示例.0082(1.0) -UaUFJa8K& !|`G<WD 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 P F!S
2=X 2M 1. 描述 G l+[|?N ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 =whZ?,u1 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 gnmKh>0@6o ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 !oeu
V,bfD3S3 2. 系统 |p J)w ;crQ7}k 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
_[-+%RP 3. 透镜系统组件编辑 2wE?O^J
((A]FOIbO
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 5uMh#dm^
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 W O W4c&
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 H8~<;6W
■ 包括序列光学表面和光学介质。 43pQFDWa
Uw^`_\si C.V")D= 4. 光线追迹系统分析器-选项 7QP%Pny% R6HMi#eF cZKK\hf<
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 `e]L.P_e?
■ 可以选择选取光线的方法: h)BRSs?v_D
— 在x-y-网格 *@fR36
— 六边形 ?)x>GB(9ZN
— 自由选取 6>v`6
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /W'GX n 6Y6DkFdvrZ 5. 系统的3维视图 @cdd~9w 78>)<$+d
c%v[p8
% 6. 其他系统参数 /*g3TbUs ■ 系统由单色平面波照明 IlsXj`!e ■ 照明波长266.08nm ZzLmsTtzIu ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ep .AW'+ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ,wE]:|`qJ — 一个虚拟屏位于焦平面 a'f"Zdh%w — 光束尺寸探测器置于焦平面 Z`nHpmNM ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 %)T>Wn%b]v <jF]SN |;_NCy8i3X `E>HpRcxD IW3ZHmrpA 7. 光线追迹系统分析器的结果 OiNzN.}d Xu`c_ 光线经过整个光学系统的三维视图
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` 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
|WH'aGG 4>nY't;0 :S}!i?n *"` dO9Yf_ $,q~ q^0 lxy_O0n 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 G\G TS}u[ i`/_^Fndyu /
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 ;hGC.}X
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 PE3FuJGz
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 7l> |G,[c
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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}]_/:KUt 9. 焦平面上的结果 Wr Ht
XJy~uks,
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 =gS?atbX
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Ig75bZz
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm $&/JY
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 3ny>5A!;2
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 p3ox%4 r(xh5{^x 10. 总结 5vs~8|aRo ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 [2?|BUtD[ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 h\\fb[`` ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Z"PPXv-<jY ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ehk5U,d kcKcIn{
uc!j`G*] QQ:2987619807 k8H@0p