示例.0082(1.0) Dj/Q1KY$m X ^9t 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 kv[OW"8t
EsS!07fAM: 1. 描述 xDNw/' ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 p$&_fzb ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 x%ZiE5# ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 yFa&GxSq
HL|0 d
} 2. 系统 7=AO^:=bx RNsJ!or 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
5,g$|,Shv 3. 透镜系统组件编辑 30e(4@!4vW
Ynv 9v\n|
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 '[0
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 (d1V1t2r6
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 p3i
qW,[@
■ 包括序列光学表面和光学介质。 (}~ 1{C@
Ebmqq#SHjX BZ8h*|uT" 4. 光线追迹系统分析器-选项 ^?JEyY 8'>.#vyMGv i,\t]EJAU
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 u~j'NOv
■ 可以选择选取光线的方法: s#4))yUR6Z
— 在x-y-网格 &L2`L)
— 六边形 k)o7COx
— 自由选取 axt6u)4%7:
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 47$-5k30 a2IV!0x 5. 系统的3维视图 OqUE4.vIP -uS7~Ww.a
fte!Ll' 6. 其他系统参数 o%QhV6(F ■ 系统由单色平面波照明 rGP?
E3 ■ 照明波长266.08nm "dFdOb"O- ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: GZ-n!
^ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 E}E7VQjM — 一个虚拟屏位于焦平面 =D;UMSf — 光束尺寸探测器置于焦平面 xNkwTDN5 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 sP=2NqU3Q ,(5dQ` hA0 D
z]}@Z*jK $]`'Mi `RL(N4H 7. 光线追迹系统分析器的结果 JRcuw'8+q 4l#T_y 光线经过整个光学系统的三维视图
1-ndJ@Wlz 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
F\YcSDM M?:f^ "fX8xZdS -+Awm{X_@ 'bQs_ bE%mgaOh 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 }*{\)7g U(=f5|- rA>R`
■ VirtualLab可用于计算点列图。 0*'`%W+5
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 p3'mJ3MA
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 zrWq!F*-V\
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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#RZJ1uL 9. 焦平面上的结果 lMI
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Xk7$?8r4&
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ~6Ee=NaLzP
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm d5Eee^Qu/
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 cWy*K4O
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 %i
JU)N! IU;pkgBj0Y 10. 总结 eUUD|U*b ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 vVvt
]h ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 |4 d{X@`& ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 *<h ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 V.G9J!?<P D ;T r
Vzv.e6_ QQ:2987619807 O7#}8-@}<u