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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ^V;lZtZ Sy7^;/(ZZ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 .6-o?=5
nhaoh!8A6 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 s/'h LkxI
aRb:.\ \zc 要求工具箱：光栅工具箱 )(
jNd&H
{*P 7) 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 \YF !< 2|[ x?& xz; 一、模拟任务： {( : ) 二、光栅的描述 ]R.Vq\A%S
2o7C2)YT$ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 #3ro? w
@^jLYu|W 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 4!RI2?4V
8Nq Iz 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 Am^O{`r41
s 17gi,"X 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” +?g,&NE
4Tw1gas. 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 745V!#3!M
7^e}|l 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 XA^:n +Yo %cif0Td I }I/dh }^bL' 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm o8pe0 7n(W uWT&`m_(2 `C UO! 'U 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm *X 55:yha PSw+E'; C+IE<=%F 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm t# {>y1[29 M|]1}8d? 5"]2@@b4 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm oYM3 $.{E Hjkgy%N -H;y _^2 5. 参数运行 zt%Fvn4/pF
j %0_!*#3 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 6?x{-Zj ^?
lR3^&d72? 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 S.4YC> E uk/+
i`= 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 V2* |j8| k.Nu(j "z 2=
mD ( 6^k;j 7. 总结 -$ft `Ih
nx ]b\A 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 F<W X\q
',%&D A2 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 &fj?hYAj
UL"3skV 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ]V("^.~$+C <TuSU[ ]
a][Z;g QQ：2987619807 1uQf}
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