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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) gkq RO19  
    Qig!NgOM  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 HV.|Eh_7  
     tx&U"]  
    1. 描述 OTtanJ?  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 vdFQf ^l  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 B+q+)O+  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 p ra-8z-  
     j C1^>D  
    2. 系统 !=Kay^J~.  
    +Tc(z{;  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    1r:fxZO\Vd  
    3. 透镜系统组件编辑 ]v,y(yl  
    E#X!*q&  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 H1ui#5n2  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 O@(.ei*HJ!  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 o? xR[N-J  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 <~8f0+"  
     .2SIU4[P  
    ]H9HO2wGQ  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 g:e8i~  
    N+@@EOmH  
    +?m=f}>W1  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 96V, [-arf  
    ■ 可以选择选取光线的方法： G C#95  
    — 在x-y-网格 Ko1?jPE  
    — 六边形 :tDGNz*zG  
    — 自由选取 /s0VyUV=  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     q\pc2Lh?^  
    :V1ZeNw  
    5. 系统的3维视图 e$+? v2.  
    5xV/&N  
    !I+u/f?TO7  
    6. 其他系统参数 j9fL0$+FI  
    ■ 系统由单色平面波照明 -a^sX%|Bl  
    ■ 照明波长266.08nm 3&d+U)E  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： s?I=}  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 eDZ3SIZ  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 #7:9XID /  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 g_!xO2LH,8  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 .BTT*vL-  
    ~#x!N=q  
    &aht K}u  
    \Nn%*?f  
    (Jr;:[4XC  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 =]k_Oq-1h  
    E|}Nj}(*  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    }z 2-|"H  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    x};g!FYfkB  
    wDTV /"Y  
    Z]+Xh  
    L ]'CA^N  
    EHM 7=|#  
    v%e"4:K}?  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 T:n ^$RiT  
    Z#V\[  
    PbH]K$mj{"  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 4Lq]yUj  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 PvCE}bY{}  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 sbhEZ#7#  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 H~K2`Cr)4  
     x%7x^]$  
    9. 焦平面上的结果 ]b$,.t5  
    W/QOG&g  
    JEkVj']?  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Hx0,kOh)  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 3&2q\]Y,  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm \ku{-^7  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 Q9V4-MC9  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     6$.Xj\zl  
    xeh|u"5  
    10. 总结 v0J1%{/xs  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 /T(~T  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 ^%@.Vvz<  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 \kO_"{7n  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ar}759  
    Oz7v hOU  
     m$: a|'mS  
    QQ：2987619807 SSC!BcC1  
     
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