示例.0082(1.0) E-irB/0 -U=bC 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 @Tzh3,F2
}45&s9m= 1. 描述 F/}PN1#T ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 M(S:&GOU ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 mi3 yiR ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 nK6{_Y>
j4Cad 2. 系统 |k+Y >I& -q\1Tlc]3 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
/ '}O-h 3. 透镜系统组件编辑 qMz0R\4
%Ow,.+m
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 aC$hg+U$G
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ek#{!9-
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /'p(X~X:l
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Y9 ,KOs
U)+Yh UMw1&"0: 4. 光线追迹系统分析器-选项 3m?3I2k _y),C
<D
pi M`
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 q!9SANTx
■ 可以选择选取光线的方法: Yt7R[|
— 在x-y-网格 Je+z\eT!5<
— 六边形 2bfKD'!aH
— 自由选取 Fmk,
"qs
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 x2[A(O= QkwBw^'_5 5. 系统的3维视图 PSNrY e S!k cC-7
<`b)56v:+ 6. 其他系统参数 SV}I+O_w ■ 系统由单色平面波照明 ](@Tbm8 ■ 照明波长266.08nm c:4M|t= ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: c63DuHA*C — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 zVYX#- nv — 一个虚拟屏位于焦平面 )avli@W-3j — 光束尺寸探测器置于焦平面 /A4zR ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 HkD6aJ:kA! TP[<u-@G ^c!"*L0E iXMs*GcK gEMxK2MNXj 7. 光线追迹系统分析器的结果 1pVagLlb:7 m49GCo k+ 光线经过整个光学系统的三维视图
6+e@)[l.zc 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
$3|++? 1p<m>s=D=e I8)x0)Lx (qnzz!s 3@*J=LGhKc lphQZ{8 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 r:2G 11[ +HQX]t:Y
(2Z-NVU#
■ VirtualLab可用于计算点列图。 9H$#c_zrq
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Tf)qd\
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 x-,+skZs
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
)"2)r{7:
r'#5ncB 9. 焦平面上的结果 Q}2aBU.f
Wqy|Y*$qT
&xo,49`!
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 !v;N@C3C
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Fx*iAH\e
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm [O>}%
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ;"$Wfy
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 *Fb]lM7D j
B S$xW 10. 总结 }9<pLk ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Pk !RgoWF ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 d`q<!qFZh ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 lM~ 3yBy ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 c"Ddw'?e $'}rBPA/
>
L_kSC? QQ:2987619807 U}<5%"!;