示例.0082(1.0) efu'PfZ`& C[xY 0<^B 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 C>:'@o
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7A mnxFC 1. 描述 #7}1W[y9}l ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 #{BHH;J+ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 LnZC)cL
P/ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 %2jRJ
%P2l@}?a 2. 系统 X5gI'u :_f5(N*{5o 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
<_N<L\ 3. 透镜系统组件编辑 -)p
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E kvTl-
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Adma~]T9
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ?8GggJC
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 V6ICR{y<3
■ 包括序列光学表面和光学介质。 PV\aQO.mo
;qN;oSK QU;bDNq,c 4. 光线追迹系统分析器-选项 [ <,i}z ;#Y'SK Ap<kK0#h
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ~stJO]) a
■ 可以选择选取光线的方法: QK`5KB(k'
— 在x-y-网格 Sr#\5UDS
— 六边形 nign"r
— 自由选取 5mYX#//:
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 DQ*T2*L \~!!h.xR 5. 系统的3维视图 NtfzAz/ (& UQ^
MOia]5 6. 其他系统参数 a7@':Rb n ■ 系统由单色平面波照明 Oe~x,=X) ■ 照明波长266.08nm y<5RV>"Vg ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 3HEm-pok — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 /
:z<+SCh — 一个虚拟屏位于焦平面 `]7==c #Y — 光束尺寸探测器置于焦平面 {KGEv% ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 |Fi{]9(G2 bpx
^ >2t.7UhDI e1OGGF%En 77b^d9! ~ 7. 光线追迹系统分析器的结果 zo|
' H-&T) 光线经过整个光学系统的三维视图
1p5n}| 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
qeUT]*
w K'_qi8Z ?yc{@| XU y[l VtN1 [} 'CMbqLk# 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 , UsY0YC xWnOOE$i 4OaU1Y[
■ VirtualLab可用于计算点列图。 hGy[L3{
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 T!7B0_
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 lsaA
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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"qrde4O 9. 焦平面上的结果 ve]hE}o/}
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awv$ }EFo
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 sg8[TFX@Z
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 p9>1a j2a
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm er8T:.Py
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 V1&qgAy~
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ?o6X_UxW! $<QrV,T 10. 总结 u*T(n s
l ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ~].?8C.>* ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Fq$r>tmV ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 J%u,qF}h ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 "ze-Mb @-ml=S7;Sz
)dd1B>ej] QQ:2987619807 a$j ~YUG_