示例.0082(1.0) rNZN}g nE,"3X" 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 +HNQ2YZ
ji">} - 1. 描述 0e3aWn ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 G:f]z;Xdp ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 w(s"r p} ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Ww@Rewo
L7 qim.J 2. 系统 M7En%sBp ]_j{b)t 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
:)bm+xWFF 3. 透镜系统组件编辑 ~GMlnA]6
voCQ_~*)9
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !x|Ok'izDL
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 .|cQ0:B[
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ?-J\~AXL
■ 包括序列光学表面和光学介质。 /)6<`S(
d&t|Y:,8 C2FewsRz 4. 光线追迹系统分析器-选项 r\a9<nZ{ ]M>mwnt+ ,D>$N3;
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 4R@3jGXb8q
■ 可以选择选取光线的方法: p)d'yj
— 在x-y-网格 $5|/X&"O)/
— 六边形 a+IU<O-J?
— 自由选取 :jgwp~l
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 < JA5.6<= H 2\KI( 5. 系统的3维视图 =((#k DrN {dhG SM7 ]uj6-0q){W 6. 其他系统参数 We_/:= ■ 系统由单色平面波照明 O0c#-K.f ■ 照明波长266.08nm %YA=W=Yd ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: (+(YO\ng6 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 O$LvHv! — 一个虚拟屏位于焦平面 WTZP}p1 — 光束尺寸探测器置于焦平面 p'ukV(B ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 #GY;., C]p3,G,oN +hqsIx +QqYf1@F }LN +V~ 7. 光线追迹系统分析器的结果 St^ s"A Zw`Xg@;xP 光线经过整个光学系统的三维视图
mn)kd 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
la[xbv $-EbJ &AG,]# b<~\IPY Ir }r98lz DI"mi1ObE 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1nye.i~ _p<s! ,GA2K .:#
■ VirtualLab可用于计算点列图。 E?m(&O
j
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;|5m;x/a
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ^Bf@ I
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 D4?5% s
pZ}4'GnZI 9. 焦平面上的结果 }1f@>'o
4#{i
ri<E[8\
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4N|^Joi
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 %+ynrg-
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm |<t"O
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 2j+v\pjYC
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 J*vy-[w R_e{H^pY^ 10. 总结 K!VIY|U ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \cP\I5IW:s ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 :n4? ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 &9g4/c-?$ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 uW3`gwwlU 4W
&HUQ?^
!~u;CMR QQ:2987619807 NguJ[