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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) j3W)5ZX  
    73C  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 $:YJ<HvG<  
     B`/c Kfg  
    1. 描述 Q6?}/p  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 dtdz!'q)Y  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 $=? CW(  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 6L~tUe.G  
      !lf:x  
    2. 系统 "o*zZ;>^  
    }/%(7Ff{  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    }wJDHgt]-p  
    3. 透镜系统组件编辑 f8Xe%"<  
    =/k*w#j  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 Ng6(2Wt0e  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 GYD`  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 88dq8T4  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 0ang^v;q  
     {&'u1yR  
    v;9VX   
    4. 光线追迹系统分析器-选项 s ^/<6kwO  
    ^XV=(k;~bX  
    qq&G~y  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 $?l?  
    ■ 可以选择选取光线的方法： FZM9aA  
    — 在x-y-网格 BVx: JiA  
    — 六边形 (]|rxmycA  
    — 自由选取 0Wf,SYx`s  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     T5eXcI0t  
    >qJRpO  
    5. 系统的3维视图 {=AK  |  
    4JTFdbx  
    *{]9e\DF  
    6. 其他系统参数 V}l >p?  
    ■ 系统由单色平面波照明 QY,.|  
    ■ 照明波长266.08nm |(e`V  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： 3f`+ -&|M  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 {YCquoF  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 |M?yCo  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 #L-3eW=f  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Fejs9'cB  
    8F(_Vqu  
    9HOdtpQOV  
    lO-:[@  
    *g^U=t  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 XD5z+/F<"0  
    aDx{Q&  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    @`N)`u85[  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    p7Yej(B  
    a.a5qwG  
    <;d?E%`  
    jXO*_R  
    Q(-:)3g[aL  
    %f.(^<G u  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 jUq^$+N  
    #\G{2\R  
    `J h> 1l  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 klG]PUzd  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ) MFa~/x  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 @Z.s:FV[  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 (m[]A&u  
     Ed3 *fY  
    9. 焦平面上的结果 J9^RP~>bs  
    b$P=rIB  
    )o'&f"/  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 *yqEl O  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 xp%,@] p  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm &N!QKrj3  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 B Mh 949;  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     ~Dw.3P:-  
    >dol  
    10. 总结 F/[vg  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 !Y3w]_x[:  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 Int 6xoz  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 . gK*Jpmx  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 3&kHAXzM  
    :] Jwcp  
     )p7WU?&I  
    QQ：2987619807 ir<HC 'D[  
     
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