示例.0082(1.0) n6nwda >}/"gx 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 s^9N7'
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1. 描述 UgJ^NF2w ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6#5@d^a ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,9"</\]` ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ^\mN<z(
k 9Kv 2. 系统 6SsZK)X SJ7>*Sa(u$ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
h{ce+~X 3. 透镜系统组件编辑 ^LT9t2
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 wR/i+,K
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 mcDW&jwQ
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Z#;ieI\
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Dl/UZ@8pl
V|HSIJ#J
v-[|7Pg}Z 4. 光线追迹系统分析器-选项 [;5HI'px EGGy0 ly %_SE$>v^
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 /IV:JVT
■ 可以选择选取光线的方法: ,-DE;l^Q=
— 在x-y-网格 L +. K}w
— 六边形 nhXa&Nro
— 自由选取 o(~JZik
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 rT}d<cSf a/^YgrC\T 5. 系统的3维视图 eB$v'9S8/ on&N=TN
TJsT .DWW~ 6. 其他系统参数 F<-Pbtw ■ 系统由单色平面波照明 'Dk(jpYB ■ 照明波长266.08nm gYzKUX@ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ocgbBE — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 9y]$c1 — 一个虚拟屏位于焦平面 //Tr=!TQu — 光束尺寸探测器置于焦平面 xI:;%5{LN ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 EUna_ 4=
9CBB, aeBth{ V`fh,(: 4?yc/F=kI 7. 光线追迹系统分析器的结果 2,QkktJLo s^KxAw_IV 光线经过整个光学系统的三维视图
B4|%E$1+ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
^ACp_RM BTd'bD~EA V">Uh@[J_ Gh{k ~/B GF/p|I D 4a2&kIn 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 u5CT7_#) D *LZ_ /
V{w<
■ VirtualLab可用于计算点列图。 H8-,gV
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 BxZop.zwE(
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 [?IERE!xQ
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
1@nR.v"$
i*U\~CZjT 9. 焦平面上的结果 \GvVs
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Bgs~1E @8V
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 !w)Mm P Xb
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 )E[5lD61
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm aF;TsB
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 {YGz=5 ^
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 -I_lCZ{Nbi xd .I5 10. 总结 Q^p@ 1I ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 I8Zp#'|U ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 nL:vRJr-$ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 xY~
DMcO? ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 @`_j't, j{;3+LCo*
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