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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) q0NFz mG  
    r|EN5  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 *Jgi=,!m  
     sFc\L94  
    1. 描述 <%m YsaM  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Ea&|kO|  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 mY.v:  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ^1najUpQ_n  
     ~ubvdQEW  
    2. 系统  !BsQJ_H  
    `Gqe]ZE#"  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    pcy;]U ?  
    3. 透镜系统组件编辑 moM? aYm  
    O;H6`JQ  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 au{) 5W4~  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 zY*9M3(X  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 dymq Z<  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 Kcm+%p^  
     rP:g`?*V  
    :j]1wp+  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 8@t8P5(vL  
    vkIIuNdDlx  
    j6GIB_  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 J,F1Xmr4  
    ■ 可以选择选取光线的方法： ?H=q!i  
    — 在x-y-网格 8:$h&aBI  
    — 六边形 JM3[ yNSN@  
    — 自由选取 w*-42r3,'  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     C^L+R7  
    krUtOVI  
    5. 系统的3维视图 <y@v v  
    <E2 IU~e  
    \rS*\g:i  
    6. 其他系统参数 6kYluV+j  
    ■ 系统由单色平面波照明 3YHEH\60^  
    ■ 照明波长266.08nm n93q8U6m/U  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： 8zp?WUb  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ye(b 7CX  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 tm+*ik=x|  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 !Y ,7%  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ev4[4T-( @  
    Vu3DP+u|i  
    fpR|+`k  
    V|8'3=Z=  
    P8eCaZg?(3  
    7. 光线追迹系统分析器的结果  6:zPWJB  
    3vY-;&  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ?9`j1[0  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    w:5?ofC  
    8A#,*@V[  
    W/qXQORv  
    cnu&!>8V  
    o701RG ~)  
    Tqt-zX|>  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ?2]fE[SqY  
    g(@F`W[  
    ,"EaZ/Bl/  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 > Vm}u`x  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 TxJk.c  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 "t0^4=c+7  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 q3x"9i `  
     tu\XuDk y  
    9. 焦平面上的结果 B4y_{V  
    sY;h~a0n  
    0t7N yKU  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 i!a!qE.1  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 t]h_w7!U  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm I~&*^q6 |  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 K(+=V)'Dz  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     A (2 0+  
    W Z'<iI  
    10. 总结 ]64Pk9z=  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 cfTT7O#Dc  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 &W\e 5X<A  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 s~Eo]e  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 U1YqyG8  
    y!b"Cj  
     Cog}a  
    QQ：2987619807 RN`TUCQL  
     
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