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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) bnvY2-O6  
    *a|575e< z  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 862rol  
    4|cRYZj5  
    1. 描述 ` wj'  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 7KUf,0D  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 /!>OWh*~  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 cotySio$  
    Bnwq!i!M  
    2. 系统 /4 Kd  
    *a8<cf  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    mb3aUFxA;  
    3. 透镜系统组件编辑 L|(U%$  
    4|Y1W}!0/  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 =)jo}MB  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 iC!6g|]X  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 m&q0 _nay  
    包括序列光学表面和光学介质。 \AoqOC2u  
    rk;]7Wu  
    {=J:  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 #k &#d9}  
    A{)pzV25  
    )'7Qd(4WT  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Vz-q7*o $S  
    可以选择选取光线的方法: j bT{K|d-  
    — 在x-y-网格 yEh{9S%6p  
    — 六边形 Gi@c`lRd1  
    — 自由选取 %B1TN#KoT  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    [x=(:soEqC  
    >e.KD) qA  
    5. 系统的3维视图 w03Ur4>T  
    X+u1p?  
    !vK0|eV3  
    6. 其他系统参数 R@Gll60  
    系统由单色平面波照明 8a8D0}'  
    照明波长266.08nm &KI|qtQ;  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ofz?L#:2  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 #E\6:UnT  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 D ZZRu8~  
    光束尺寸探测器置于焦平面 SS _6VE*sI  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ~g#/q~UE  
    DYIp2-K  
    {w"Cr0F,  
    ld({1jpX,  
    7042?\\=  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 OfA+|xT&  
    #v~dhx=R  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    z_KCG2=5  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    1BEc"  
    cZoj|=3a  
    =;I+: K  
    't*]6^  
    .YB/7-%M[  
    ~5Mj:{B  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 MwQt/Qv=  
    glROT@  
    }F9#3W&`c  
    VirtualLab可用于计算点列图。 S+t2k&pm  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 3q@JhB  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ^k^?>h  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 1#+|RL4o  
    :1bDkoK  
    9. 焦平面上的结果 [C;Neslo  
    l1L8a I,8  
    AkO);4A;Jd  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 SG0PQ  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 9CN'2 9c  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm v7#|%  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 =_@) KWeX$  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    cuy9QBB :  
    tW-[.Y -M,  
    10. 总结 Tj<B;f!u  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 "VoufXM:  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 *0V'rH)  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 yFd94 2  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 &U}8@;  
    *O[/- p&7  
    ;<b7kepR  
    QQ:2987619807 II~91IEk  
     
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