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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 JW=q'ibR m,6[; 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 `D$RL*C;M`
7h:EU7 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 8%a
^j\L
-q
nOq[ 要求工具箱：光栅工具箱 ' z=d&K
E}#&2n8Y 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 ZsYY)<n Q )8I(* 一、模拟任务： G
c , 二、光栅的描述 u?>8` ]r
<^9 42y-= 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 )YZx]6\l)
=+[` 9 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 !\OX}kHX5
}}"|(2I 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 i' 1 MZ%.
-3m!970 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” vTWm_ed+^
=8"xQ>D62 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 }KNBqPo4B
gkca{BJ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 'TA
!JB+ <7gv<N6BQf 5dbj{r)s6i !-&;t7R 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 5{v uN)K3 ^ oClf( L!`PM.:9 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm IP)%y%ycw /xB O;'rR o]GZq.. 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm X/ m~^ ;0uiO . 1?Tj 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm `lt[Q>Z T`]P5Bk8r CT'#~~QB 5. 参数运行 $H&:R&Us
/bo`@ !-# 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 gg Nvm
"g!ek3w( 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Az:A,;~+,! EW+QVu@ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 Ue"pNjd| 0\!v{A>
I' @ 18}'k 2h)Qz+|7 7. 总结 8PWEQ<ev7>
aY6F4,7/B 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 'T;;-M3*
0ZZ Wj% 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 u*rHKZ9i
N:Ir63X*# 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 QUh`kt(E x+D ecO2
Z'|k M! QQ：2987619807 +*aC
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