示例.0082(1.0) qdxaP% p2 N,3iSH=cN[ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 %Y>E
X;
6=WqJj 1. 描述 *N"CV={No ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 LWhPd\ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i4nFjz ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 4S[UJ%
(t@:dW 2. 系统 v G9>e&Be nd7g8P9p 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
TQ5kM 3. 透镜系统组件编辑 [^^ Pl:+
dC|6z/
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 =itQ@``r
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 W|y;Kxy
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 f8`dJ5i
■ 包括序列光学表面和光学介质。 XUD Ztxa
{^1'' yc`*zLWh 4. 光线追迹系统分析器-选项 #<EYO a6 1!j>Kx b&dv("e
4
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 y*6/VSRkt4
■ 可以选择选取光线的方法: xc\zRsY`
— 在x-y-网格 w~ON861
— 六边形 ivyaGAF}+o
— 自由选取 Z!7xRy
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ]vP}K 4 Tw~4b 5. 系统的3维视图 " 0m4&K(3, Vzo<ma^
Vxu V`Plf 6. 其他系统参数 P.QF9% ■ 系统由单色平面波照明 Gh@~~\ ■ 照明波长266.08nm 0U H] ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ! Dj2/][ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 v"Ax'() — 一个虚拟屏位于焦平面 RS
l*u[fB — 光束尺寸探测器置于焦平面 o]<9wc:FZ
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 4e#$-V ! ?/:p. 'W yWO^Bdk C4P<GtR9 mt`CQz"_ 7. 光线追迹系统分析器的结果 OZnKJ< [uLsM<C 光线经过整个光学系统的三维视图
"H<us?r{ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
y&-QLX L [/%N2mj :GO"bsjL j49Uj}:j d7
H *F -]H~D4ng 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ovBmo2W/ GNe^~ kS:#|yY8%
■ VirtualLab可用于计算点列图。 q$mc{F($D
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 0GXY2+p}S
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 13`Mt1R
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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fzs A4 9. 焦平面上的结果 >3Q|k{97
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Y`Io}h G$
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 >( [,yMIY
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
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■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 2R.LLE
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 kMMgY? n=vDEX:' 10. 总结 a4=(z72xe ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 R]iV;j| ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ~~Ezt*lH ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ow.!4kx{ d ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 G+t:]\ @XV&^l-
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