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    [分享]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-23
    案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 Psg +\14  
    ..]B9M.  
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 s@R3#"I  
     ;9 R40qi  
    关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 '$lw[1  
     9n-RXVL+  
    要求工具箱：光栅工具箱 Q9SPb6O2  
     a'c9XG}  
    相关应用案例：案例090.01，案例246.01 s; ~J2h[  
    x Xl$Mp7  
    一、模拟任务： &Qz"nCvJ  
    二、光栅的描述 VK"[=l  
     06Sqn3MB  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 t^dakL  
     }P7xdQ6  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 R?i-"JhW  
     <$Xn:B<H  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ntd ":BKi  
     "Vs Nyy  
    4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” N}e(.  
     GIJV;7~  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 `V$cz88b  
     Zm?G'06  
    1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 L|vaTidc0  
    GhaAvyN  
    e{d_p%(  
    \L&qfMjW"Z  
    2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ,5%aP%  
    4p0IBfVG  
    =t <:zLe  
    3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ]&; G\9$y  
    u^;sx/  
    ]*t*/j;N  
    4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm u:p:*u_^I  
    kY0g}o'<  
    as\)S?0`.  
    5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm  k,o=1I  
    bDcWb2 lqs  
    INeWi=1  
    5. 参数运行 @vDgpb@TM  
     4B%5-VQ  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。  $Adp  
     gs)%.k[BqG  
    2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ` Mv5!H5l  
    mw%[qeL V  
    6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 P,LXZ  
    lu9Ir>c  
    ()rx>?x5  
    QvT-&|  
    7. 总结 ({}O M=_  
     9X*eE  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 x Jj8njuq4  
     2Q;Y@%G  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 EUYa =-  
     D[FfJcV'$  
    3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 5O4&BxQ~}  
    FK/ro91L  
     OM#OPB rB  
    QQ：2987619807 tkUW)ScJ  
     
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