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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 [m3G%PO@Da T>vH ZZiO 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 -M%n<,XN0
g3LAi#m 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 #jA|04w
aWOApXJ 要求工具箱：光栅工具箱 jTSw 0\}
/}#z/m@bN 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 `@ ?l{ CN\s,. ] 一、模拟任务： 9p2 "5x 二、光栅的描述 $w +g%y)
sKn>K/4JZ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 8* >6+"w
z)43+8 ; 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。
A-ir
FT `y3 ~ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 \&@Tq-o
[rqq *_eB 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” f 7d)
9e=F 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 f[ %\LHq
e)!X9><J 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 3_^w/-7`B :G y
.P {YK6IgEsJe 2}~1poyi> 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm \Qu~iB(Y ;[g v -H $'?CY)h{ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm sGMC$%e} EJdq"6S akJ{- 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm pOIFO =k 2ZIf@C{P . ?kE2 S6j5 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm cl:*Q{(Cjk w
V2 7 s:I^AL5 5. 参数运行 t~sW]<qjp
;S,g&%N 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 lS XhHy
3w!oJB 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 tQo"$ JN} r-4I{GPb 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 (t<i? >p ;PG'em +-qD!(&-6 0S/&^ 7. 总结 X=${`n%LG
l a|#SS95 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 97F$$d54T
P4R.~J ;8 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 "i_tO+
;E* ^AW 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 n$#^gzU4 //H+S
q66
5'+g'9 QQ：2987619807 _I5p
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