示例.0082(1.0) 9>~UqP9 Z}bUvr XP 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 K"'W4bO#7
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?p55o 1. 描述 Z9-HQ5> ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 +$i-"^ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 hgCF!eud ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 NJJsg^'
w)I!q&`Y 2. 系统 \m @8$MK V0hC[Ilr 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
-:9E+b 3. 透镜系统组件编辑 x17cMfCH%
:`BZ,j_
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 n]&/?6}
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 :@LFNcWE
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 B ;Zsp
■ 包括序列光学表面和光学介质。 kIS&! V
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fmT 4. 光线追迹系统分析器-选项 S-^y;#= I!bzvPJ]xc vn;_|NeSf
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 )W^Wqa8mG|
■ 可以选择选取光线的方法: n"B"Aysz
— 在x-y-网格 W]|;ZzZ=m
— 六边形 + >o/Ob
— 自由选取 nA8]/r1k
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ju8mO& zo66=vE! 5. 系统的3维视图 <d$kGCz |
>xUgpQi
:32 6. 其他系统参数 ?8wFT!J ■ 系统由单色平面波照明 ]>h2h ?2te ■ 照明波长266.08nm `X?l`H;# ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: S3nA}1R — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 n y6-_mA] — 一个虚拟屏位于焦平面 PN0l#[{EN — 光束尺寸探测器置于焦平面 @Tmqw(n{ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 b{H&%Jx) 31mY]Jve" e"en
ma\_ {UT>>
*C W2h^ShG 7. 光线追迹系统分析器的结果 s]Z/0:` ,ZjbbBZ 光线经过整个光学系统的三维视图
k^gnOU ; 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
* bmdY=#7 `WF?87l1 %)_R>. > Y<Y5HI" . (*V|&n ,vP9oY[n 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ) ^PY-~o[ Vf6lu)Zc1 88Yp0T<1
■ VirtualLab可用于计算点列图。 :pQZ)bF
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Uxx=$
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 M`HXUA4
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Nb\4Mv`
Q%~b(4E^7P 9. 焦平面上的结果 j eMh
WQ4:='(
8^ju=
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Fc>W]1
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 y|V/xm+Fp
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm %,%s09tO
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 g':mM*j&
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 4lC:svF Y1EN|!WZ 10. 总结 a
#?%I# ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 mJ0nyjX^ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ->&AJI0 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 _7.Wz7 ]b ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 MdT'xYomzQ uc~PKU?tO
N8:?Z#z QQ:2987619807 mzTF2K