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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 +=*ZH `qX U_+>4zdm 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 {?82>q5F
J::dY ~@ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 ^z_~ e@U
z7 }@ 8F 要求工具箱：光栅工具箱 {min9
h_J 'dJS 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 6g)21 Mh# =6ojkTk 一、模拟任务： r>5,U:6Q/ 二、光栅的描述 i =Y#kL~f
I-^Y$6- 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 mZm w CS8
\
^_3Yw 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 `6'fX[j5
&<4Jyhm :o 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 + ~ HL"Vv
7 'N&jI 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” zXB.)4T
|iU#!+zY 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 TRa|}JaI"
q W dL|8 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 JPR l/P$ /S%{`F= qXgg"k%A\ gW RSS=8% 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm XK>B mq/] .:E%cL
+h S'q (Qo 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 074)(X&:x cZi /bIh sRqFsj}3e 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm JS} iNS'X *1|&uE&_R d=`hFwD9 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 3nMXfh/ w(0's' +9M#-:qB 5. 参数运行 !IF#L0z
,iV|^]X3$/ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 (X; D.s
X&b)E0]pR 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 7vZznN8e G[GSt`LVS` 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 4vC
{ G. 0@k)C z[0; P`0}( '"U {94qsVxQZ 7. 总结 }N dknut,
{ HHc} 8 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 F[5[@y
F$X"?fj 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 1%g%I8W%
K 0R<a~ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 hX;JMQ915 =f4>vo}@k
Fu].%`*xJ QQ：2987619807 D< % /:M
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