示例.0082(1.0) ,V9r2QY %J+ w9Z 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 A 4*D3\>%u
Mr*CJgy 1. 描述 \maj5VlJ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 E#A}2|7,g ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8lyNg w1 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 *Z+U}QhHD6
qYPgn_ 2. 系统 >[N6_*K] ac,<+y7A 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
sY[!=` @ 3. 透镜系统组件编辑 E<p<"UjcCJ
o{' JO3
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 6o^O%:0g
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 aI;fNy/K
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 "^ aSONz
■ 包括序列光学表面和光学介质。 #sv:)p
LWxP}? = 3t5WwrNh 4. 光线追迹系统分析器-选项 a
*bc#!e f*EDSJu\ *o6QBb
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 -%Jm-^F I
■ 可以选择选取光线的方法: 5>:p'zI
— 在x-y-网格 U ZL-mF:)&
— 六边形 ug/P>0
— 自由选取 PWV+M@
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;[7#h8 3!Mb<W.3 5. 系统的3维视图 :4>LtfA CHdYY7\{
eH 9-GGr 6. 其他系统参数 BOl*. t ■ 系统由单色平面波照明 PkOtg[Z ■ 照明波长266.08nm
T2t o!*T ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ?U,Xy xN — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 q#0yu"< — 一个虚拟屏位于焦平面 }cIj1: — 光束尺寸探测器置于焦平面 "VeNc,-nfQ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 "77l~3 km}E&ao ai)?RF
V'AZs; /b{Ufo3v 7. 光线追迹系统分析器的结果 `)H|
&!wT ]2z
Gb5s" 光线经过整个光学系统的三维视图
+7t: /_b~ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
602=qb =/N0^ VKr
oikz@] MENrP5AL 2yV{y#\ r+nhm"9 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 af/;D r@ P1ynCe SU4~x0
■ VirtualLab可用于计算点列图。 (!<G` ;}u
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 1gH>B5`
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 %U$%x
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
zh4m`}p
\fC}l
Ll 9. 焦平面上的结果 BeM|1pe.
d\rs/ee
v?4MndR
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 3q1u9`4;
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ptpu
u=3"
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm W.<I:q`eO
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 _lG\_6oJ,
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 cK2Us+h MtK5>mhZI` 10. 总结 ZQDw|*a@ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 b.v^:M ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 zC$(/nZ
■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ZSW`/}Dp; ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Ks^EGy+O:- JOH=)+xj
a.g:yWL\ QQ:2987619807 _qhYG1t