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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) O(h4;'/E  
    5Y"lr Y38  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 H |Z9]+h)7  
    (J][(=s;a  
    1. 描述 F>)u<f,C  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 d5%A64?  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 FlRbGg^  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 \Zqgr/.w/  
    ;_,=  
    2. 系统 U/m6% )Yx(  
    2md1GWyP  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    %s%v|HDs  
    3. 透镜系统组件编辑 & p"ks8"  
    'AE)&56  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 sbrU;X_S  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。  Jt.dR6,  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Lcf =)GL  
    包括序列光学表面和光学介质。 $985q@pV0  
    7Nw7a;h  
    B[!wo  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 v}IkY  
    $[6:KV  
    h2zuPgz,  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 +T+f``RcK  
    可以选择选取光线的方法: $xyG0Q.  
    — 在x-y-网格 hUcG3IOBf  
    — 六边形 N' t*eCi  
    — 自由选取 Mje6Q  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    (01M0b#  
    9l@VxX68M  
    5. 系统的3维视图 +iir]"8  
    *{P"u(K  
    +n%uIv  
    6. 其他系统参数 `ux U H#  
    系统由单色平面波照明 bg*4Z?[dd  
    照明波长266.08nm :kfHILi  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 3205gI,  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 4$+1jjC]>~  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 [iwn"e  
    光束尺寸探测器置于焦平面 :t8(w>oW  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 #{1w#Iz;  
    VJS|H!CH  
    j~(rG^T  
    j` 9pZAF  
    {j+w|;dZF  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 p)N=  
    q%w\UAqA  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    $U<so{xn%  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    <- Q=h?D  
    mEmznA  
    6&S;Nrg9  
    _|bIl%W;\'  
    "GEJ9_a[  
    U,yU-8z/  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 y~w2^VN=  
    +u#;k!B/>  
    mVg-z~44T  
    VirtualLab可用于计算点列图。 X#j-Ld{j  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 sWP5=t(i+9  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 n$g g$<  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 !5wm9I!5^  
    K4YpE}]u  
    9. 焦平面上的结果 2--"@@  
    ya0L8`q  
    %|}obiV)  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 R"EX$Zj^E  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ^6bU4bA  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Q"n*`#Yt'  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Jp=eh   
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    OW- [#r  
    Q0i.gEwe  
    10. 总结 `9n%Dy<  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Fd*)1FQKT  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 U8KB @E  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 {O9CYP:  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 M>VT$!Lx  
    EYtf>D  
    Gkv<)}G  
    QQ:2987619807 1O>wXq7q  
     
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