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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) 9=T;Dxn  
    t[X^4bZd  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ty[p5%L1  
    ?f q!BV  
    1. 描述 W,CAg7:*  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 oxL<\4)WJ  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,i<cst)$u  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 `#`jU"T|  
    CZeZk  
    2. 系统 H7;, Kr  
    R0tT4V+  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    CyYr5 Dz  
    3. 透镜系统组件编辑 il !B={  
    ,&M#[>\(3  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 rQ]JM  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 M")/6PH8  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 g\.$4N  
    包括序列光学表面和光学介质。 ~XuV:K3  
    WR"1d\m:  
    xYYa%PhIC  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 0^u Ut-  
    L;j++^p  
    )qbkKCq/FB  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 \$Wpt#V  
    可以选择选取光线的方法: Fih pp<  
    — 在x-y-网格 b$#b+G{y  
    — 六边形 7f ub^'_  
    — 自由选取 T9Juq6|  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    sHk>ek]2I  
    "H`Be  
    5. 系统的3维视图 -6NoEmb)\'  
    QOg >|"KL  
    Rb:<?&7ZzN  
    6. 其他系统参数 /(5"c>  
    系统由单色平面波照明 ,z/aT6M?H  
    照明波长266.08nm YT(Eh3ID  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: BPt? 3tC  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 1@KiP`DA  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ^w~B]*A :"  
    光束尺寸探测器置于焦平面 >Q=^X3to  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 SiX<tj#HH\  
    s*yl& El/  
    N\|z{vn  
    G(#t,}S}@  
    Sm4BZF~!B  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 B^P&+,\[}  
    H#;*kc a4  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    eU%49 A  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    W>d)(  
    04;s@\yX4  
    -NN=(p!<  
    &Q?@VN i  
    wxh\CBxG  
    MAFdJ +n#  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 +c<iVc|  
    ]&Y^  
    Z8xB a0  
    VirtualLab可用于计算点列图。 1r$-Uh  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 G)}[!'<rR  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 G|1.qHP[F  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 V)/J2-w  
    OR~ui[w  
    9. 焦平面上的结果 =#W:z.w  
    qNj?Rwc  
    H2R3I<j  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 # lvt4a"P"  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ZuGd{p$  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm /v5A)A$7  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 * CR#D}F  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    /CsP@f_Gw  
    Vl5>o$G|<.  
    10. 总结 Y#68_%[  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <L qJg  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 C-c'"FHq  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 \/3(>g?4  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 kpn|C 9r  
    2n@`O g_0  
    ktTP~7UVi  
    QQ:2987619807 m#RJRuZ|2V  
     
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