示例.0082(1.0) dfrq8n] f;b(W 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 z(]*'0)P
XI0O^[/n{ 1. 描述 "au"\} ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Sb`>IlT\# ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 '[HFIJ0K! ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 o#T,vu0s
qmK!d<4 2. 系统 -0kwS4Hx2 kgQEg)A]!x 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
+-oXW>`& 3. 透镜系统组件编辑 b+C>p2 %
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 )rXP2Z
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 $DMeUA\av
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Y,8M[UIK
■ 包括序列光学表面和光学介质。 p5bH-km6
s<5t}{x :4WwCpgz, 4. 光线追迹系统分析器-选项 W w8[d qBpY3]/ mr/^lnO
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,wq.C6;&
■ 可以选择选取光线的方法: p#?1l/f"
— 在x-y-网格 9(iJ=ao (
— 六边形 7' 6m;b~F
— 自由选取 D~1nh%x_
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Q!"Li ~MXPiZG? 5. 系统的3维视图 $<yb~z7J n,0}K+}
k_^d7yH 6. 其他系统参数 2x{3' ^+l ■ 系统由单色平面波照明 $EtZ5?qS ■ 照明波长266.08nm 2L,e\]2Z ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: YsTfv1~z# — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 d8x$NW-s — 一个虚拟屏位于焦平面 b'ew
Od= — 光束尺寸探测器置于焦平面 o30PI ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 EatpORq N7jAPI@a\i Bg#NB }
HvVL}7 ]=pEs6%O3 7. 光线追迹系统分析器的结果 9@S
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#-kyZ 光线经过整个光学系统的三维视图
;hKn$' ' 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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kup \"f}Fx 5[ @4($q8 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 A5nu`e9& CjO/q)vV !867DX3*
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Ak1f*HGl|
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 xXyzzr1[
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 #}A!Bk
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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W58\V 9. 焦平面上的结果 K&S~IFy
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 l\(t~Q
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 [,fMh $t
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm [y:6vC
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 1W-!f%
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 .Oim7JQ8 FS']3uJ/ 10. 总结 ?C4a,% ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 "cti(0F-d ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 'r'uR5jR ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 *FqNzly ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ,;{mH]"s >u6kT\|^C
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