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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) &R'w-0k_  
    nxyjL)!)0  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 3'[Rvy{  
    *U;4t/(  
    1. 描述 a IpPL8a  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 dNUR)X#e  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Bn~\HW\Lh  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .Na&I)udX.  
    Q(IJD4  
    2. 系统 ~*7O(8  
    =de<WoKnu2  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    8ji^d1G,  
    3. 透镜系统组件编辑 t{R5 EU  
    a{]g+tGH  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 (]3ERPn#y  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 _/,SZ-C#L4  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 QFW0KD`5  
    包括序列光学表面和光学介质。 L289'Gzg  
    01LZE,.  
    RDs,sj/Y9?  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 .vv5 t  
    ZjU=~)O}H  
    kqVg2#<@M  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ^oQekga\l  
    可以选择选取光线的方法: bKk CW  
    — 在x-y-网格 T&1-eq>l  
    — 六边形 xClRO,-  
    — 自由选取 F2IC$:e M  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ;W7hc!  
    &sm @  
    5. 系统的3维视图 Mn]}s:v  
    ?. zu2  
    XVQL.A7  
    6. 其他系统参数 m_Mwg  
    系统由单色平面波照明 {UB%(E[Mr  
    照明波长266.08nm a(8>n Z,V  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: W1xf2=z`)T  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 CE~r4  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Bu7A{DRf  
    光束尺寸探测器置于焦平面 p QluGIX0V  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 U r^YG4(  
    MWBXs7 5I  
    "@.Z#d|Y  
    `$J'UXtGc  
    U? 8i'5)  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 \). Nag+  
    eh$G.-2N  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    hIR@^\?  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    kr^0% A  
    ^~^mR#<P$  
    A&N$tH  
    KzV.+f  
    YMi/uy  
    7g-Dfg.w  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ytEQ`  
    sNL+F  
    xXOR IlD  
    VirtualLab可用于计算点列图。 21U&Ww  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 eaEbH2J  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 FIH@2zA  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 $nj\\,(g  
    Gc wt7~  
    9. 焦平面上的结果 v' C@jsx M  
    5`"iq "5Cf  
    _0K.Fk*(!  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 WhH!U0  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 "c6<zP  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 6_WmCtvF  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 mKM,kY  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    J2m"1gq,  
    d [r-k 2  
    10. 总结 E-^2"j >o  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ]a M-p@  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 q]K'p,'  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 975 _d_U  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 B;V5x/  
    ^ESUMXb  
     7SaiS_{:  
    QQ:2987619807 )T9~8p.  
     
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