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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) u?SwGXi~8  
    ,|\\C6s  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 |*zgX]-+;  
     O_2o/  
    1. 描述 v ))`U,Gm  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 k^K76mB  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 [>p!*%m  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ;2g.X(Ra  
     pd:YR;  
    2. 系统 Nes|4Z<  
    ynMYf  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    9 $X" D  
    3. 透镜系统组件编辑 y7 #+VF`xf  
    RfvvX$  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 'Bt!X^  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 4j'rbbs/  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 SFuSM/Pf  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 {GCp5  
     I'{Ctc  
    Oz(=%oS  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 &_;=]t s  
    hUvA;E(qD  
    &DYC3*)Jih  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 =<9Mv+Ry8  
    ■ 可以选择选取光线的方法： 7vPG b:y  
    — 在x-y-网格 NF |[j=?  
    — 六边形 %|JL=E}%|  
    — 自由选取 7],y(:[=v  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     a $'U?%  
    A 9l d9R  
    5. 系统的3维视图 _hJ+8B^`  
    {GT5   
    _[&.`jTFn  
    6. 其他系统参数 M"K$.m@t  
    ■ 系统由单色平面波照明 %UooZO  
    ■ 照明波长266.08nm A\7sP =  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： @Bkg<  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @0H0!9'  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 sL TQm*jL  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 #>~A-k)  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +Gy9K  
    <Mo{o2F=  
    k:j?8o3  
    "BpDlTYM  
    5HbJE'  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 DrBkR` a?  
    oGeV!hD  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    @*6_Rp"@  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    dKDCJ t]t  
    !]mo.zDSW5  
    4C:dkaDq]  
    /s(PFN8#Y  
    5?(dI9A"K  
    i[.7 8K-s  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 q:jv9eL.O  
    !](Mt?e  
    zh?B-"O=5  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 qnd] UUA^  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 "<&o ;x<  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 r}|)oG,=  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 NX;{L#lQ  
     -s0J8b  
    9. 焦平面上的结果 oz3!%'  
    MD4m h2  
    ? )IH#kL  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 3|3ad'  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 hOIg 7=v  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm =q"0GUei3  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 Fo ,8"m  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     <0l:B ;3  
    wt_ae|hv  
    10. 总结 4 #lLC-k  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 JiA1yt  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 1T,Bd!g  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 @JP6F[d  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 >E,/|K*  
    bgInIe  
     > -fXn  
    QQ：2987619807 "4*QA0As  
     
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