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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) ]3B8D<p  
    t= =+SHGP  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 E0 ~\ A;  
     Bf {h\>q  
    1. 描述 _ISIq3A?  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 fO6i  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 WCf?_\cG  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 [T|_J$ ;  
     565UxG }  
    2. 系统 OjVI4@E;Xe  
    Mi+<|5is  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ;JQ:S~K9  
    3. 透镜系统组件编辑 BhJag L ^o  
    CKoRq|QG_  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 wGRMv1|lIu  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 5,H,OZ}  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 6|h~pH  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 O7&6]/`  
     QU&LC  
    re\pE2&B  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 mU d['Z  
    7RE'KH_$  
    PH6!T/2[  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 1?6zsA%N  
    ■ 可以选择选取光线的方法： 'Ipp1a Z_M  
    — 在x-y-网格 &x= PAu  
    — 六边形 (RhGBgp  
    — 自由选取 B4 XN  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     W7R`})F  
    tv,Z>&OM  
    5. 系统的3维视图 s2`:NS  
    ExJch\  
    Vifh`BSP  
    6. 其他系统参数 x^0MEsR  
    ■ 系统由单色平面波照明 sr|afqjXD  
    ■ 照明波长266.08nm gHL v zm  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： )HaW# ,XB  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 `dp]N0nz  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 %yr(i 6L  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 ;:)1:Dy5  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 B<et&r;  
    \xtY\q,[  
    -UTTJnu^  
    o8Q+hZB}A  
    {Z~5#<t  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 "2J$~2{N  
    c5vi Y|C^  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    _s(izc  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    zQPQP`  
    ;";#{B:  
    iS/faXe5  
    .|Ee,Un  
    `XmT)C  
    klUW_d-  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ZKk*2EK]2z  
    G\\0N^v  
    ?WD JWp%  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 x JXPtm  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Oo-%;l`&  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 7ThGF  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 liU/O:Ap  
     R=/^5DZ}  
    9. 焦平面上的结果 ZvSWIQ6  
    ` D9sEt_/  
    ,o?yS>L_r  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 *F_ dP  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 FF}A_ZFY  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm v"Z`#Bi  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 v c r5  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     M@ TXzn!&o  
    _,G^#$pH  
    10. 总结 MhaoD5*9  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 9hNHcl.  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 I"_``*/1  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 6Z:swgi6&  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 AhNy+p{  
    ^ y1P~4w?  
     jdEqa$CXG  
    QQ：2987619807 $h)VKW^\  
     
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