示例.0082(1.0) (~{7 e/)r W.o
W=< 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 b n^^|i
LL-MZ~ZB 1. 描述 lbg!B4, ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ~9]tt\jN*Y ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 av
wU)6L ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 g<KBsz!{
z-(dT 2. 系统 RsVba!x@ [ OMcSd|nf 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
ImklM7A 3. 透镜系统组件编辑 0_qqBL.4
^fS~va
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 sh}=#eb
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 CbS9fc&
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 |/ZpZ7
■ 包括序列光学表面和光学介质。 q(!191@C(
v.\1-Q? T\8|Q@ 4. 光线追迹系统分析器-选项 #12PO q SMqJMirR eNu`\
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 hXbb+j
■ 可以选择选取光线的方法: FB6`2E%o
— 在x-y-网格 cRT@Cu
— 六边形 XLg6?Nu
— 自由选取 LurBqr
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 \ tF>< 7DKbuUK 5. 系统的3维视图 %@kmuz?? JQi)6A?J
b!5W!vcK 6. 其他系统参数 e6QUe.S ■ 系统由单色平面波照明 : )cPc7$8 ■ 照明波长266.08nm ^yu0Veypy ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 3iR;(l} — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 B;2os ^* — 一个虚拟屏位于焦平面 GO+cCNMa" — 光束尺寸探测器置于焦平面 |.)oV;9 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 a~9U{)@F $cSrT)u: Vqb4
MWW ,L6d~>=41 M0S}-eXc5 7. 光线追迹系统分析器的结果 `QnKal ) 4=%Uv^M 光线经过整个光学系统的三维视图
i"r&CS)sT 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
6
GO7[?U< 7(QRG\G# 0gL]^_+7 T\{ on[O Yo/U /dB (Ub=sC 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 kn^RS1m _[<R<&jG C\ZL*,%}
■ VirtualLab可用于计算点列图。 u}\F9~W-{
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 X* KQWs.
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 nL%;^`*8
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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GbFLu`I u 9. 焦平面上的结果 GpMKOjVm|
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 vIF=kKl9,
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 jL(=<R(~y
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ;5:g%Dt
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 A[oLV"J6x5
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Q&]
}`Rp= e^&QT 10. 总结 +0rMv ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 XSyCT0f08 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 *:J#[ET, ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 r(h&=&T6 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 M>D 3NY[, WMnR+?q
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QQ:2987619807 ^h{AAS>