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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) Dj/Q1KY$m  
    X^9t  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 kv[OW"8t  
    EsS!07fAM:  
    1. 描述 xDNw /'  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 p$&_fzb  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 x%ZiE5#  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 yFa&GxSq  
    HL|0d }  
    2. 系统 7=AO^:=bx  
    RN sJ!or  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    5 ,g$|,Shv  
    3. 透镜系统组件编辑 30e(4@!4vW  
    Ynv 9v\n|  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 '[0 3L9  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 (d1V1t2r6  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 p3i qW,[@  
    包括序列光学表面和光学介质。 (}~ 1{C@  
    Ebmqq#SHjX  
    BZ8h*|uT"  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ^?JEyY  
    8'>.#vyMGv  
    i,\t]EJAU  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 u~j'NOv  
    可以选择选取光线的方法: s#4))yUR6Z  
    — 在x-y-网格 &L2`L)  
    — 六边形 k)o7COx  
    — 自由选取 axt6u)4%7:  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    47$-5k30  
    a2 IV!0x  
    5. 系统的3维视图 OqUE4. vIP  
    -uS7~Ww.a  
    fte!Ll'  
    6. 其他系统参数 o%QhV6(F  
    系统由单色平面波照明 rGP? E3  
    照明波长266.08nm "dFdOb"O-  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: GZ-n! ^  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 E}E7VQjM  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 = D;UMSf  
    光束尺寸探测器置于焦平面 xNkwTDN5  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 sP=2NqU3Q  
    ,(5dQ`hA0  
    D z]}@Z*jK  
    $]`'Mi  
    `RL(N4H  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 JRcuw'8+q  
    4l#T_y  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    1-ndJ@Wlz  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    F\YcSDM  
    M ?: f^  
    "fX8xZdS  
    -+Awm{X_@  
    'bQ s_  
    bE%mgaOh  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 }*{\)7g  
    U(=f5|-  
    r A&#>R`  
    VirtualLab可用于计算点列图。 0*'`%W+5  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 p3'mJ3MA  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 zrWq!F*-V\  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 6H. L!tUI  
    #RZJ1uL  
    9. 焦平面上的结果 lMI ix0sSj  
    e`gGzyM  
    LU 5 `!0m  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Xk7$?8r4&  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ~6Ee=NaLzP  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm d5Eee^Qu/  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 cWy*K4O  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    %i JU)N!  
    IU;pkgBj0Y  
    10. 总结 eUUD|U*b   
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 vVvt ]h  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 |4 d{X@`&  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。  *<h  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 V.G9J!?<P  
    D;T r  
    Vzv.e6_  
    QQ:2987619807 O7#}8-@}<u  
     
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