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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) W0S\g#  
    ky{@*fg.  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 gm$<U9L\v  
    )TcD-Jr  
    1. 描述 [dy0aR$>d  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 A |P wm`  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 4}t$Lf_  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 &hE k m  
    h ^Wm03w  
    2. 系统 [+!~RV_  
    Bxf&gDwjgr  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    RgD:"zeM  
    3. 透镜系统组件编辑 MSb0J`  
    K_Kz8qV.?  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 bSW~hyI w  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 /tJ%gF  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 o,qUf  
    包括序列光学表面和光学介质。 U9XOs)^  
    Ny$N5/b!!  
    qgxGq(6K  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 cS>xT cj  
    ybcCq]cgt  
    l]L"Ex{  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 w x,gth*p  
    可以选择选取光线的方法: ynn>d  
    — 在x-y-网格 z J V>;  
    — 六边形 )%q )!x  
    — 自由选取 [M?&JA_$}  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    l M a||  
    pYj}  
    5. 系统的3维视图 NkxW*w%}l  
    ?:7.3{|Aq  
    d&X <&)a7  
    6. 其他系统参数 t?FPmbj v  
    系统由单色平面波照明 W . dm1  
    照明波长266.08nm ^= '+#|:  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: eK/rs r  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 AQs_(LR  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 #&Zj6en}M]  
    光束尺寸探测器置于焦平面 T9AFL;1  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 W3xObt3w\  
    {qFAX<{D  
    bKQ-PM&I/t  
    zrV~7$HL  
    (kJ"M4*<F'  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 4Z/ ]7Ie  
    =BBq K=W.d  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    \; zix(N[5  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    t.] e8=dE  
    ;h4w<OqcM  
    b(_PV#@$  
    *KPNWY9!W  
    `%.x0~ ih  
    '.zr:l  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 G:;(,  
    ;CA7\&L>  
    0{>P^z  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ys9MV%*  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 SA.,Q~_T7  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 SI;SnF'[7  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 r%II` i  
    k5)e7Lb(  
    9. 焦平面上的结果 C6c]M@6  
    UzUt=s!^H  
    y_Nn%(j  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 $c24lJ#/  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ,8@U-7f,  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm K[i|OZWu  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Z"a]AsG/Q#  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    67dp)X  
    2_;3B4GDF  
    10. 总结 3EX41)u  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 }'Yk#Q  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Z#062NL "  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 B#(2,j7M  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 lof}isOz  
    WAp#[mW.fx  
    df!n.&\y!  
    QQ:2987619807 +X7+:QQ }  
     
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