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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) c}lUP(Ss  
    e;!si>N  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 98G>I(Cw%  
    *uNa( yd  
    1. 描述 1Qv5m^>vj  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 <!R~G-D#_T  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _r&`[@m  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 e5C560  
    NEJxd%-  
    2. 系统 | M4_@P  
    d XrLeoK  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Wfz&:J#  
    3. 透镜系统组件编辑 j$siCsF  
    *JUP~/Nr  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 < OCy  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 b v~"_)C  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 cd#@"&r  
    包括序列光学表面和光学介质。 Az{Z=:(0  
    V~%!-7?  
    {|bf`  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 LDx1@a|83  
    D!+d]A[r  
    QVsOB$  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 )u`q41!  
    可以选择选取光线的方法: *{/BPc0*  
    — 在x-y-网格 w/#k.YE  
    — 六边形 d@JjqE[  
    — 自由选取 tY~EB.%  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    >S,yqKp37~  
    t3 2 FNg  
    5. 系统的3维视图 Nyip]VwMJ  
    :'|%~&J  
    -J[*fv@  
    6. 其他系统参数 {}y"JbXMj  
    系统由单色平面波照明 4f:B2x{  
    照明波长266.08nm N^jQ\|A<  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Tq,Kel  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 pqmtN*zV  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 &Rdg07e;>  
    光束尺寸探测器置于焦平面 9(V12gn+lk  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +`>Tuz~  
    j}ywdP`a  
    2x<,R/}  
    3A!`U6C(  
    p"\Z@c  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 6 GqR]KD  
    B>hf|.GI  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    B+:/!_  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    FL*qV"r^n  
    4i|yEf  
    8lk@ev=O&  
    e:D8.h+ &}  
    |WwC@3)  
    sxkWg>  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 0A9llE  
    R~ n[g  
    )_BQ@5NK  
    VirtualLab可用于计算点列图。 4c^WQ>[  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 jrk48z  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 9K,PT.c  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 /enlkZx=8  
    BQTZt'p  
    9. 焦平面上的结果 3Z/_}5%"  
    RC?gozBFJ  
    ZEa31[@B[  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 .Nt;J,U  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 >J(._K  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Wg{ 9X#|  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 j.or:nF  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    5,dKha  
    {02$pO  
    10. 总结 fSc)PqLP  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 o_ng{SL  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ~P!\;S  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 @%iZT4`Ejf  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 lidVe]>  
    !r^fX=X>'  
    TP3KT)  
    QQ:2987619807 -J &y]'  
     
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