示例.0082(1.0) ~mT([V t<SCrLbz 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 41i#w;ojI
)24
1-b V 1. 描述 #D%l;Ae ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Shu=oweJ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 zoau5t ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 (usPAslr
9y;zk$O8 2. 系统 >oyZD^gj @KU^B_{i 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
&C6*"JZ4 3. 透镜系统组件编辑 a=*JyZ.2
if+97^Oy
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Ots] y
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 W"5VqN6v
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 KK/siG~O
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ?b?YiK&yz
Y-]Ne"+vf Gyy?cn6_ 4. 光线追迹系统分析器-选项 <1kK@m -E YvFt*t
kp,$ NfD
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 #!w7E,UBi
■ 可以选择选取光线的方法: X>Y>1fI.
— 在x-y-网格 2Gn26L5
— 六边形 }IV=qW,
— 自由选取 Y".4."NX
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 77%I%<# t0)XdIl8 5. 系统的3维视图 4l_~-Peh 'H'R6<z5
P:m6:F@hO 6. 其他系统参数 +\25ynM ■ 系统由单色平面波照明 Ji0FHa_ ■ 照明波长266.08nm nZ#0L`@"Y ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: US]I[Y6V — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @}_Wl<kn — 一个虚拟屏位于焦平面 +?GsIp@>jh — 光束尺寸探测器置于焦平面 Jmun^Q/h ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 _{?-=<V'_ &>vfm9 (A~w IKY, 1oL3y;>iL fD2)/5j1 7. 光线追迹系统分析器的结果 q4Y7 HE|ym vm8ER,IW) 光线经过整个光学系统的三维视图
&LHS<Nv^: 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
A0H6}53, $ `4a9<bG !5>PZ{J u Qz!of%x 6~a4-5;>z $)VnHr `hy 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 HEe_K!_ /2:s g1 `5 MK(K
:
■ VirtualLab可用于计算点列图。 |L(h+/>aWX
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 sQLjb8!7
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 &Yd6w}8
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
C\}M_MD
!qug^F 9. 焦平面上的结果 @$5=4HA
[s~6,wz
6K5mMu#4
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 wfQImCZ>l
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 FR6PY
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm O@`KGZEPY
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 j-7aJj%
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 QQ./! MCl-er"]D 10. 总结 pLtK :Z ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 & DhdB0Hjf ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 x,TnYqT^ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 `a9iq> ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Ceew~n{ Gk:k
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%;b] k QQ:2987619807 0t6DD