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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) *NW QmC~  
    < m enABN4  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 xIQ/$[&v  
    vK6ibl0  
    1. 描述 ySQ-!fQnP  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Y=a v8Y|`  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 sm;E2BR$ `  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 m-ph}  
    y~ _za(k  
    2. 系统 %i$M/C"(  
    -R&E,X7N  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    )@]6=*%  
    3. 透镜系统组件编辑 c6,s+^^  
    7G.o@p6$  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 vm\wO._  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {}_Nep/;  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 *p&^!ct  
    包括序列光学表面和光学介质。 _ktK+8*6`  
    Dxt),4 %P  
    Vvm=MBgN  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Jcz]J)|5v  
    u>}w-  
    K`QOU-M@}  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 lt{lpH  
    可以选择选取光线的方法: rQ~\~g[tP  
    — 在x-y-网格 JF~1' "_f:  
    — 六边形 sI&i{D  
    — 自由选取 ME$2P!o  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ;)(Sdf[P  
    qzA`d 5rX  
    5. 系统的3维视图 b , juF2  
    -t8hi+NK  
    d,c8Hs8  
    6. 其他系统参数 R_Zv'y6  
    系统由单色平面波照明 d/D,P=j"  
    照明波长266.08nm ;,1=zhKU.  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Go>wo/Sb  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 B_{HkQ.PW  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 8Y2xW`  
    光束尺寸探测器置于焦平面 3k#[(phk  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 F9(._ow[  
    Q [r j  
    >~I#JQ%  
    Q6"uK  
    *cbeyB{E  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 yND"bF9  
    >i "qMZ  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    nX0HT )}  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    x_*%*H  
    f UC9-?(K  
    jY7=mAd  
    B:4Ka]{YO  
    3&'2aW   
    %.mEBI=hs  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 C ye T]y  
    ,7GWB:Sk  
    %$@1FlqX;  
    VirtualLab可用于计算点列图。 [r)e P({  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 /;?M?o"H  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ! Tx&vtq  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ~+yZfOcw  
    *G9sy_  
    9. 焦平面上的结果 5%*w<6<_z  
    /<);=&[  
    m9in1RI%  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 7R}9oK_I  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 HPg3`Ul  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm AS)UJ/lC  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 xH-X|N  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    nq"evD5  
    {C3U6kKs;R  
    10. 总结 S,)d(g3>  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Ko6^iI1  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 hoa7   
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。  Tc6:UF  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 &-%>q B|*  
    -KH)J  
    Mp~y0e  
    QQ:2987619807 `K*b?:0lp  
     
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