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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) 0CHH)Bku  
    ^ gdaa>L  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 6_(&6]}66  
     &h}#HS>l  
    1. 描述 |Tv#4st  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Sj3+l7S?  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 y'3rNa]G1  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 =}~hWL  
     #$.;'#u'so  
    2. 系统 %Tfbsyf%f  
    J"0`%'*/  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ?e%ZOI  
    3. 透镜系统组件编辑 dn& s*  
    6,pnw  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 'lH|eU&-  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 ncaT?~u j  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 n*h)'8`Ut  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 9=s<Ld  
     zrvF]|1UP  
    jVEGj5F;N  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 21n?=[  
    G?yLo 'Ulo  
    P?%s #I:  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ez7A4>/  
    ■ 可以选择选取光线的方法： ^vZSUfS  
    — 在x-y-网格 ~?l | [  
    — 六边形 b]e"1Y)D-  
    — 自由选取 QRw"H 8nW  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     n3WlZ!$  
    ::`HQ@^  
    5. 系统的3维视图 %mW{n8W3{  
    !M(xG%M-V  
    ~-k9%v`  
    6. 其他系统参数  -uS!\  
    ■ 系统由单色平面波照明 Zj(AJ*r  
    ■ 照明波长266.08nm x5pdS:  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： #`^}PuQ  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ;[ZEDF5H  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 MxKS4k  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 "MeVE#O  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 `>o{P/HN  
    -E[Kml~U  
    KM, \  
    @NR>{Eg  
    Dm981t>wL  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 #<fRE"v:Q  
    Lj({[H7D!  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    @F AA2 d  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    8]c2r%J  
    4Z3su^XR  
    L;z?a Z7n  
    p T?}Kc  
    cVv=*81\  
    AI2)g1m  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 MpT8" /.]A  
    70?\ugxA  
    hPkp;a #  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 8S TvCH"Z_  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 lf|FWqqV  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 E_rI?t^  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 [jQp~&nY  
     |"}FXa O  
    9. 焦平面上的结果 zpn9,,~u  
    9c bd~mM{  
    i}f"yO+Q+  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 RNk\.}m  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 >58YjLXb  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm K-)] 1BG  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 xK[ou'  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     uh0VFL*@  
    ,Zx0%#6  
    10. 总结 l\H=m3Bg  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ~7w"nIs<c  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 RMV/&85?y  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 v4TQX<0s  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 CZwXTHe  
    B3`5O[ 6  
     P= BZ+6DS  
    QQ：2987619807 KfEx"94  
     
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