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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) sQr |3}I(  
    Qj/.x#T  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 ZHOh(  
     mM;p 7 sJ  
    1. 描述 a*KJjl?k  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ){,v&[  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 p#fV|2'  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 sRf?JyB  
     R"k}wRnxY  
    2. 系统 #~@Cl9[)D  
    ~;B@ {kFY)  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    V|zatMHs  
    3. 透镜系统组件编辑 5o R/Q|^  
    #~>ykuq  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 r4FGz!U  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 H+2m  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 '6W|,  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 ^# gR"\F`d  
     *^ -~J/  
    QGQ}I  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 *we*IhIP  
    DAtZp%  
     C%\.  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Wk&g!FR  
    ■ 可以选择选取光线的方法： zz~AoX7V6  
    — 在x-y-网格 BjyGk+A   
    — 六边形 Z4'8x h)-  
    — 自由选取 |oI]  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     #99fFs`w  
    zd+<1R;  
    5. 系统的3维视图 {Kkut?5  
    pSlosv(6  
    a jyuk@  
    6. 其他系统参数 xxC2F:Q?U  
    ■ 系统由单色平面波照明 Xeo2 < @[  
    ■ 照明波长266.08nm 5t&;>-A'?'  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： BK16~Wl  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 E[N3`"  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 V:vYS  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 )"Vd8*e  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8@Kvh|  
    uzpW0(_i3a  
    lYt|C^  
    9 EqU 2~  
    MTxe5ob`$Q  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 2En^su$  
    |Q)c{9sD  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    +)eI8o0#  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    ]NrA2i?  
    LU=`K4  
    )k}UjU`!  
    chr^>%Q_  
    ySk'#\d  
    W<AxctId  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 xJ18M@" j  
    AvS<b3EoN  
    -'iV-]<  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 sF`ELrR \  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ClvqI"Rd  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Anu`F%OzB  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 +jPs0?}s  
      ;Iu}Q-b*  
    9. 焦平面上的结果 ' *6S0zt  
    w`")^KXi  
    ~Kr_[X:d5  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 D[5Qd)PIL  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 nA#FGfZ{Ge  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm z[q#Dw  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 <:rbK9MIl  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     Ur/+nL{  
    KkJK5dZo  
    10. 总结 `Z 3p( G  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 V"T48~Ue  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 muc>4!Q  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 p*_^JU(<p  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ~rWys=  
    Vk>m/"  
     @FBlF$vG  
    QQ：2987619807 ?!4xtOA  
     
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