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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) FC  
    na 0Zb  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 )6eFYt%c  
     _ q AT%.  
    1. 描述 [{#n?BT  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Kzy9i/bL  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 RRzLQ7J  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 rB|4  
     6q7jI )l  
    2. 系统 eLbh1L  
    [E"3 ?p  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    OL^DuoB4q  
    3. 透镜系统组件编辑 T'9M  
    "{3MXAFe  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 /<dl"PWkJv  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 OAEa+V  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 EW3--33s  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 ca,c+5  
     &vIj(e9Y  
     v&7x ~!O  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 XpA|<s  
    lwo,D}  
    s?fEorG  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 jS5K:yx<  
    ■ 可以选择选取光线的方法： l E* .9T  
    — 在x-y-网格 yVJ)JhV  
    — 六边形 ju4wU; Nu  
    — 自由选取 f9hH{ ( A  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     |/Y!R>El  
    iR8;^C.aT  
    5. 系统的3维视图 ;<%d^   
    84s:cO  
    ej&o,gX  
    6. 其他系统参数 &ha<pj~  
    ■ 系统由单色平面波照明 .TNJuuO  
    ■ 照明波长266.08nm 3wfJ!z-E8  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： o[S Mt  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 :K(+ KN(  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 &yqk96z  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 Ie8SPNY-H  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 |>-0q~  
     q ^Gj IP  
    N ]GF>kf:  
    u!b0 <E  
    n:Dr< q .  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 J`wx72/-ZW  
    a`Q-5* \;z  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    L rV|Y~  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    9'KOc5@l^  
    pwF])uf*{\  
    0,iG9D 7  
    Qr?(2t#  
    7'@~TM  
    Ju.T.)H  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 lH"VLO2l  
    ZKi?;ta=  
    8P2_/)|  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 '2{60t_A  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 gpCWXz')i  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 3v)`` n@  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ?Uhjyi  
     t /lU*  
    9. 焦平面上的结果 @^HZTuP2;  
    ,rhNXx  
    2}5@: cwR+  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 K{FBrh  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 |;YDRI  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm WTZuf9:  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 ,@Elw>^  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     n5*m x7  
    p >nKNd_aQ  
    10. 总结 f6#1sO4"  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ]YB,K)WQ  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 *C^TCyBK;  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 hr g'Z5n  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 X u>]$+u#  
    >~T2MlRux  
     m\K1Ex  
    QQ：2987619807 >}86#^F  
     
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