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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 zd2)M@ GWZ
}7ake 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 \H1( PA
.YhA@8nc~l 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 |]jb& M
$Q &lSVQ 要求工具箱：光栅工具箱 YWe{juXSw
*Fy2BZH%Q 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 gwLf ' `F-/QX[: 一、模拟任务： J?V? R 二、光栅的描述 9]k @Q_
v[
. cd*b 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 i+A3 ~w5c
=$u!
59_dE 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 } df
W%{
}q_< _lQ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 gqZ'$7So
&TUWW /?T 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” zNs55e.rx
(ceNO4"cZ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 PY{
G [
Z/W:97M 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 \K5DOM "# I4'5P}1yp Lb!Fcf|h M X $0Op 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm $|L
Sx )Q=_0;#;k +NeOSQSj 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm /$i.0$L
v_BcTzQ0S 7r7YNn/? 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm aT{_0m$G10 |9u OUE |LRe dD7n 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm P2NQHX
^hG-~z< )Lk639r 5. 参数运行 ERUz3mjA/
c?tBi9'Y] 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 6@Y_*4$|
6 hw=
2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 oQLq&zRH`f lAS#874dE 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 u __9Z:+ F0pir(n- m!gz3u]rN
zkt+7,vI 7. 总结 NokU) O ;x
}{,^@xdyW 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 *U^6u/iH
+Jlay1U& 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 yg `j-9[8
/@wg>&L] 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 X@'u y<tI- Qk0R a_
rxVanDb=W QQ：2987619807 cpe+XvBuK
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