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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) _ a|zvH  
    iXt >!f*  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 [ 44d(P'  
     t8,s]I&  
    1. 描述 pDO&I]S`q0  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 C#`VVtei  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 {1.t ZCMT  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 E-_FxBw  
     oO-kO!59y  
    2. 系统 UW*[)yw]  
    E=.4(J7K  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    K)c`G_%G  
    3. 透镜系统组件编辑 < ) L'h  
    ({g7{tUy^H  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 1CFTQB>  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 8*;88vW"2  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 y{ReQn3> y  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 JJ5s |&}  
     #wL}4VN  
    2B{~"<  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 h[M~cZ{  
    L, L>cmpM  
    !fXwX3B  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 > Q+Bw"W<  
    ■ 可以选择选取光线的方法： >L F y:a  
    — 在x-y-网格 Mj2o>N2,  
    — 六边形 h=uwOi6}  
    — 自由选取 Ly1V@  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     TQyi -Dc  
    2yk32|  
    5. 系统的3维视图 r]p 0O(  
    8y5iT?.~vy  
    yES+0D5<  
    6. 其他系统参数 4hb<EH'_&  
    ■ 系统由单色平面波照明 G:NI+E"]  
    ■ 照明波长266.08nm hce *G@b  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： rnvKfTpZDU  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 T >X nVK  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 @Omgk=6  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 y%A!|aBu  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 M}|<# i7u  
    e"9 u}-Q@  
    ]RgLTqv4x  
    XLe8]y=  
    *5'U3py  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 EY=`/~|c  
    2JNO@  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    e|)6zh<O:  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    RN(>37B3_  
    I^>m-M.  
    ?-mDvW  
    qP6 YnJWl  
    w8$rt  
    dHp(U :)  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 &VG|*&M  
    {kGcZf3h  
    %a- *Ku  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 n]$50_@  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 gFR9!=,/V%  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 j{00iA}  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 /[Oo*}Dc=F  
     $89hkUuTu^  
    9. 焦平面上的结果 i7g+8 zd8d  
    +DMD g.  
    <i9pJGW  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ;8z40cD  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 `NIc*B4q.  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm "RPX_  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 bvZTB<rA  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     > <cK  
    u2=gG.  
    10. 总结 . C_\xb  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。  g wM~W  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 6*3J3Lc_<  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Q"UWh~  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 So &c\Ff  
    Ul@ Jg    
     .yp"6S^b  
    QQ：2987619807 *LnY}#  
     
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