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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 }YJ(|z"" H|_^T.n?E 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 {;0j9rr
+shT}$cb1 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Y,EReamp
{|?OKCG{ 要求工具箱：光栅工具箱 #k2&2W=x
%}jwuNGA 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 wjh[}rTV* _"n1"%Ns 一、模拟任务： aiVd ^( 二、光栅的描述 7NC"}JB&
}@MOkj 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 U ^1Xc#Ff
amq]&.M 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 !Cxo4Twg
OJ8 ac6cJ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 "& ?F 6Pi
bK;I :JK3 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” "3o{@Td U
h-
.V[ ]< 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 N) ,bhYS]
2%4dA$H#4w 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 m qgA K=Z~$)Og) vaL+@Kq~& cPA -EH 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm >Ia{ZbQV gQaBQq9 k bzzage6L 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm D QO~<E6c "?EoYF_ ?dMyhU} 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm : l>&5w; N*z_rZ E $ ;NxO0$ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm xc)A`(g [uCW8:e KdU!wsKfG 5. 参数运行 I>ks H
.),ql_sXr 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 rX*4$d0
mh `~1aEr 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 u &Q2/Y ;u`zZb=,[ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 J J @O5 ufF$7@(+ xG sg' 4i0~t~vDpr 7. 总结 2)}ic2]pn
l M
]n 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 X v ;} !z
mU.(aL HW 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 S9kagiFX\
0'u2xe 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 2q V. `d =^ur@E
xo{3r\u?} QQ：2987619807 dL;C4[( N
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