示例.0082(1.0) o>(I_3J[p BSe{HmDq 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 >_R,^iH"
[^oTC; 1. 描述 cV=0)'&<`_ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 qnFi./ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 lB7 V4 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 K) e;*D
$K_G|Wyi 2. 系统 oqLM-=0<} BKd03s= 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
:Nry | 3. 透镜系统组件编辑 a]JQZo1$
J |$(O$hYy
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 jv8diQ.
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 d A[MjOd3
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 O,$
?Pj6
■ 包括序列光学表面和光学介质。 uT")j,tz
75>)1H)Xm -0pAj}_2} 4. 光线追迹系统分析器-选项 %Z:07|57I[ vKX6@eg" l"T{!Oq
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 m%?+;V
■ 可以选择选取光线的方法: 3Ryae/Nk
— 在x-y-网格 ymNL`GYN[
— 六边形 `E @TPdu
— 自由选取 fga{b7
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 WTlR>|Zdn Mg7nv\6 5. 系统的3维视图 erhxZ|."P -#TF&-
Cob<N'. 6. 其他系统参数 aPELAU- ■ 系统由单色平面波照明 $|0?$U7! ■ 照明波长266.08nm
Sj,>O:p ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: n ]K`ofjl^ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 tTX@Bb8 — 一个虚拟屏位于焦平面 JPsR7f — 光束尺寸探测器置于焦平面 $e99[y@ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 JDa=+\_ { \r1A @bkZ< Gq GnCO{"n 8 !{;yz 7. 光线追迹系统分析器的结果 kdr?I9kwW != @U~X|cu 光线经过整个光学系统的三维视图
=|Q7k +b 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
l.Psh7B2 wZAY0@pA NWNPq" o%~PWA*Qp Syf0dp3 H#Aar 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 bD: yu vX9B^W||x
5O7x4bY
■ VirtualLab可用于计算点列图。 s#nd:$p3
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 *E"OQsIl
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 r+#! ]wNPe
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
4R;6u[a]u
$<]G#&F 9. 焦平面上的结果 |Z"5zL10
~_;x o?@ba
yjq~O~
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 N:_U2[V^d
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ~9tPT0^+
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm u lqh}Uv'
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 9rd7l6$R"
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 D09/(%4j v ?9 10. 总结 a4B#?p ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 KX|7mr90K ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 qjtrU#n ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 8/tvS8I#y ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 5os(. _@U11|
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