示例.0082(1.0) pQ(eF0KG 3b\8907 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ;s.5\YZ"k
~.9o{?pbG 1. 描述 b\j&!_
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 %g@3S!lK ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 'qF3,Rw ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7r[%|:
tDHHQ 2. 系统 }>X\"
|iUfM3 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
3kqV_Pjg 3. 透镜系统组件编辑 bZay/ Zkj
]{2{:`s
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 VIYksv
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 jw(>@SXz
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
UQ.D!q
■ 包括序列光学表面和光学介质。 m9<%v0r
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AFt @f5@0A\0 4. 光线追迹系统分析器-选项 DkF2R @ KWhM { .3
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,rB9esxic
■ 可以选择选取光线的方法: jo;uR l
— 在x-y-网格 %][$y7
— 六边形 *&dW\fx
— 自由选取 =Kt9,d08x
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 5hH6G <K#'3&*$s 5. 系统的3维视图 V)1:LLRW ,8=`*
Q),3&4pM 6. 其他系统参数 cR=94i=t ■ 系统由单色平面波照明
4 %!{?[$ ■ 照明波长266.08nm |j~EV~AJ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Y7kb1UG — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 !&a;P,_Fb — 一个虚拟屏位于焦平面 wsJ%*
eYf — 光束尺寸探测器置于焦平面 N;x<| %peL ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ^?s~Fk_V TXJY2J*24 m/<F 5R u
JQaHL! &vFqe,Z 7. 光线追迹系统分析器的结果 .A*VLF*m M<Wn]}7! 光线经过整个光学系统的三维视图
=CKuiO.j 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
iF [?uF ."IJmv `*" H/QG b\?7?g Gin_E&%g b'7z DZI] 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 _)zmIB(}m Q&Z4r9+Z $"sq4@N
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ~MhgAC
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 h6\3vfj^f
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 .0
s[{x
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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$(@o$%d 9. 焦平面上的结果 \K?(
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 r=~WMDCz@
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 la\zaKC;>
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm [lNqT1%]
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 K\IYx|Hm a
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ~!]&>n;=G _{LN{iqDv 10. 总结 %@}o'=[ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 KE/-VjZu ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ~A`&/U ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 jl.okWuiY ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 .D8~)ZWN bp]^EVx
0?lp/|K QQ:2987619807 `fBG~NDw