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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) ,V9 r2QY  
    %J+ w9Z  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 A4*D3\>%u  
    Mr*CJgy  
    1. 描述 \maj5VlJ  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 E#A}2|7,g  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8ly Ng w1  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 *Z+U}QhHD6  
    qYPgn _  
    2. 系统 >[N6_*K]  
    ac,<+y7A  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    sY[!=`@  
    3. 透镜系统组件编辑 E<p<"UjcCJ  
    o{' J O3  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 6o^O%:0g  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 aI;fNy /K  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 "^ aSONz  
    包括序列光学表面和光学介质。 #sv:)p  
    LWxP}? =  
    3t5W wrNh  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 a *bc#!e  
    f*EDSJu\  
    *o6QBb  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 -%Jm-^F I  
    可以选择选取光线的方法: 5>:p'zI  
    — 在x-y-网格 UZL-mF:)&  
    — 六边形 ug/P>0  
    — 自由选取 PWV+ M@  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ;[7#h8  
    3!Mb<W.3  
    5. 系统的3维视图 :4>LtfA  
    CHdYY7\{  
    eH9-GGr  
    6. 其他系统参数 BOl*. t  
    系统由单色平面波照明 PkOtg[Z  
    照明波长266.08nm T2to!*T  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ?U,XyxN  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 q#0yu"<  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 }cIj1:  
    光束尺寸探测器置于焦平面 "VeNc,-nfQ  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 "77l~3  
    km}E&ao  
    ai)?RF  
    V'AZs;  
    /b{Ufo3v  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 `)H| &!wT  
    ]2z Gb5s"  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    +7t:/_b~  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    602=qb  
    =/N0^  
    VKr oikz@]  
    MENrP5AL  
    2yV {y#\   
    r+n hm"9  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 af/;Dr@  
    P1ynCe  
    SU4~x0  
    VirtualLab可用于计算点列图。 (!<G` ;}u  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 1gH>B5`  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 %U$%x  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 zh4m`}p  
    \fC}l Ll  
    9. 焦平面上的结果 BeM|1pe.  
    d\rs/ee  
    v?4MndR  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 3q1u9`4;  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ptpu u=3"  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm W.<I:q`eO  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 _lG\_6oJ,  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    cK2Us+h  
    MtK5>mhZI`  
    10. 总结 ZQDw|*a@  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 b .v^:M  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 zC$(/nZ  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ZSW`/}Dp;  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Ks^EGy+O:-  
    J OH=)+xj  
    a.g:yWL\  
    QQ:2987619807 _qhYG1t  
     
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