示例.0082(1.0) 9=T;Dxn t[X^4bZd 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ty[p5%L1
?fq!BV 1. 描述 W,CAg7:* ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 oxL<\4)WJ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,i<cst)$u ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 `#`jU"T |
CZeZk 2. 系统 H7;,Kr R0tT4V+ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
CyYr5 Dz 3. 透镜系统组件编辑 il!B={
,&M#[>\(3
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 rQ]JM
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 M")/6 PH8
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 g\.$4N
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ~XuV:K3
WR"1d\m: xYYa%PhIC 4. 光线追迹系统分析器-选项 0^uUt- L;j++^p )qbkKCq/FB
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 \$Wpt#V
■ 可以选择选取光线的方法: Fih
pp<
— 在x-y-网格 b$#b+G{y
— 六边形 7f ub^'_
— 自由选取 T9Juq6|
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 sHk>ek]2I "H`Be 5. 系统的3维视图 -6NoEmb)\' QOg >|"KL
Rb:<?&7ZzN 6. 其他系统参数 /(5"c> ■ 系统由单色平面波照明 ,z/aT6M?H ■ 照明波长266.08nm YT(Eh3ID ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: BPt? 3tC — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 1@KiP`DA — 一个虚拟屏位于焦平面 ^w~B]*A:" — 光束尺寸探测器置于焦平面 >Q=^X3to ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 SiX<tj#HH\ s*yl&El/ N\|z{vn G(#t,}S}@ Sm4BZF~!B 7. 光线追迹系统分析器的结果 B^P&+,\[} H#;*kc
a4 光线经过整个光学系统的三维视图
eU%49 A 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
W>d)( 04;s@\yX4
-NN=(p!<
&Q?@VNi wxh\CBxG MAFdJ+n# 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 +c<iVc| ]&Y^ Z8xB
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 1r$-U h
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 G)}[!'<rR
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 G|1.qHP[F
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
V)/J2 -w
OR~ui[w 9. 焦平面上的结果 =#W:z.w
qNj?Rwc
H2R3I<j
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 #lvt4a"P"
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ZuGd{p$
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm /v5A)A$7
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 *
CR#D}F
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 /CsP@f_Gw Vl5>o$G|<. 10. 总结 Y#68_%[ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <L qJg ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 C-c'"FHq ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 \/3(>g?4 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 kpn|C 9r 2n@`Og_0
ktTP~7UVi QQ:2987619807 m#RJRuZ|2V