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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) -UaUFJa8K&  
    !|`G<WD  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 P  F!S  
    2= X2M  
    1. 描述 G l+[ |?N  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 =whZ?,u1   
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 gnmKh>0@6o  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 !oeu  
    V,bfD3S3  
    2. 系统 |pJ)w  
    ;crQ7}k  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    _[-+%RP  
    3. 透镜系统组件编辑 2wE?O^J  
    ((A]FOIbO  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 5uMh#dm^  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 WO W4c&  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 H8~<;6W  
    包括序列光学表面和光学介质。 43pQFDWa  
    Uw^`_\si  
    C.V")D=  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 7QP%Pny%  
    R6HMi#eF  
    cZKK\hf<  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 `e]L.P_e?  
    可以选择选取光线的方法: h)BRSs?v_D  
    — 在x-y-网格 *@fR36  
    — 六边形 ?)x>GB(9ZN  
    — 自由选取 6> v`6  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    /W'GX n  
    6Y6DkFdvrZ  
    5. 系统的3维视图 @cdd~9w  
    78>)<$+d  
    c%v[p8 %  
    6. 其他系统参数 /*g3TbUs  
    系统由单色平面波照明 IlsXj`!e  
    照明波长266.08nm ZzLmsTtzIu  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ep .AW'+  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ,wE]:|`qJ  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 a'f"Zdh%w  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Z`nHpmNM  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 %)T>Wn%b]v  
    <jF]SN  
    |;_NCy8i3X  
    `E>HpRcxD  
    IW3ZHmrpA  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 OiNzN.}d  
    Xu`c_  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    $j:$ `  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    |WH'aGG  
    4>nY't;0  
    :S}!i?n  
    *"` dO9Yf_  
    $,q~q^0  
    lxy_O0n  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 G\G TS}u[  
    i`/_^Fndyu  
    / pzdX%7  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ;hGC.}X  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 PE3FuJGz  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 7l> |G,[c  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 jZeY^T)f"  
    }]_/:KUt  
    9. 焦平面上的结果 Wr Ht  
    XJy~uks,  
    r2}u\U4>  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 =gS?atbX  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Ig75bZz   
    焦平面上的光斑尺寸为183mm $&/JY  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 3ny>5A!;2  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    p3ox%4  
    r(xh5{^x  
    10. 总结 5vs~8|aRo  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 [2?|BUtD[  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 h\\fb[``  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Z"PPXv-<jY  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ehk5U,d  
    kcKcIn{  
    uc!j`G*]  
    QQ:2987619807 k8H@0p  
     
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