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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) n6nwda  
    >}/"g x  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 s^9N7'  
    ~4*9w3t   
    1. 描述 UgJ^NF2w  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6#5@d^a  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,9"</\]`  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ^\mN<z(  
    k 9Kv  
    2. 系统 6SsZK)X  
    SJ7>*Sa(u$  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    h{ce+~X  
    3. 透镜系统组件编辑 ^LT9t2  
    j>R7OGg'  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 wR/i+,K  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 mcDW&jwQ  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Z#;ieI\  
    包括序列光学表面和光学介质。 Dl/UZ@8pl  
    V|HSIJ#J  
    v-[|7Pg}Z  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 [;5HI'px  
    EGGy0ly  
    %_SE$>v^  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 /IV:JVT  
    可以选择选取光线的方法: ,-DE;l^Q=  
    — 在x-y-网格 L +.K}w  
    — 六边形 nhXa&Nro  
    — 自由选取 o(~JZi k  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    rT}d<c Sf  
    a/^Yg rC\T  
    5. 系统的3维视图 eB$v'9S8/  
    on&N=TN  
    TJsT .DWW~  
    6. 其他系统参数 F<-Pbtw  
    系统由单色平面波照明 'Dk(jpYB  
    照明波长266.08nm gYzKUX@  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ocgbBE  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 9y]$c1  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 //Tr=!TQu  
    光束尺寸探测器置于焦平面 xI:;%5{LN  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 EUna_ 4=  
    9CBB,  
    aeBth{  
    V`fh,(:  
    4?yc/F=kI  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 2,QkktJLo  
    s^KxAw_IV  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    B4|% E$1+  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ^ACp_RM  
    BTd'bD~EA  
    V">Uh@[J_  
    Gh{k~/B  
    GF/p|I D  
    4a2&kIn  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 u5CT7_#)  
    D *LZ_  
    / V {w<  
    VirtualLab可用于计算点列图。 H8-,gV  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 BxZop.zwE(  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 [?IERE!xQ  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 1@nR.v"$  
    i*U\~CZjT  
    9. 焦平面上的结果 \GvVs  
    zw5~|<  
    Bgs~1E@8V  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 !w)Mm P Xb  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 )E[5lD61  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm aF;&#TsB  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 {YGz=5^  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    -I_lCZ{Nbi  
    xd .I5  
    10. 总结 Q^p@ 1I  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 I8Zp#'|U  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 nL:vRJr-$  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 xY~ DMcO?  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 @`_j't,  
    j{;3+LCo*  
    Iiy:<c  
    QQ:2987619807 Uv+pdRXn  
     
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