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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) [u M-0t  
    AW,OH SXh6  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 FJNF%a)x2I  
     ~]'pY  
    1. 描述 iWLa>z|,  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ^V3v{>D>  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 -x`G2i  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 '9?;"=6(  
     O7t(,uox3y  
    2. 系统 BVw Wj-,  
    dQb.BOI)h  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    wGsRS[  
    3. 透镜系统组件编辑 DJ@|QQ  
    'b/ <x|  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 pS[KBQ"F  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 Y+~g\z-]c  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 #~L h#  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 J*fBZ.NO  
     }(XdB:C8  
    PX(p X>  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ~8T(>!hE1h  
    -e u]:4  
    J#2!ZQE 3  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 w}R~C   
    ■ 可以选择选取光线的方法： ww k PF  
    — 在x-y-网格 B>y9fI  
    — 六边形 Cx_Q: 6T  
    — 自由选取 a4i:|   
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     !T,AdNa8  
    nqVZqX@oE  
    5. 系统的3维视图 M$Zo.Bl$(  
    {yA$V0`N{  
    4Kwh?8.  
    6. 其他系统参数 f:B>zp;N  
    ■ 系统由单色平面波照明  '1^B +m  
    ■ 照明波长266.08nm {<>K]P~wD  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： Va VN  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 RP5+d  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 CSPKP#,B0[  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 <"D=6jqZ  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Zk8|K'oHx  
    :!a 2]-D}  
    2lKV#9"  
    {O<l[|Ip  
    ENF"c$R  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 "1`Oh<={b  
    >gwz,{  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    vsWHk7 9  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    73#x|lY  
    %ek'~  
    cRd0S*QN2  
    [%Bf< J<  
     Uo12gIX  
    h7*W *Bd  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 5]I|DHmu  
    RB* J=  
    `@[c8j7  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 h_1T,f (  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 'I;!pUfVp  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 /&F,V+x  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 3p2P= T  
     yme^b ;a  
    9. 焦平面上的结果 lv vs%@b>  
    53-v|'9'  
    ac kqH+'  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 X|0R= n]  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 \0lnxLA  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm pj4!:{.;  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 -V,v9h ^  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     ;S0Kh"A  
    [.RO'>2z  
    10. 总结 O=SkAsim  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 &B! o,qp  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 [aI]y =v  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 / XnhmqWm%  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ? (*t@ {k  
    >5s6u`\  
     H$G0`LP0/a  
    QQ：2987619807 n,$IfC"  
     
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