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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) yhn $4;m  
    EkAqFcKLq  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 @dKf]&h%%  
    Sm_:SF!<D6  
    1. 描述 m)RxV@  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 u]-El}*[  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Fl>j5[kLZ  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 $I0a2Z=dP  
    Cv7RCjMw  
    2. 系统 )3\rp$]1  
    2}Plr{s9  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    & ~G  
    3. 透镜系统组件编辑 ;B7|tajd  
    &>4$ [m>n  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 uOUw8  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ';!UJWYl  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 :*%\i' $!/  
    包括序列光学表面和光学介质。 IX3 yNTW"L  
    %a^!~qV  
    (xJBN?NRO  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ]b=A/*z  
    JJOs L!@  
    .z7f_KX^  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 vKLG9ovlY  
    可以选择选取光线的方法: / ^M3-5@Q  
    — 在x-y-网格 dsoRPX']=  
    — 六边形 ;.m[&h 0  
    — 自由选取 HY#("=9< h  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    [~JN n  
    r~a}B.pj  
    5. 系统的3维视图 Z{)|w=  
    fb=vO U  
    b|'LtL$Y  
    6. 其他系统参数 bbA<Zp  
    系统由单色平面波照明 OU=IV;V{  
    照明波长266.08nm n!orM5=:O  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: >%A=b}VS  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 TU6EE  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 `b$I)UUm  
    光束尺寸探测器置于焦平面 fkG"72 95A  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 .qP zd(<T7  
    yE/I)GOQjs  
    TK1M mL  
    KDzIarC  
    2!`Z3>Oa  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 sA j$U^Gp  
    BNLall  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    z`6KX93  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    duTSU9  
    |0Kt@ AJY  
    R|yTUGY  
    nI` 1@ vB&  
    32J  
    Jx,s.Z0@7,  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 VAz+J  
    C u5 - w  
    EH%j$=@X  
    VirtualLab可用于计算点列图。 RR9s%>^  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 #`EMK   
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 P|4a}SWU  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Cq'r 'cBZ  
    hTqJDP"&F  
    9. 焦平面上的结果 |MGw$  
    {rr\hl-$  
    ]z$<6+G  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 fe,CY5B{  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 IrK )N  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm !h;VdCCi#  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 U$%w"k7^(  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    @:8|tJu8b  
    e&kg[jU  
    10. 总结 VzNH%  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \^D`Hvg  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 jKs8i$q  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 v?t+%|dzA  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 -. G0k*[d  
    gqamGLK  
    ?z.`rD$}(n  
    QQ:2987619807 9w|q':<  
     
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