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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) efu'PfZ`&  
    C[xY 0<^B  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 C>:'@o Z  
    7A mnxFC  
    1. 描述 #7}1W[y9}l  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 #{BHH;J+  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 LnZC)cL P/  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 %2jRJ  
    %P2l@}?a  
    2. 系统 X5gI'u  
    :_f5(N*{5o  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    <_N<L\  
    3. 透镜系统组件编辑 -)p S\$GC  
    EkvTl-  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Adma~]T9  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ?8GggJC  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 V6ICR{y<3  
    包括序列光学表面和光学介质。 PV\aQO.mo  
    ;qN;oSK  
    QU;bDNq,c  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 [<,i}z  
    ;#Y'SK  
    Ap<kK0#h  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ~stJO])a  
    可以选择选取光线的方法: QK`5KB(k'  
    — 在x-y-网格 Sr#\5UDS  
    — 六边形 ni gn" r  
    — 自由选取 5mYX#//:  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    DQ*T2*L  
    \~!!h.xR  
    5. 系统的3维视图 NtfzAz/  
    (& UQ^  
    MOia] 5  
    6. 其他系统参数 a7@':Rb n  
    系统由单色平面波照明 Oe~x,=X)  
    照明波长266.08nm y<5RV>"Vg  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 3HEm-pok  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 / :z<+SCh  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 `]7==c #Y  
    光束尺寸探测器置于焦平面 {KGEv%  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 |Fi{]9(G2  
    bpx ^  
    >2t.7UhDI  
    e1OGGF%E n  
    77b^d9! ~  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 zo| '  
    H-&T)  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    1p5n}|  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    qeUT]* w  
    K'_qi8Z  
    ?yc{@|  
    XU y[l  
    VtN1 [}  
    'CMbq Lk#  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 , UsY0YC  
    xWnOOE$i  
    4OaU1Y[  
    VirtualLab可用于计算点列图。 hGy[L3 {  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 T!7B0_  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 lsaA    
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 vR3\E"Zi  
    "qrde4O  
    9. 焦平面上的结果 ve]hE}o/}  
    Xwo%DZKN  
    awv$ }EFo  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 sg8[TFX@Z  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 p9>1a j2a  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm er8T:.Py  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 V1&qgAy~  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ?o6X_UxW!  
    $<QrV,T  
    10. 总结 u*T( n s l  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ~].?8C.>*  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Fq$r>tmV  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 J%u,qF}h  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 "ze-Mb  
    @-ml=S7;Sz  
    )dd1B>ej]  
    QQ:2987619807 a$j ~YUG_  
     
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