示例.0082(1.0) yhn
$4;m EkAqFcKLq 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 @dKf]&h%%
Sm_:SF!<D6 1. 描述 m)RxV@ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 u]-El}*[ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Fl>j5[kLZ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 $I0a2Z=dP
Cv7RCjMw 2. 系统 )3\rp$]1 2}Plr{s9 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
& ~G 3. 透镜系统组件编辑 ;B7|tajd
&>4$ [m>n
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 uOUw8
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ';!UJWYl
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 :*%\i' $!/
■ 包括序列光学表面和光学介质。 IX3yNTW"L
%a^!~qV (xJBN?NRO 4. 光线追迹系统分析器-选项 ]b=A/*z JJOs
L!@ .z7f_KX^
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 vKLG9ovlY
■ 可以选择选取光线的方法: / ^M3-5@Q
— 在x-y-网格 dsoRPX']=
— 六边形 ;.m[&h 0
— 自由选取 HY#("=9< h
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [~JN n r~a}B.pj 5. 系统的3维视图 Z{)|w= fb=vO U
b|'LtL$Y 6. 其他系统参数 bbA<Zp ■ 系统由单色平面波照明 OU=IV;V{ ■ 照明波长266.08nm n!orM5=:O ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: >%A=b}VS — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 T U6EE — 一个虚拟屏位于焦平面 `b$I)UUm — 光束尺寸探测器置于焦平面 fkG"72 95A ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 .qP
zd(<T7 yE/I)GOQjs TK1MmL KDzIarC 2!`Z3>Oa 7. 光线追迹系统分析器的结果 sAj$U^Gp BNLall 光线经过整个光学系统的三维视图
z`6KX93 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
du TSU9 |0Kt@AJY R|yTUGY nI` 1@vB& 32J Jx,s.Z0@7, 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 VAz+J Cu5
- w EH%j$=@X
■ VirtualLab可用于计算点列图。 RR9s%>^
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 #`EMK
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 P|4a}SWU
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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'cBZ
hTqJDP"&F 9. 焦平面上的结果 |MGw$
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]z$<6+G
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 fe,CY5B{
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 IrK )N
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm !h;VdCCi#
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 U$%w"k7^(
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 @:8|tJu8b e&kg[jU 10. 总结 VzNH% ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \^D`Hvg ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 jKs8i$q ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 v?t+%|dzA ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 -.G0k*[d gqamGLK
?z.`rD$}(n QQ:2987619807 9w|q':<