示例.0082(1.0) J 6KHc^,7 *&I>3;~%^} 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 rRq60A
Bu(51wU8 1. 描述 LDjtkD.r ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 n4kq=Z% ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 M-^I! C ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 &'z_:W m
P4[kW}R 2. 系统 ,0! 2x"Q= `NW/Z/_ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
}Z"iW/?" 3. 透镜系统组件编辑 $.jGO!
3IMvtg
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 >_?i)%+)
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 q}P@}TE
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 eq6O6-
■ 包括序列光学表面和光学介质。 tY"eoPme
bTD?uX!^@ uE's&H 4. 光线追迹系统分析器-选项 ^j\LB23 x?wvS]EBg AY/.vyS
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 1q7&WG
■ 可以选择选取光线的方法: cdMSC7l!
— 在x-y-网格 /w?e(v<
— 六边形 a4,V(Hlm
— 自由选取 .==D?#bn
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 u<S`"MR:J -8n1y[ 5. 系统的3维视图 _<S!tW dOeM0_o
cLZ D\1Mt 6. 其他系统参数 |o5eG>< ■ 系统由单色平面波照明 =d{6=2Pt ■ 照明波长266.08nm z&%i"IY ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: $@z77td3 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ?6:qAFw — 一个虚拟屏位于焦平面 oV%:XuywT — 光束尺寸探测器置于焦平面 H~j@n!) ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ztO)~uL +dCDk* /m 81Kf X {| P)Adb~r =<n ]T; 7. 光线追迹系统分析器的结果 ]\M{Abqd{ _EMI%P&s 光线经过整个光学系统的三维视图
Cf[tNq 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Ypyi(_G(?> 5T;LWS %>
XsKXj #p(gB)o:l 2w.FC 'NtI bS 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 {>ba7-Cy+y ~wa4kS<> .\XRkr'-
■ VirtualLab可用于计算点列图。 SP%X@~d
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 `PUqz&
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ^OV; P[
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
[edF'7La
rp@:i _] 9. 焦平面上的结果 Lvf<g}?4
NN4Z:6W5
45JL{YRN
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 s$#64"F
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 J*zzjtY( 1
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm hCQOwk#
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 \lK?f] qJq
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 85E$m'0O v^&HZk=( 10. 总结 Mk*4J]PP ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 o9xc$hX} ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 FF8jW1 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 :BxO6@>Xc ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 uc,>VzdB ?T/4
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