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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 W#lvH=y ] nQ$:%HP 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ?D\%Z Xo
(%P* rl 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 3,F/i+@
x!$,Hcph, 要求工具箱：光栅工具箱 5AjK7[<L
eLC&f} 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 G1n W{vce y\S7oD(OR 一、模拟任务： / P:Hfq 二、光栅的描述 =:g^_Hy
rvmI
8 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。
yCkm|
R_ 1C+ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 R Nv<kw
9Y 4N 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 %zelpBu+
?}]kIK}MC 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ~o%-\^oc
xBZ9|2Y s 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 DdQf %W8u
U.)G #B 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 1`}fbX;"m) z1FbW&V dI 5sqM: bMUIe\/v[ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ={b
]
dq8 /^1P (En\odbvt 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm |O)deiJRy j^ _I{ qE`=^
4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm wqwJpWIe @*uX[) OhW=F2OIV 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm n>E*g |a 'iVo,m[yKU Asl H
V@K 5. 参数运行 K8U Az"
}]~}DHYr 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 psZeu*/r
XsOOkf\_ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 T N
%"RL r$#G%FMv 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 l'W+^ {a3kn\6H0 pq[mM!;#v |g7h#F~ 7. 总结 reA8=>b/
)R^Cq o' 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 @"I#b99
+hg\DqO^M 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Qsntf.fT
5|R2cc|"9 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 O8 r"M8 S(J\<)b
8`G{1lr4o QQ：2987619807 .UrYF 0
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