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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 _f"KB=A_x ([dJ'OPx$ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 <kKuis6h
Q#z U0K* ^ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 (Rh$0^)A
Q$b4\n?44 要求工具箱：光栅工具箱 VWrb`p@
W#kd[Wi 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 `PZcL2~E u4|) A 4n 一、模拟任务： <FfmDR 二、光栅的描述 ko ~D;M:
/<1zzeHRSD 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 DO6
p v
QXEz[R 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 m>djoe
jE n 9T 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 z&yVU<;
?-JW2 E"uT 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Qt>Bvu Q
Hi nJ }MF 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 -?w3j9kk>
NZz^* Ela 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 +]p/.- Uw } k SP p o_a' <7\#i j{YIVX
2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm PLq]\y pZKK7
P q1 j 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm Vg}+w Nt5 v%7Gh -P M[cAfu 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm XZrzG P( }=A+W2D iUq_vQ@} } 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm =R*IOJ Q5]rc`}
5 ]e$n ;tuW 5. 参数运行 sl`?9- _[
R)-~5"}~ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 #'.
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$/ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 [8>#b_> 5b->p c 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果
J^!wk9q 6=96 ^o* {LT2 ^gy= y ji >vJHu 7. 总结 *0m|`-
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9{ 0%M 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 %~P3t=r
eQ,VK`7X 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 pZ]&M@Ijp
=&PO_t5) z 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 SeuDJxqopD &yI>A1
1Se2@WR' QQ：2987619807 2fXwJG'
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