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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) rNZN}g  
    nE,"3X"   
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 +HNQ2YZ  
    ji">} -  
    1. 描述 0e3 aWn  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 G:f]z;Xdp  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 w(s"r p}  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Ww@R ewo  
    L7 qim.J  
    2. 系统 M7En%sBp  
    ]_j{b)t  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    :)bm+xWFF  
    3. 透镜系统组件编辑 ~GMlnA]6  
    voCQ_~*)9  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !x|Ok'izDL  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 .|cQ0:B[  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ?-J\~AXL  
    包括序列光学表面和光学介质。 /)6<`S(  
    d&t |Y:,8  
    C 2FewsRz  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 r\a9<nZ{  
    ]M>mwnt+  
    ,D>$N3;  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 4R@3jGXb8q  
    可以选择选取光线的方法: p)d'yj  
    — 在x-y-网格 $5|/X&"O)/  
    — 六边形 a+IU<O-J?  
    — 自由选取 :jgwp~l  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    < JA5.6<=  
     H 2\KI(  
    5. 系统的3维视图 =((#kDrN  
    {dhGSM7  
    ]uj6-0q){W  
    6. 其他系统参数 We_/:=  
    系统由单色平面波照明 O0c#-K.f  
    照明波长266.08nm %YA=W=Yd  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: (+(YO\ng6  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 O$LvHv!  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 WTZP}p1  
    光束尺寸探测器置于焦平面 p'uk V(B  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 #GY;.,  
    C]p3,G,oN  
    +hqsIx  
    +QqYf1@F  
    }LN +V~  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 St^s"A  
    Zw` Xg@;xP  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    mn)kd  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    la[xbv   
    $-EbJ  
    &AG,]#  
    b<~\IPY  
    Ir}r98lz  
    DI"mi1ObE  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1nye.i~  
     _p<s!  
    ,GA2K .:#  
    VirtualLab可用于计算点列图。 E?m(&O j  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;|5m;x/a  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ^Bf@ I  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 D4?5 %s  
    pZ}4'GnZI  
    9. 焦平面上的结果 }1f@>'o  
    4#{i  
    ri<E[8\  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4N|^Joi  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 %+ynrg-  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm |<t"O  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 2j+v\pjYC  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    J*vy-[w  
    R_e{H^pY^  
    10. 总结  K!VIY|U  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \cP\I5IW:s  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 : n 4?  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 &9g4/c-?$  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 uW3`gwwlU  
    4W &HUQ?^  
    ! ~u;CMR  
    QQ:2987619807 NguJ[  
     
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