示例.0082(1.0) 9@*4^Ks p 2Paw*"U 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 !W=2ZlzS
({!*&DVu 1. 描述 ;:Kc{B.s ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 \}Pr!tk! ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,l\D@<F ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 z_z'3d.r7
Z \- 2. 系统 2Ju,P_<dt Pp|pH|(n , 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
(fO~nN{F 3. 透镜系统组件编辑 \l 3M\$oS>
3v<9 Z9O
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 qZSW5lC0
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 [@s5v
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #mO.[IuD
■ 包括序列光学表面和光学介质。 WS$~o*Z8
r8L'C k_%maJkXp 4. 光线追迹系统分析器-选项 [{_K[5i [3W+h1 9Mv4=k^7|4
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 v/wR)9
■ 可以选择选取光线的方法: 9p"';*{=
— 在x-y-网格 ] m^ECA$
— 六边形 NW Pd~l+
— 自由选取 *P[N.5{
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /3~}= b KhbbGdmfS$ 5. 系统的3维视图 zPb"6%1B v8A{q
#Cz:l|\ i 6. 其他系统参数 {|@N~c+ ■ 系统由单色平面波照明 E`uK7 2j ■ 照明波长266.08nm R~BW=Dz,e ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: oga0h' — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 B&H
[z — 一个虚拟屏位于焦平面 `3F/7$q_ — 光束尺寸探测器置于焦平面 H0mDs7 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 e9?y0vT// 3bB%@^< kc:2ID& h$fC/Juit ]5J*UZ} 7. 光线追迹系统分析器的结果 Z?'){\$* 2VS#=i(B^ 光线经过整个光学系统的三维视图
(fWQ?6[ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
ZbcpE~<a 1Aa=&B2 90)rOD1B &]/.=J H=9\B} aw/5#(1R 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 J)Td'iT( V?cUQghHg jl4rEzVu
■ VirtualLab可用于计算点列图。 aA.TlG@zP
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 S>p>$m,
Q
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 YY<e]CriU
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
M3
$MgsN:
Y~M H 9. 焦平面上的结果 .c.#V:XZ#U
5bKn6O)K
jDc5p3D&[]
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 |4a#O8d
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 _&m
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm T/C1x9=?
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 v<Ux+-
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 OC[(Eq \6${Na'\ 10. 总结 %@FTg$ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 /1lUFL2D ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 pc%_:> ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ,!4(B1@
■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 |bz,cvlP
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8~|PZ,oZ QQ:2987619807 P1ab2D