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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 _^6| ^PT. dq
YDz 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 M q^|M~
bSrRsgKvT 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 |-(IJG #)
b(}Gm@# 要求工具箱：光栅工具箱 '9*5-iO
p K6e/eC 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 q:Y6fbt<7 VDByj "% 一、模拟任务： d)04;[= 二、光栅的描述 *%T)\\H2
T|o` a+? 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 I!$jYY2
gf68iR.Gs 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 $5TepH0D
)YzH k ;( 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 F-BJe]
Y{k>*: Ax_ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Z0 [)u_<
^w:OS5 %R 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 u FwU-LCe
Si?$\H*: 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 hWq. #e 6 "t[M'[ `C Fw_
(q! ?Yq J.F; 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm $?FS00p*|X u(pdP" H+4=|mkQ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm V19e> Q7,EY / "s F Xl 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm hq/J6 M c%|vUAq* J0^{,eY< 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm i(Ip(n _ Ry_K3K 1s#yWQ 5. 参数运行 mD9STuA$H
j~M#Ss-H8 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Gs[Vu@*
0o=!j3RjH 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 s~S?D{! z>4 D~HX 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 8 AT;8I<K U?bG`. X 9*#$0Y= B|cA[ 7. 总结 :
@'fp N
,LhE shf 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 CN$I:o04C
?n!lU r$:y 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 @Z?7E8(
WK
pUn8&N
3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Y4QLs^Id B 's)fO#
9'1hjd3k QQ：2987619807 p1+7 <Y:
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