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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 \*s'S*~ 3Q`F x 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 PYl(~Vac
vb-L "S?kC 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 $g55wG F
p-zWfXn! P 要求工具箱：光栅工具箱 BOLG#}sm
mB.kV Ve0 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 c ZN+D D `<h}Ygo>k/ 一、模拟任务： 33_YZOy^j 二、光栅的描述 fo$iV;x`
`}KK@ (Y 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 SB1\SN B
z6 v RTY 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 qTnfiYG}
zlmb_akJ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 1\q2;5
\Clz#k8l1 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Lnnl++8Y
Cyxt EzPp 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 O&=?,zLO[
'g8~539{& 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 +.Kmpw4 N0GID-W!/~ R ;^ [4<& _gK@), de 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm M=$y_9# @4 m_\]Wy Ep0L51Q 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm &%`IPhbT }'dn L 8@|_];9#. 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm . \ *Z: .!Kdi| a) lcij}-z:%e 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm '+NmHu:q :cop0;X:Wm 2f>lgZ! 5. 参数运行 gEtD qq~y@
Xd>4n7nb$` 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 o(w1!spA
~ w IVw} 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ZGa> ^k[: O,ZvV3 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 t<9oEjk[" )'xTDi _r5Q%8J WS@b3zzN 7. 总结 'M Pt K
^ q @.yL 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 EXg\a#4['
X%xX3e' 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 {Q?AIp6u|
,)XT;iGQe 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 h{S';/=8 T{bM/?g
]v@#3,BV QQ：2987619807 * I`, L/
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