示例.0082(1.0) ,[gu7z^| ;Gf,I1d}{ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 W~" 'a9H/
w_gFN%8 1. 描述 WA'4y\ N ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 #:q$sKQ_$ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 &\n<pXQ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 v3zd>fDnRp
pt/UY<@yoN 2. 系统 ,Z3 (`ftC ZnrsJ1f: 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
%#AM }MWIa 3. 透镜系统组件编辑 !UzMuGj
"c+j2f'f
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 6 b/UFO
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 v d{`*|x
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 hq[:U?!Tt
■ 包括序列光学表面和光学介质。 @%FLT6MY
,Wbr;
zb {pWb*~!k 4. 光线追迹系统分析器-选项 0\B31=N( iY~.U`b` ~8oti4
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?'xwr)v
■ 可以选择选取光线的方法: yuef84~
— 在x-y-网格 S]"U(JmW\
— 六边形 MbT;]Bo
— 自由选取 B,xohT
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 G5l?c@o 1QA{NAnu& 5. 系统的3维视图 r
9~Wh
$ t^k^e{,q#
tyI!y~-z 6. 其他系统参数 #7*{ $v ■ 系统由单色平面波照明 g+RgDt9 ■ 照明波长266.08nm ',_E;( ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 6x.ZS'y — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 vC
[uEx: — 一个虚拟屏位于焦平面 -J6G=+s/ — 光束尺寸探测器置于焦平面 -%G}T}"_ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 H{d;,KfX Hxr)`i46 DN X-\ HxAN&g*: %"jp': 7. 光线追迹系统分析器的结果 15l{gbCW X]1Q# $b 光线经过整个光学系统的三维视图
,N1I\f 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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^ DQX=1 W"meH~[Cp 5R%4fzr&g #Fwf]{J H6oU Ne NZQl#ZJH: 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 llE_-M2gH !H^e$BA RxB9c(s^@
■ VirtualLab可用于计算点列图。 e[($rsx
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 J1\H^gyW)
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 svWQk9d
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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j*fs [4 9. 焦平面上的结果 ~Qm<w3oy
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 n85d
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■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 x-@}x@n&[
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm wfMtWXd;KB
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 n7p,{KSQ
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 }~O`(mnD}K isR)^fI| 10. 总结 h?-*SLT ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0Q{^BgW ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Pw|J([ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 N3m~nEj ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 LcW:vV|'K xsERn F>`
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