示例.0082(1.0) &R'w-0k_ nxyjL)!)0 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 3'[Rvy{
*U;4t/( 1. 描述 a
IpPL8a ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 dNUR)X#e ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Bn~\HW\Lh ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .Na&I)udX.
Q(IJD4 2. 系统 ~*7O(8 =de<WoKnu2 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
8ji^d1G, 3. 透镜系统组件编辑 t{R5
E U
a{]g+tGH
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 (]3ERPn#y
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 _/,SZ-C#L4
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 QFW0KD`5
■ 包括序列光学表面和光学介质。 L289'Gzg
01LZE,. RDs,sj/Y9? 4. 光线追迹系统分析器-选项 .vv5t ZjU=~)O}H kqVg2#<@M
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ^oQekga\l
■ 可以选择选取光线的方法:
bKk CW
— 在x-y-网格 T&1-eq>l
— 六边形 xClRO,-
— 自由选取 F2IC$:e
M
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;W7 hc! &sm
@ 5. 系统的3维视图 Mn]}s:v
?. zu2
XVQL.A7 6. 其他系统参数 m_Mwg ■ 系统由单色平面波照明 {UB%(E[Mr ■ 照明波长266.08nm a(8>n
Z,V ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: W1xf2=z`)T — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 CE~r4 — 一个虚拟屏位于焦平面 Bu7A{DRf — 光束尺寸探测器置于焦平面 p QluGIX0V ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Ur^YG4(
MWBXs75I "@.Z#d|Y `$J'UXtGc U?8i'5) 7. 光线追迹系统分析器的结果 \).Nag + eh$G.-2N 光线经过整个光学系统的三维视图
hIR@^\? 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
kr^0% A ^~^mR#<P$ A&N$tH KzV.+f YMi/uy 7g-Dfg.w 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ytEQ` sNL+F xXO RIlD
■ VirtualLab可用于计算点列图。 21U&Ww
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 eaEbH2J
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 FIH@2zA
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
$nj\\,(g
Gc wt7~ 9. 焦平面上的结果 v' C@jsxM
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"5Cf
_0K.Fk*(!
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 WhH!U0
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 "c6<zP
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 6_WmCtvF
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 mKM,kY
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 J2m"1gq, d [r-k 2 10. 总结 E-^2"j>o ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ]a M-p@ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 q]K'p,' ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 975
_d_U ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 B;V5x/ ^ESUMXb
7SaiS_{: QQ:2987619807 )T9~8p.