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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) g:&V9~FR  
    B'U;i5u4'  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ;V:Cf/@@R  
    h{BO\^6x  
    1. 描述 F,NS:mE  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 C>0='@LB@r  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 .o"FT~}z  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 '-?t^@  
    Qk_Mx"  
    2. 系统 Kd%>:E*  
    &58TX[#  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    =I6u*$9<  
    3. 透镜系统组件编辑 sP` k{xG  
    D_(K{? KU  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 AY~~a)V  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ,iYKtS3  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 GO|EeM!iB  
    包括序列光学表面和光学介质。 XY*KWO  
    >_m4 idq1  
    `JrvD  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 6 z2_b wo  
    *]uj0@S  
    zm9_[0  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 xy.di9  
    可以选择选取光线的方法: t&^cYPRfY'  
    — 在x-y-网格 I8]q~Q<-P  
    — 六边形 o@!!I w  
    — 自由选取 ,x. 2kb  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    \NN5'DBx  
    ]L?DV3N  
    5. 系统的3维视图 H{4/~Z  
    ?->&)oAh  
    j%Cr)' H?  
    6. 其他系统参数 Hc"FW5R  
    系统由单色平面波照明 r!,/~~m T  
    照明波长266.08nm jh*aD=y  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: A!\-e*+W=  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ~ ""?:  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 AWqc?K@   
    光束尺寸探测器置于焦平面 oP0ZJK&;  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 n!>#o 1Qr  
    ^HM9'*&KJ  
    oO 8opS7F  
    $[NC$*N7  
    ue~?xmZg  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 `Y5{opG7-  
    EgY yvS)  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    lbg^ 2|o~~  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    $kM8E@x2  
    'J=knjAT  
    KW[Jft  
    _H (:$=$Q  
    ?V>\9?zb  
    B,]:<1l~  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 lW8!_h"G`n  
    e[ 8AdE  
    U $ bLt  
    VirtualLab可用于计算点列图。 g^qbd$}  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 :.k)!  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 D]h~ \  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 YV 5kzq  
    R>YDn|cWI  
    9. 焦平面上的结果 8UANB]@Y}  
    5jYZ+OB  
    <X{hW^??)  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 2\: z   
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 *YI>Q@F9  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 3X,SCG  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 OGjeE4  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    :<}.3Q?&  
    Y8fahQ#  
    10. 总结 L< gp "e  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 NSPa3NE  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 xzRs;AXOp  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 _%`<V!RT\  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 )= ,Lfj8x  
    hjgxCSp  
    MDo4{7  
    QQ:2987619807 !/},k"p6  
     
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