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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 n<<=sj$\! !\-4gr?`! 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 guOSO@
4Kn9*V 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 ]TBtLU3
z {pC7e5 要求工具箱：光栅工具箱 $HBT%g@UN
g 6VD_ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 i&pJg 1 Yn4)Zhk k 一、模拟任务： 8pk#s J51 二、光栅的描述 z^rhgs?4
XpgV09.EE 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 dY /u< 4
5:%..e`T 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 6h2x~@
X LZ j 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ]l=O%Ev
lk_s!<ni 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” my ;
QB/7/PW{H\ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 j|[(*i%7|
3 >Q@r>c 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 @P Qrmn6w Z
7s;F}= .!JMPf"QEI b JfD\ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm {sC@N![ _W0OM [ ^\M
dl 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ':l"mkd+` ;Z ]<S_#- Fweh =v 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Hp\Ddx >Jd #) GW}U]X `$S ^E != 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 6Z~Ya\~.g. W|ReLM\ S8O)/Sg= 5. 参数运行 [ njx7d
p? Ed-
S 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 EdEoXY-2
7}Bj|]b) ~ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 4P|$LkI ^8:VWJM 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 R
N@^j 6sPk:5 \a"i7Caa <B!'3C(P 7. 总结 wW-A b
);nz4/V 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 b Fg*l$`5
, j y<o+! 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 R'SBd}1
czI{qi5N 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Y]N~vD ,yI CNt P
:X_C FW QQ：2987619807 L\Y KdUL
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