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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) ~mT([V  
    t<SCrLbz  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 41i#w;ojI  
    )24 1-b V  
    1. 描述 #D%l;Ae  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Shu=oweJ  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 zoau5t  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 (usPAslr  
    9y;zk$O8  
    2. 系统 >oyZD^gj  
    @KU^B_{i  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    &C6*"JZ4  
    3. 透镜系统组件编辑 a=*JyZ.2  
    if+97^Oy  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Ots]y  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 W"5VqN6v  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 KK/siG~O  
    包括序列光学表面和光学介质。 ?b?YiK&yz  
    Y-]Ne"+vf  
    Gyy?cn6_  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 <1kK@m -E  
    YvFt*t  
    kp,$ NfD  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 #!w7E,UBi  
    可以选择选取光线的方法: X>Y>1fI.  
    — 在x-y-网格 2Gn26L 5  
    — 六边形 }IV=qW,  
    — 自由选取 Y".4."NX  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    77%I%<#  
    t0 )XdIl8  
    5. 系统的3维视图 4l_~-Peh  
    'H'R6<z5  
    P:m6:F@hO  
    6. 其他系统参数 +\25ynM  
    系统由单色平面波照明 Ji0FHa_  
    照明波长266.08nm nZ# 0L`@"Y  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: US] I[Y6V  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @}_Wl<kn  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 +?GsIp@>jh  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Jmun^Q/h  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 _{?-=<V'_  
    &>vfm9  
    (A~w IKY,  
    1oL3y;>iL  
    fD2 )/5j1  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 q4Y7 HE|ym  
    vm8ER,IW)  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    &LHS<Nv^:  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    A0H6}53, $  
    `4a9<bG  
    !5>PZ{J  
    uQz!of%x  
    6~a4-5;>z  
    $)VnHr `hy  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 HEe_K!_  
    /2:s g1  
    `5MK(K :  
    VirtualLab可用于计算点列图。 |L(h+/>aWX  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 sQLjb8!7  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 &Yd6w}8  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 C\}M_MD  
    !qug^F  
    9. 焦平面上的结果 @$5= 4HA  
    [s~6,wz  
    6K5mMu#4  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 wfQImCZ>l  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 FR6 PY  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm O@`KG ZEPY  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 j-7aJj%  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    QQ./!   
    MCl-er"]D  
    10. 总结 pLtK:Z  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 & DhdB0Hjf  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 x,TnYqT^  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 `a9iq>   
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Ceew~n{  
    G k:k px  
    %;b]k  
    QQ:2987619807 0t6DD  
     
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