619807 O!xul$9
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