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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) 2 c%*u {=:  
    AV t(e6H  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 [~%\:of70n  
     _QS+{  
    1. 描述 yjq~O~  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ^")SU(`  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 MO1t 0Myc  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7aV(tMzd  
     dxz.%a@PW  
    2. 系统 eM>f#M  
    vvsQf%  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    )|d]0/<  
    3. 透镜系统组件编辑 Sz"rp9x+  
    ;X9nYH  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 h_SDW %($  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 9=-d/y?  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 88]UA  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 >f !  
     *j`{ K  
    Fq-A vU  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 oD@~wcMIT0  
    bPe|/wp  
    !_ng_,J  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 @Yl&Jg2l'  
    ■ 可以选择选取光线的方法： (F wWyt  
    — 在x-y-网格 byyzXRO;  
    — 六边形 aYmC LLj  
    — 自由选取 pyf/%9R:d  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     App9um3:  
    2v;F@fUB.  
    5. 系统的3维视图 U|NVDuo{{x  
    }8zw| (GR,  
    a$~pAy5C  
    6. 其他系统参数 b/yXE)3 X  
    ■ 系统由单色平面波照明  4dd]Ju  
    ■ 照明波长266.08nm ;QiSz=DyA  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： RTEzcJ>  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 AWXBk+  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 C `>1x`n  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 \?|FB~.Ry  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Kc%GxD`  
    t3w:!' Ato  
    ~0^d-,ZD5  
    v&8%t 7|  
    5 wT e?  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 :M |<c9I  
    ;;3oWsil}  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    :'F7^N3;H  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    R)<PCe`vf  
    5i$iUDuT>(  
    Pf4b/w/  
    ^e 1Ux  
    (9_O ||e e  
    SGp}(j>  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 "SV#e4C.  
    ,f]GOH  
    qrK\f  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 q0>@!1Wb  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 'H]&$AZ;@  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 9k`}fk\M  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 6^'BhHP  
     Vzs_g]V  
    9. 焦平面上的结果 wS)2ymRg  
    9CxFj)#5F  
    whoQA}X>  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 }%@q; "9`  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 !97k  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm k'(eQ5R3L  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 (sfy14>\  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     bS!4vc1`2  
    'Pm.b}p<  
    10. 总结 Ei Yj`P  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <uYeev%  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 EV$$wrohQ`  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ^qro0]"LD  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 2# 1G)XI  
    \a .^5g  
     3om_Z/k  
    QQ：2987619807 BKfkB[*F  
     
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