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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) S1 Z2_V  
    _R'Fco  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 l& 4,v  
     0]KraLu"N  
    1. 描述 Va,<3z%O<  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 nkxzk$  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 <?-YTY|  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ;__9TN  
     +d+@u)6  
    2. 系统 v 8T$ &-HJ  
    0N[&3Ee8  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    +;$oJJ  
    3. 透镜系统组件编辑 W>r#RXmh  
    3 &u_A?;  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 5$DHn ]  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 tO7v4  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 {FRAv(,\  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 M;cO0UIwO  
     iHwLZ[O{  
    V@>r*7\F  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 T2}FYVj?!g  
    *n]7  
    s2?T5oWU  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 sw A+f   
    ■ 可以选择选取光线的方法： `U+l?S^$  
    — 在x-y-网格 p raaY}}  
    — 六边形 >AoK/(yL.  
    — 自由选取 f|^dD`  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     IG(?xf\C  
    l"\~yNgk  
    5. 系统的3维视图 I1[g&9,  
    SH*C"  
    \V9Z #>  
    6. 其他系统参数 ?)bS['^1)  
    ■ 系统由单色平面波照明 rl9. ]~  
    ■ 照明波长266.08nm T\Uek-(  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： iA8U Yd3Q  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 &] \X]p  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 J]m{ b09F  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 da1]mb=4 5  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 k >t )g-,2  
    $P1O>x>LIL  
    nz9DLAt  
    'V8N  
    ;'81jbh  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 U4 13?Pe  
    -(O-%  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    lKEkXO  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    ?Ma~^0  
    !"e5~7  
    {R/C0-Q^^  
    ^Rx9w!pAN  
    m*$|GW9  
    .uNQBBNv  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 h"H2z1$  
    "V&+7"Q  
    qlA7tU2p&  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 <hwy*uBrD  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 (`? y2n)~W  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 rP!#RzL  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 WK="J6K5  
     6a;v&5  
    9. 焦平面上的结果 vD 5vbl  
    %pXAeeSY`;  
    /r12h|  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Y?ez9o:/#  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 PMfkA!.Y  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ='TE,et@d  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 z>w`ZD}XY  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     Z}|(F RVk  
    l2;CQ7  
    10. 总结 M-i_#EWP  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 z<.?x%4O  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 }E`dZW*!!  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 zni)<fmju  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 = waA`Id  
    c\% r38  
     ORu2V# Z[  
    QQ：2987619807 &qS[%K )  
     
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