示例.0082(1.0) O(h4;'/E 5Y"lr Y38 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 H
|Z9]+h)7
(J][(=s;a 1. 描述 F>)u<f,C ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 d5%A64? ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 FlRbGg^ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 \Zqgr/.w/
;_,= 2. 系统 U/m6% )Yx( 2md1GWyP 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
%s%v|HDs 3. 透镜系统组件编辑 &
p"ks8"
'AE)&56
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 sbrU;X_S
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。
Jt.dR6,
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Lc f =)GL
■ 包括序列光学表面和光学介质。 $985q@pV0
7Nw7a;h B[!wo 4. 光线追迹系统分析器-选项 v}IkY $[6:KV h2zuPgz,
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 +T+f``RcK
■ 可以选择选取光线的方法: $xyG0Q.
— 在x-y-网格 hUcG3IOBf
— 六边形 N't*e Ci
— 自由选取 Mje6Q
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 (01M 0b# 9l@VxX68M 5. 系统的3维视图 +iir]"8 *{P"u(K
+n %uIv 6. 其他系统参数 `ux
U
H# ■ 系统由单色平面波照明 bg*4Z?[dd ■ 照明波长266.08nm :kfHILi ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 3205gI, — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 4$+1jjC]>~ — 一个虚拟屏位于焦平面 [iwn"e — 光束尺寸探测器置于焦平面 :t8(w>oW ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 #{1w#Iz; VJS|H!CH j~(rG^T j` 9pZAF {j+w|;dZF 7. 光线追迹系统分析器的结果 p)N= q%w\UAqA 光线经过整个光学系统的三维视图
$U<so{xn% 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
<- Q=h?D mEmznA 6&S;Nrg9 _|bIl%W;\' "GEJ9_a[ U,yU-8z/ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 y~w2^VN= +u#;k!B/> mVg-z~44T
■ VirtualLab可用于计算点列图。 X#j-Ld{j
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 sWP5=t(i+9
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 n$g g$<
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
!5wm9I!5^
K4YpE}]u 9. 焦平面上的结果 2--"@@
ya0L8`q
%| }obiV)
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 R"EX$Zj^E
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ^6bU4bA
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Q"n*`#Yt'
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Jp=eh
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 OW-[#r
Q0i.gEwe 10. 总结 `9n%Dy< ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Fd*)1FQKT ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 U8KB@E ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 {O9CYP: ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 M>VT$!Lx EYtf>D
Gkv<)}G QQ:2987619807 1O>wXq7q