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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) lDc;__}Ws  
    p!W[X%`)  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 9dKul,c  
    8_we: 9A  
    1. 描述 R+=a`0_S  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 \4bWWy  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 t\R; < x  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 g9mG`f  
    >3D7tK(  
    2. 系统 t})$lM  
    N$alUx*  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    5EeDHsvV9  
    3. 透镜系统组件编辑 -{g~TUz  
    n:#TOU1ix<  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 jqcz\n d  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 P-Su5F  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 E{Vo'!LY  
    包括序列光学表面和光学介质。 B)=~8wsI:Z  
    J|QiH<  
    <94G  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 {aj/HFLNY  
    z&+ zl6  
    =@r--E  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 @Hjea1@t  
    可以选择选取光线的方法: B BL485`  
    — 在x-y-网格 3 <SqoJSp  
    — 六边形 H{`{)mS  
    — 自由选取 RA/EpD:H  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    5cfA;(H  
    O!R"v'  
    5. 系统的3维视图 ')#,X^   
    zg}YGu|J  
    F=wRkU  
    6. 其他系统参数  Ewo~9 4{  
    系统由单色平面波照明 cCdX0@hY  
    照明波长266.08nm )pgrl  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: \,xFg w4  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 WS0JS'  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 \M+L3*W  
    光束尺寸探测器置于焦平面 `~F5 wh~  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Tj`5L6N;8  
    Je7RrCz  
    G*n2Ii  
    UH3t(o7O  
    Dgi~rr1`'s  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 wD9a#AgEd  
    \C|cp|A*&  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ,E*R,'w   
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    k`YYZt]@  
    %FA@)?~  
    6Z! y  
    T0e<Slo~C  
    z;3NiY  
    O.+9,4A(  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Y94MI1O5$  
    w G!u+  
    _6LoVS  
    VirtualLab可用于计算点列图。 iS: #o>  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 @u9Mks|{  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 +"!aM?o  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 >S#ul?  
    Vz:_mKA  
    9. 焦平面上的结果 1mW%  
     .5Z_E O  
    hC<14  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 q-AN[_@  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 7TWNB{ K_  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm <Oz66bTze  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 2@i;_3sv  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    +x1/-J8_sg  
    q)I|2~Q c^  
    10. 总结 eBcJm  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 JLm @Ag  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ~"dhu]^  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 %$mjJw<|&  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ^ eh /HnJs  
    K{DAOQ.z  
    w6zB Vi  
    QQ:2987619807 CZ=0mWfF  
     
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