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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) J 6KHc^,7  
    *&I>3;~%^}  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 rRq60A  
    Bu(51wU8  
    1. 描述 LDjtkD.r  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 n4k q=Z%  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 M- ^I!C  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 &'z_:Wm  
    P4[kW}R  
    2. 系统 ,0! 2x"Q=  
    `NW/Z/_  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    }Z"iW/?"  
    3. 透镜系统组件编辑 $.jG O!  
    3IMvtg  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 >_?i)%+)  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 q}P@}TE  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 eq6O6-  
    包括序列光学表面和光学介质。 tY"eoPme  
    bTD?uX!^@  
    uE's&H  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ^ j\LB23  
    x?wvS]EBg  
    AY/.vyS  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 1q7&WG  
    可以选择选取光线的方法: cdMSC7l!  
    — 在x-y-网格 /w?e(v<  
    — 六边形 a4,V(Hlm  
    — 自由选取 .==D?#bn  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    u<S`"MR:J  
    -8n1y[  
    5. 系统的3维视图  _<S!tW  
    dOeM0_o  
    cLZ D\1Mt  
    6. 其他系统参数 |o5eG><  
    系统由单色平面波照明 =d{6=2Pt  
    照明波长266.08nm z&%i"IY  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: $@z77td3  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ?6:qAFw  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 oV%:XuywT  
    光束尺寸探测器置于焦平面 H~j@n!)  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ztO)~uL  
    +dCDk* /m  
    8 1Kf X {|  
    P)Adb~r  
    =<n ]T;  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ]\M{Abqd{  
    _EMI%P& s  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Cf[tNq  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Ypyi(_G(?>  
    5T;LWS  
    %> XsKXj  
    #p(gB)o:l  
    2w.FC  
    'NtI bS  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 {>ba7-Cy+y  
    ~wa4kS<>  
    .\XRkr'-  
    VirtualLab可用于计算点列图。 SP%X@~d  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 `PUqz&  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ^OV; P[  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 [edF'7La  
    rp@:i _]  
    9. 焦平面上的结果 Lvf<g}?4  
    NN4Z:6W5  
    45JL{YRN  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 s$#64"F  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 J*zzjtY( 1  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm hCQOwk#  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 \lK?f]qJq  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    85E$m'0O  
    v^&HZk=(  
    10. 总结 Mk*4J]PP  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 o9xc$hX}  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 FF8jW1  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 :BxO6@>Xc  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 uc,>VzdB  
    ?T/4 =  
    ,kJ'_mq  
    QQ:2987619807 B!&5*f}*  
     
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