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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) 9@*4^Ks p  
    2Paw*"U  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 !W=2ZlzS  
    ({!*&DVu  
    1. 描述 ;:Kc{B.s  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 \}Pr!tk!  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,l\D@<F  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 z_z '3d.r7  
    Z \ -  
    2. 系统 2Ju,P_<dt  
    Pp|pH|(n ,  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    (fO~nN{F  
    3. 透镜系统组件编辑 \l 3M\$oS>  
    3v<9 Z9O  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 qZSW5lC0  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 [@s5v  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #mO.[IuD  
    包括序列光学表面和光学介质。 WS$~o*Z8  
    r8L'C  
    k_%maJkXp  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 [{_K[5i  
    [3W+h1  
    9Mv4=k^7|4  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 v/wR) 9  
    可以选择选取光线的方法: 9p"';*{=  
    — 在x-y-网格 ]m^ECA$  
    — 六边形 NW Pd~l+  
    — 自由选取 *P[N.5{  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    /3~}= b  
    KhbbGdmfS$  
    5. 系统的3维视图 zPb "6%1B  
    v8A{ q  
    #Cz:l|\ i  
    6. 其他系统参数 {|@N~c+  
    系统由单色平面波照明 E`uK7 2j  
    照明波长266.08nm R~BW=Dz,e  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: oga0h'  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 B&H [z  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 `3F/7$q_  
    光束尺寸探测器置于焦平面 H0mDs7  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 e9?y0vT//  
    3bB%@^<  
    kc:2ID&  
    h$fC/Juit  
    ]5J*UZ}  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Z?'){\$*  
    2VS#=i(B^  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    (fWQ?6[  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ZbcpE~<a  
    1Aa=&B2  
    90)rOD1B  
    &]/.=J  
    H=9\B}  
    aw/5#(1R  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 J)Td'iT(  
    V?cUQghHg  
    jl4rEzVu  
    VirtualLab可用于计算点列图。 aA.TlG@zP  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 S>p>$m, Q  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 YY<e]CriU  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 M3 $MgsN:  
    Y~M  H  
    9. 焦平面上的结果 .c.#V:XZ#U  
    5bKn6O)K  
    jDc5p3D&[]  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 |4a#O8d  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 _&m   
    焦平面上的光斑尺寸为183mm T/C1x9=?  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 v<Ux+-  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    OC[(Eq  
    \6${Na' \  
    10. 总结 %@FTg$  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 /1lUFL2D  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 pc%_:>  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ,!4 (B1@  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 |bz,cvlP W  
    WChJ <[]W  
    8~|PZ,oZ  
    QQ:2987619807 P1ab2D  
     
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