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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 vd6Y'Zk|F6 =*
oFs|v 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 :
9wW*Ix
s`B]+ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 GsA /pXx
$6kVhE!; 要求工具箱：光栅工具箱 ^mz&L |h
WwG78b-OA 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 jCa%(2~iQ7 t ;!v jac 一、模拟任务： $1y 8gm 二、光栅的描述 ze@NqCF
61L
vT" 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 BU(:6
$6e&sDJ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 $hZb< Xz
7 p}J]!Z 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 EnnT)qos
qpjtF' 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Vf9PHHH|
{/#^v?, 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 y !)
^x-vOG lR 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 &M KG#Y} ACm9H9:Vd /n;Ll](ri ofH= h 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm A{3Aw| ; _:DnF yr?*{; 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm q< Gn@xc' &'4{/Gz [!H2i
p- 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm F9@,T8I {\3k(NdEX nm5zX, 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm G|MjKe4} Whp;wAz | W4
\ 5. 参数运行 feU]a5%XZ
H<T9$7Yr%r 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 5{/CqUIl
D #Fe\8!l 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 db#QA#^S =2!AK[KxX 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 U
?'$E\ XN6 5bq B w?Kb@ :?W {vV 7. 总结 KzD5>Xf]4$
k.= 67L 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 /^ * GoB
e[ _W( v 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 7.g)_W{7}
#!V
[(/ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 y
Nb&;E7 H %. ^8&4$+
eLE9-K+ QQ：2987619807 tKg\qbY&
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