示例.0082(1.0) 0CHH)Bku ^
gdaa>L 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 6_(&6]}66
&h}#HS>l 1. 描述 |Tv#4st ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Sj3+l7S? ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 y'3rNa]G1 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 = }~hWL
#$.;'#u'so 2. 系统 %Tfbsyf%f J"0`%'*/ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
?e%ZOI 3. 透镜系统组件编辑 dn&s*
6,pnw
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 'lH|eU&-
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ncaT?~u j
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 n*h)'8`Ut
■ 包括序列光学表面和光学介质。 9=s<Ld
zrvF]|1UP jVEGj5F;N 4. 光线追迹系统分析器-选项 21n?=[ G?yLo 'Ulo P?%s
#I:
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ez7A4>/
■ 可以选择选取光线的方法: ^vZSUfS
— 在x-y-网格 ~?l |
[
— 六边形 b]e"1Y)D-
— 自由选取 QRw"H 8nW
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 n3WlZ!$ ::`HQ@^ 5. 系统的3维视图 %mW{n8W3{ !M(xG%M-V
~-k9%v` 6. 其他系统参数 -uS!\ ■ 系统由单色平面波照明 Zj(AJ* r ■ 照明波长266.08nm x5pdS: ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: #`^}PuQ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ;[ZEDF5H — 一个虚拟屏位于焦平面 MxKS4k — 光束尺寸探测器置于焦平面 "MeVE#O ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 `>o{P/HN -E[Kml~U KM,\ @NR>{Eg Dm981t>wL 7. 光线追迹系统分析器的结果 #<fRE"v:Q Lj({[H7D! 光线经过整个光学系统的三维视图
@FAA2d 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
8]c2r%J 4Z3su^XR L;z?aZ7n p
T?}Kc cVv=*81\ AI2)g1m 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 MpT8" /.]A 70?\ugxA hPkp;a #
■ VirtualLab可用于计算点列图。 8S
TvCH"Z_
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 lf|FWqqV
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 E_rI?t^
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
[jQp~&nY
|"}FXaO 9. 焦平面上的结果 zpn9,,~u
9cbd~mM{
i}f"yO+Q+
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 RNk\.}m
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 >58YjLXb
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm K-)]
1BG
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 xK[ou'
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 uh0VFL*@ ,Zx0%#6 10. 总结 l\H=m3Bg ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ~7w"nIs<c ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 RMV/&85?y ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 v4TQX<0s ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 CZwXTHe B3`5O[6
P= BZ+6DS QQ:2987619807 KfEx"94