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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 qL] !/} \]GBd~i< 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 me E&, {
lNqYpyvy* 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 (rvK@
YQ; ?N66 要求工具箱：光栅工具箱 s_u@8e 6_
LKTIwb> 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 cbNrto9 V) C4 sG 一、模拟任务： *ewE{$UpK 二、光栅的描述 K oo%mr
6> X7JMRY 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 e![n$/E3R
RYy_Ppn96f 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 #T&''a
]~G wZB'M 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 3N[t2Y 1r
R>yoMk/u 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” iJT_*,P^
1d"g $i4e 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 zXIV HC,"{
%;~Vc{Xxt/ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 o^}K]ML!t !T!U@e=u I &
DEF* ]-&A )M6 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm F8S% \i
1pg&?L.MA <Y9%oJn% 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm /0A9d-Qd< )w4i0Xw^C: &
=)HPzC 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm TgoaEufS< )[oegfnn- \!x~FVA 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm $SQ UN*/> Arc6d5Q 0}$Zr*|;Y 5. 参数运行 H`d595<=i;
^ ~' &K e 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ;SnpD)x@)
oR}cE
Sr 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 C-u'Me)H iHBetkAu 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 (E[c- 1s _3~ /Z{z8 M#Kke9%2 42]hX9E 7. 总结 @cRR
v#c'p^ T 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 {% Cb0Zh
zZp0g^;.? 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Pu>jECcz
B>C+qj@ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 am vD5 -Y>,\VEK
xP/?E QQ：2987619807 *hWpJEV
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