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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ?M\ 3n5; =" >O;L.xj 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 J6::(0HM
wRU pQ~=B2 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 $7 PFos%@
i mJ{wF 要求工具箱：光栅工具箱 w9z((\5
[Ma&=2h 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 |QxDjL<&t4 ~fQ#-ekzqk 一、模拟任务： t5e% "}>7H 二、光栅的描述 6C) G
UyIjM ;X 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 tS`fG;
gxL 5%:@ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 V^.~m;ETu]
9I9J}&4 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 knF *~O :y
9<-AukK m 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ,R*ru*
6P+8{ ?V& 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 30[?XVI&
QJ pUk%Wj 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 1kTJMtZG~ 5/Swn9vwl {v~& .| f,PFvT$5e 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 8M:;9a8fh nG{j x_{` [Y JP 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 3P'.)=} CWt,cwFW <[[DS%(M^ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Px'% 5TKN m5f/vb4l j}S 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm sDWX} NV F]S exP4:A !^G+@~U 5. 参数运行 }q27M
IN`05 Q 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 lHz:Iibt
Lj({
T'f( 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 .U9NQwd [-1Nn} 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 :uhvDYp(- luLm:NWUM #Rjm3# gc fd*=`+P 7. 总结 42t D$S5^
|~rDEv3 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 T" 8>6a@}E
'_@=9 \< 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 u|9^tHT>
# `v`e" 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 T(7
8{A> 18V*Cu
)v8;\1`s: QQ：2987619807 x\ ;`x$3t
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