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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) %~;Q_#CR/K  
    StDmJ]  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 ygW@[^g  
     PHK#b.B>a8  
    1. 描述 ?xo,)``  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 (XwLKkw0n  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Z+dR(9otH3  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7qUtsDK  
     {l11WiqQH  
    2. 系统 9HE(*S  
    cMWO_$  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    L@_">' pR  
    3. 透镜系统组件编辑 /C:'qhY,  
    3.0c/v5Go  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。  b:QFD|  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 by U\I5  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 eE{L>u  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 cO RMR!  
     m3(T0.j0P  
    ;a3nH  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 q-G|@6O  
    U&n>fXTHn  
    WhZaq  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ^!<7#kX  
    ■ 可以选择选取光线的方法： G; [A Q:Iy  
    — 在x-y-网格 rc$!$~|I3Z  
    — 六边形 ]jb4Z  
    — 自由选取 iW}l[g8sw!  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     bVeTseAG  
    NN 6KLbC(  
    5. 系统的3维视图 =b!J)]  
    VDKS_n  
    M#cr*%  
    6. 其他系统参数 S@g/Tn  
    ■ 系统由单色平面波照明 i"]8Zw_D  
    ■ 照明波长266.08nm daIL> c"  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： :#[_Osmf(  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 3> #mO}\  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 1 j12Qn@]  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 eAsX?iaH  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 x"8ey|@&,  
    UB$`;'|i  
    Ke?gz:9j  
    p$nK@t}  
    +%Y c4  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 " q^#39i?  
    r^A#[-VyNP  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    '95E;RV&  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    BO4 K#H7  
    e$EF% cKH  
    WjrMd#^  
    =*g$#l4  
    >_`D3@Rz  
    +F o$o  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ok>(>K<r  
    `8(h,aj;  
    h Y}/Y  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 G|-\T(&J  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 'dc+M9u)_q  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ^+as\  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 %A62xnX  
     XalJo@%-  
    9. 焦平面上的结果 7<:Wq=e!r  
    }@14E-N=  
    Y#lk!#\Y  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 adI!W-/R:  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 )@,90Vhh  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ``$%L=_m  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 TH>?Gi) "  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     (9}eF)+O  
    qB F!b0lr  
    10. 总结 fJWxJSdi  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;tp]^iB#  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 QtY hg$K3  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 {^cF(7p  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ?+n&hHRg  
    TF=k(@9J?  
     #Pu@Wx  
    QQ：2987619807 %{7_E*I@n  
     
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