示例.0082(1.0) @2Z|\ojJ /X}1%p 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 +ai3
}QE.|.fA1 1. 描述 uLdHE5vr ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 (hc!!:N~q ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Jz8P':6[ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Kw fd
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!r/i<~'Bx 2. 系统 [@K'}\U^+ Y>$5j}K 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
z~H1f$} 3. 透镜系统组件编辑 x?i
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{z o GwB
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 `_J&*Kk5
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 gwaSgV$z
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 1j2U,_-
■ 包括序列光学表面和光学介质。 @]Q4K%1^"
S^s-md> !}=eXDn;A_ 4. 光线追迹系统分析器-选项 Au2^ T1F dsIbr"m 8:Hh;nl
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 F}Zg3#
■ 可以选择选取光线的方法: ;MfqI/B{
— 在x-y-网格 }s2CND
— 六边形 ^B.Z3Y
— 自由选取 e1[ReZW
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 N XB8u6 A1zRzg4 I 5. 系统的3维视图 TOiLv.Dor 6*,55,y
?y|&Mz'XJ( 6. 其他系统参数 TQ\#Z~CbK{ ■ 系统由单色平面波照明 p5]W2i., ■ 照明波长266.08nm V lZ+x)E ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 60{G
4b) — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 F2YBkwI
— 一个虚拟屏位于焦平面 W=Syo&;F8 — 光束尺寸探测器置于焦平面 8wWp+Hk ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 bWL!= J>X@g;
R &1>\t .H|Z3d!Jj 9DBX.| 7. 光线追迹系统分析器的结果 >s%Db<(P= :h,}yBJ1L 光线经过整个光学系统的三维视图
U<Oc&S{]* 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
zd_N' :6 tDETRjTA 2dz)rjdO, g_4%M0&AX k3&68+ t|>P9lX@ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 &. _"rhz /yU#UZ4; 9#[,{2pJr
■ VirtualLab可用于计算点列图。 5CnNp?.t^
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 S^R dj ]
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 WG,Il/
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
xkf2;
HnPy";{ 9. 焦平面上的结果 AXcmN
.LAB8bg
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 54{E&QvL8o
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 [vI ;A!
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm y ;mk]
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 RA a1^Qb
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 +M.BMS2A<l L%[>z'Zp 10. 总结 U:x;4 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Y4YZM ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 L0VZ>!*o ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 S/Ic= ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 E$_zBD% yIiVhI?X
(Jb#'(~a QQ:2987619807 aF/DFaiYv