-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-04-22
- 在线时间1968小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 f BOG#-a} iNSJOS 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 X5[sw;rk
rRel\8 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Lr:K0A.Ch
^%JWc 3jZ 要求工具箱：光栅工具箱 #JucOWxjY
{rLOAewr 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 ^O
m]B; Hefqzu 一、模拟任务： T]2q >N 二、光栅的描述 vq:j?7
j(JI $ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 C\D4C]/8
I5?LD=tt 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 IA `
B.#0kj A} 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 Cx~z^YP'
Z9I./s9 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Lp=B ? H
@("AkYPj 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 xE_[ = 7=
UxtZBNn8 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ERjf.7)d # 95/,k &KWh5S@w hd-ds~ ve 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 0=&]!WRT yI<'J^1C[ % BKTN@;7 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm
H'.eq ZM [~w cHE Ip x:k+J 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm f *vziC<m r_m&Jl@4 3RUB2c4 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm PV290 4 )j 'b7)W\ C7PiuL? 5. 参数运行 $@Fj_
N
DJ^JUVi 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ~@;7}Aag
\Y$NGB=2[ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 9HP--Z= VK#zmEiB 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 :JYOC+#q7 JV>OmUAk Jo0x/+?,+ I j /J 7. 总结 </ QSMs
we9AB_y 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 zqkmsFH{
K]l) z* I 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 yS"" *8/
n9^zAcUbAW 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 y8@!2O4 ;D:v@I$I
) UJMmw\ QQ：2987619807 5{> cfN\q
|
