示例.0082(1.0) 0#Y5_i|p :zke %Yx 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 qvKG-|j
_FU_Ubkr 1. 描述 K+K#+RBK ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Z4w!p?Wqa ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 .glA
gt ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 )e=D(qd
u5b|#&-mX 2. 系统 Q%f^)HZGR Kaqc74Mv 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
pG^ 3. 透镜系统组件编辑 _P 3G
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 }t=!(GOb}
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 b;W3j
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &P}_bx
■ 包括序列光学表面和光学介质。 BWv^zi
L;NvcUFn RVA(Q[ ; 4. 光线追迹系统分析器-选项 ;dtA4:IRZ4 qJa H, kY|utoAP
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 bL+_j}{:N
■ 可以选择选取光线的方法: N06OvU2>xU
— 在x-y-网格 PI:4m%[
— 六边形 .* ?wF
— 自由选取
Rn(ec
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 t?-n*9,#S +yH7v5W 5. 系统的3维视图 Ms5ap<q# *ebSq)
pnowy; 6. 其他系统参数 ;!mzyb* ■ 系统由单色平面波照明 F^t DL: ■ 照明波长266.08nm L~rBAIdD ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: p;59? — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^w@%cVh — 一个虚拟屏位于焦平面 ]}-7_n#cC — 光束尺寸探测器置于焦平面 Bs_s&a> ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 j_!F*yul 7uS~MW jrlVvzZ :Ij{s mzaWST] 7. 光线追迹系统分析器的结果 n.`($yR_ J6s`'gFns 光线经过整个光学系统的三维视图
\FbvHr, 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
.9 on@S uk<4+x,2) "3)C'WlEy/ 1EO7H{E= uGf@ HZzD VCU 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .779pT!,M zl>nSndRE G~^r)fm_
■ VirtualLab可用于计算点列图。 L
O_k@3
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 \=?a/
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 w(*vj
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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#zv3b[@ 9. 焦平面上的结果 55nlg>j
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 p*R;hU
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 lk^Ol&6
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm b,l$1{
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ld|5TN1
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 (Du@ S ~ drS} V 10. 总结 n71r_S* ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Xk~D$~4< ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 M)J5;^[" ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 DbBcQ% ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 &Cq`Y !y 8\@m
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