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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) o>(I_3J[p  
    BSe{HmDq  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 >_R,^iH"  
    [^oTC;  
    1. 描述 cV=0)'&<`_  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 qnFi./  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 lB7 V4  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 K)e;*D  
    $K_G|Wyi  
    2. 系统 oqLM-=0<}  
    BKd03s=  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    :Nry |  
    3. 透镜系统组件编辑 a]JQZo1$  
    J|$(O$hYy  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 jv8diQ.  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 dA[MjOd3  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 O,$ ?Pj6  
    包括序列光学表面和光学介质。 uT")j,tz  
    75>)1H)Xm  
    -0pAj}_2}  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 %Z:07|57I[  
    vKX6@eg"  
    l"T{!Oq  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 m%?+;V  
    可以选择选取光线的方法: 3Ryae/Nk  
    — 在x-y-网格 ymNL`GYN[  
    — 六边形 `E@TPdu  
    — 自由选取 fga{ b7  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    WTlR>|Zdn  
    Mg7nv\6  
    5. 系统的3维视图 erhxZ|."P  
    -#TF&-  
    Cob<N'.  
    6. 其他系统参数 aPELAU-  
    系统由单色平面波照明 $|0?$U7!  
    照明波长266.08nm  Sj,>O:p  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: n]K`ofjl^  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 tTX@Bb8  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 JPs R7f  
    光束尺寸探测器置于焦平面 $e99[y@  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 JDa=+\_  
    { \r1A  
    @bkZ< Gq  
    GnCO{"n  
    8!{;yz  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 kdr?I9kwW  
    != @U~X|cu  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    =|Q7k+b  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    l.Psh7B2  
    wZAY0@pA  
    NWN Pq"  
    o%~PWA*Qp  
    S yf0dp3  
    H#Aar  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 bD: yu  
    vX9B^W||x  
    5O7 x4bY  
    VirtualLab可用于计算点列图。 s#nd:$p3  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 *E"OQsIl  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 r+#!]wNPe  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 4R;6u[ a]u  
    $<]G#&F   
    9. 焦平面上的结果 |Z"5zL10  
    ~_;x o?@ba  
    yjq~O~  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 N:_U2[V^d  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ~9tPT 0^+  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ulqh}Uv'  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 9rd7l6$R"  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    D09/(%4j  
    v?9  
    10. 总结 a4B#?p  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 KX|7mr90K  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 qjtrU#n  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 8/tvS8I#y  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 5os(.   
    _ @U11|  
    O<:"Irq\qr  
    QQ:2987619807 0\Q/$#3  
     
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