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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 b syq* b|^I<7 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 K0+ ;b u
9-*NW0 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 \ zXlN
e^).W3SK] 要求工具箱：光栅工具箱 Ft%hh|$5y
=4C}{IL 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 `i a %)@
1S%k 一、模拟任务： 3bC
yTZk 二、光栅的描述 {I%y;Aab8
bv?0.{Z 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 c
yQ(fIYl
U` R;P- 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ~M ?|Vn
g =]& A 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 E|Bd>G
c $;\i 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” vfvlB[
1uG=`k8'k 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ateUpGM QU
5$l9@0D.\ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 p(3sgY1 6DS43AQs -@%%*YI> y<r}"TAf - 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm u7]<=*V ] X\GM/A ;cP8 ?U 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm irx z l3 B5=3r1 Ly .{dE}2^ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 3V Cqp13 euRss#; :Am-8 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm +Tak de%~ ?_4^le[; a#(U2OP 5. 参数运行 )y50Mb0+
&W_th\% 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 /J%do]PDl
(}H ,ng'4 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 744=3v ~^o=a? L`< 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 k'13f,o} aPIr_7e wz#[:2 s"mFt {Y 7. 总结 X\2_; zwf
q(9%^cV6 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 a| x8=H
F?*k}]Gi 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ?z.Isvn
u^Sv#K X 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 uCUu!Vfeg .j 'wQ+_
X\A]"su QQ：2987619807 JieU9lA^&B
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