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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) E-i rB/0  
    -U=bC   
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 @Tzh3,F2  
    }45&s9m=  
    1. 描述 F/}PN1#T  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 M(S:&GOU  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 mi3yiR  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 nK6{_Y>  
    j4Cad  
    2. 系统 |k+Y >I&  
    -q\1Tlc]3  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    /'}O-h  
    3. 透镜系统组件编辑 qMz0R\4  
    %Ow,.+m  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 aC$hg+U$G  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ek#{!9-  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /'p(X~X:l  
    包括序列光学表面和光学介质。 Y9 , KOs  
    U)+Yh  
    UMw1&"0:  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 3m?3I2k  
    _y),C   
    <D pi M`  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 q!9SANTx  
    可以选择选取光线的方法: Yt7R[|  
    — 在x-y-网格 Je+z\eT!5<  
    — 六边形 2bfKD'!aH  
    — 自由选取 Fmk, "qs  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    x2[A(O=  
    QkwBw^'_5  
    5. 系统的3维视图 PSNrY e  
    S!k cC-7  
    <`b)56v:+  
    6. 其他系统参数 SV}I+O_w  
    系统由单色平面波照明 ](@Tbm8  
    照明波长266.08nm c:4M|t=  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: c63DuHA*C  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 zVYX#- nv  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 )avli@W-3j  
    光束尺寸探测器置于焦平面 /A4zR  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 HkD6aJ:kA!  
    TP[<u-@G  
    ^c!"*L0E  
    iXMs*G cK  
    gEMxK2MNXj  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 1pVagLlb:7  
    m49GCo k+  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    6+e@)[l.zc  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    $3|++?  
    1p<m>s=D=e  
    I8)x 0)Lx  
    (qnzz!s  
    3@*J=LGhKc  
    lphQZ{8  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 r:2G11[  
    +HQX]t:Y  
    (2Z-NVU#  
    VirtualLab可用于计算点列图。 9H$#c_zrq  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Tf) qd\  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 x-,+skZs  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 )"2)r{7:  
    r'#5ncB  
    9. 焦平面上的结果 Q}2aBU.f  
    Wqy|Y*$qT  
    & xo,49`!  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 !v;N@C3C  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Fx*iAH\e  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm >}%  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ;"$Wfy  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    *Fb]lM7D  
    j BS$xW  
    10. 总结 }9<pLk  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Pk!RgoWF  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 d`q<!qFZh  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 lM~ 3yBy  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 c"Ddw'?e  
    $' }rBPA/  
    > L_kSC?  
    QQ:2987619807 U}<5%"!;  
     
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