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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) dfrq8n]  
    f;b(W  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 z(]*'0)P  
    XI0O^[/n{  
    1. 描述 "au"\}   
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Sb`>IlT\#  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 '[HFIJ0K!  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 o#T,vu0s  
    qmK!d<4  
    2. 系统 -0kwS4Hx2  
    kgQEg)A]!x  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    +-oXW>`&  
    3. 透镜系统组件编辑 b+C>p2%  
    D( _a Xy  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 )rXP2Z  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 $DMeUA\av  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Y,8M[UIK  
    包括序列光学表面和光学介质。 p5bH- km6  
    s<5t}{x  
    :4WwCpgz,  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 W w8[d  
    qBpY3]/  
    mr/^lnO  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,wq.C6;&  
    可以选择选取光线的方法: p#?1l/f"  
    — 在x-y-网格 9(iJ=ao (  
    — 六边形 7' 6m;b~F  
    — 自由选取 D~1nh%x_  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Q!"Li  
    ~MXPiZG?  
    5. 系统的3维视图 $<y b~z7J  
    n,0}K+}  
    k_^d7yH  
    6. 其他系统参数 2x{3'^+l  
    系统由单色平面波照明 $EtZ5?qS  
    照明波长266.08nm 2L,e\]2Z  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: YsTfv1~z#  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 d8x$NW-s  
    — 一个虚拟屏位于焦平面  b'ew Od=  
    光束尺寸探测器置于焦平面 o30PI  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 EatpORq  
    N7jAPI@a\i  
    Bg#NB  
    } HvVL}7  
    ]=pEs6%O3  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 9@S icqx   
    # - kyZ  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ;hKn$' '  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    9(H8MUF0{  
    x &\~4,TN  
    -m__I U  
    ?! kup  
    \"f}Fx  
    5[@4($q8  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 A5nu`e9&  
    CjO/q)vV  
    !867DX3*  
    VirtualLab可用于计算点列图。 Ak1f*HGl|  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 xXyzzr1[  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 #}A!Bk  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 on(W^ocnD  
    W58 \V  
    9. 焦平面上的结果 K&S~IFy  
    0 ">#h  
    $x 2t0@  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 l\(t~Q  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 [,fMh $t  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm [y:6vC   
    此外,背景颜色也可以预先设置。 1W-!f%  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    .Oim7JQ8  
    FS']3uJ/  
    10. 总结 ?C4a,%  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 "cti(0F-d  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 'r'uR5jR  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 *Fq Nzly  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ,;{mH]"s  
    >u6kT\|^C  
    1*=[% d7  
    QQ:2987619807 (apAUIE  
     
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