示例.0082(1.0) bnvY2-O6 *a|575e< z 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 862rol
4|cRYZj5 1. 描述 `wj' ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 7KUf,0D ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 /!>OWh*~ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 cotySio$
Bnwq!i!M 2. 系统 /4 Kd *a8 <cf 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
mb3aUFxA; 3. 透镜系统组件编辑 L|(U%$
4|Y1W}!0/
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 =)jo}MB
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 iC! 6g|]X
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 m&q0 _nay
■ 包括序列光学表面和光学介质。 \AoqOC2u
rk;]7Wu {=J: 4. 光线追迹系统分析器-选项 #k d9} A{)pzV25 )'7Qd(4WT
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Vz-q7*o$S
■ 可以选择选取光线的方法: jbT{K|d-
— 在x-y-网格 yEh{9S%6p
— 六边形 Gi@c`lRd1
— 自由选取 %B1TN#KoT
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [x=(:soEqC >e.KD)qA 5. 系统的3维视图 w03Ur4>T X+u1p?
!vK0|eV3 6. 其他系统参数 R@ Gll60 ■ 系统由单色平面波照明 8a8D0}' ■ 照明波长266.08nm &K