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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) ,[gu7z^|  
    ;Gf,I1d}{  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 W~" 'a9H/  
    w_gFN%8  
    1. 描述 WA'4y\N  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 #:q$sKQ_$  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 &\n<pXQ  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 v3zd>fDnRp  
    pt/UY<@yoN  
    2. 系统 ,Z3 (`ftC  
    ZnrsJ1f:  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    %#AM }MWIa  
    3. 透镜系统组件编辑 !UzMuGj  
    "c+j2f'f  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 6 b/UFO  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 v d{`*|x  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 hq[:U?!Tt  
    包括序列光学表面和光学介质。 @%FLT6MY  
    ,Wbr; zb  
    {pWb*~!k  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 0\B31=N(  
    iY~.U`b`  
    ~8oti4  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?'xwr )v  
    可以选择选取光线的方法: yuef84~  
    — 在x-y-网格 S]"U(JmW\  
    — 六边形 MbT;]Bo  
    — 自由选取 B,x ohT  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    G5l?c@o  
    1QA{NAnu&  
    5. 系统的3维视图 r 9~Wh $  
    t^k^e{,q#  
    tyI !y~-z  
    6. 其他系统参数 #7*{ $v  
    系统由单色平面波照明 g +RgDt9  
    照明波长266.08nm ',_E;(  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 6x.ZS'y  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 vC [uEx:  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 -J6G=+ s/  
    光束尺寸探测器置于焦平面 -%G}T}"_  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 H{d;, KfX  
    Hxr)`i46  
    DN X-\  
    HxAN&g *:  
     %"jp':  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 15l{gbCW  
    X]1Q# $b  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ,N1I\f  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ! ^ DQX=1  
    W"meH~[Cp  
    5R%4fzr&g  
    #Fwf]{J  
    H6oU Ne  
    NZQl#ZJH:  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 llE_-M2gH  
    !H^e$BA  
    RxB9c(s^@  
    VirtualLab可用于计算点列图。 e[($rsx  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 J1\H^gyW)  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 svWQk9d  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 9 *+X ^q'  
    j*fs [4  
    9. 焦平面上的结果 ~Qm<w3oy  
    AzZb0wW6p  
    3 q^^Os  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 n85d g  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 x-@}x@n&[  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm wfMtWXd;KB  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 n7p,{KSQ  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    }~O`(mnD}K  
    isR)^fI|  
    10. 总结 h?-*SLT  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0Q{^BgW  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Pw|J([  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。  N3m~nEj  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 LcW:vV|'K  
    xsERnF>`  
    Z1Pdnc7S[  
    QQ:2987619807 c?t,,\o(}  
     
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