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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) pQ(eF0KG  
    3b\8907  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ;s. 5\YZ"k  
    ~.9o{?pbG  
    1. 描述 b\j&!_   
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 %g@3S!lK  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 'qF3,Rw  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7r[ %| :  
    tDHHQ  
    2. 系统 }>X\"  
     |iUfM3  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    3kqV_Pjg  
    3. 透镜系统组件编辑 bZay/ Zkj  
    ]{2{:`s  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 VIYksv   
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 jw(> @SXz  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 UQ.D!q  
    包括序列光学表面和光学介质。 m9<%v0r  
    }8F$& AFt  
    @f5@0A\0  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 DkF2R @  
    KWh M  
    {.3  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,rB9esxic  
    可以选择选取光线的方法: jo;uRl  
    — 在x-y-网格 %][$y 7  
    — 六边形 *&dW\fx  
    — 自由选取 =Kt9,d08x  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    5hH6G  
    <K#'3&*$s  
    5. 系统的3维视图 V)1:LLRW  
    ,8=`*  
    Q),3&4pM  
    6. 其他系统参数 cR=94i=t  
    系统由单色平面波照明 4%!{?[$  
    照明波长266.08nm |j~EV~A J  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Y7kb1UG  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 !&a;P,_Fb  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 wsJ%* eYf  
    光束尺寸探测器置于焦平面 N;x<| %peL  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ^?s~Fk_V  
    TXJY2J*24  
    m/<F 5R  
    u JQaHL!  
    &vFqe,Z  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 .A*VLF*m  
     M<Wn]}7!  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    =CKuiO.j  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    iF [?uF  
    ."IJmv  
    `*" H/QG  
    b\?7?g  
    Gin_E&%g  
    b'7z DZI]  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 _)zmIB(}m  
    Q&Z4r9+Z  
    $"sq4@N  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ~MhgAC  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 h6\3vfj^f  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 . 0 s[{x  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 vv2vW=\  
    $(@o$%d  
    9. 焦平面上的结果 \K?(  
    Qe>i{:N  
    xb9Pc.A[  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 r=~WMDCz@  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 la\zaKC;>  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm [lNqT1%]  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 K\IYx|Hm a  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ~!]&>n;=G  
    _{LN{iqDv  
    10. 总结 %@}o'=[  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 KE/-VjZu  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ~A`&/U  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 jl.okWuiY  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 .D8~)ZWN  
    bp]^EVx  
    0?lp/|K  
    QQ:2987619807 `fBG~NDw  
     
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