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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) 0#Y5_i|p  
    :zke %Yx  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 qv KG-|j  
    _FU_Ubkr  
    1. 描述 K+K#+RBK  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Z4w!p?Wqa  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 .glA gt  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 )e=D(qd  
    u5b|#&-mX  
    2. 系统 Q%f^)HZGR  
    Kaqc74Mv  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    pG^  
    3. 透镜系统组件编辑 _P 3G  
    lc1(t:"[  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 }t=!(GOb}  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 b;W3j   
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &P}_bx  
    包括序列光学表面和光学介质。 BWv^ zi  
    L;NvcUFn  
    RVA (Q[ ;  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ;dtA4:IRZ4  
    qJa H ,  
    kY|utoAP  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 bL+_j}{:N  
    可以选择选取光线的方法: N06OvU2>xU  
    — 在x-y-网格 PI:4m%[  
    — 六边形 .*?wF  
    — 自由选取  Rn(ec  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    t?-n*9,#S  
     +yH7v5W  
    5. 系统的3维视图 Ms5ap<q#  
    *ebSq)  
    pnowy;  
    6. 其他系统参数 ;!mzyb*  
    系统由单色平面波照明 F^t DL:  
    照明波长266.08nm L~rBAIdD  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: p;59?  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^w@%cVh  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ]}-7_n#cC  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Bs_s&a>  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 j_!F*yul  
    7u S~MW  
    jrlVvzZ  
    :I j{s  
    mzaWST]  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 n.`($yR_  
    J6s`'gFns  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    \FbvHr,  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    .9on@S  
    uk< 4+x,2)  
    "3)C'WlEy/  
    1EO7H{E=  
    uGf@  
    HZzDVCU  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .779pT!,M  
    zl>nSndRE  
    G~^r)fm_  
    VirtualLab可用于计算点列图。 L O_k@3  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 \ =?a/  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 w(*vj  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 7 S#J>*  
    #zv3b[@  
    9. 焦平面上的结果 55nlg>j  
    53;}Nt#R  
    |"X*@s\'  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 p*R;hU  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 lk^Ol&6  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm b,l$1{  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ld|5TN1  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    (Du@ S  
    ~drS} V  
    10. 总结 n71r_S*  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Xk~D$~4<  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 M)J5;^["  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 DbBcQ%  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 &Cq`Y !y  
    8\@m - E!{  
     &=@IzmA  
    QQ:2987619807 'Vzp2  
     
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