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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) It5U=PU  
    *.'9eC0s  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 KBUClx?  
    ,]:vk|a#;  
    1. 描述 S\\3?[!p  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 {"^LUw8fd  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 bHJKX>@{  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ' 91-\en0  
    AD$$S.zoD<  
    2. 系统 SH oov  
    N}$$<i2o  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    P4\{be>e  
    3. 透镜系统组件编辑 E1 | >O  
    i146@<\G{P  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 &1=Je$,  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Ffv v8x  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ?MW *`U  
    包括序列光学表面和光学介质。 "7]YvZYu0  
    k`j>lhH  
    %VV\biO]  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 'ycr/E&m{  
    ">8]Oi;g  
    tQ,,krw~  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 OpNTyKbaD  
    可以选择选取光线的方法: U~;Rzoe)q*  
    — 在x-y-网格 a {4Wg:  
    — 六边形 Fwu:x.(  
    — 自由选取 u~uR:E%'C  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ZWtlOP#]  
    uG5RE  
    5. 系统的3维视图 ]+U:8*  
    \d"uR@$3mG  
    5s5GBJ?  
    6. 其他系统参数 g6s&nH`Z2  
    系统由单色平面波照明 Q|gw\.]$&[  
    照明波长266.08nm _f"HUKGN  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: P!6 v0ezN  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 `:aml+  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 n+sV $*wvS  
    光束尺寸探测器置于焦平面 31y>/*}  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 iXF iFsb  
    i)@IV]]6yL  
    fZq_]1(/uP  
    gv6}GE  
    ak SUk)}e  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 k;7R3O@  
    zL^`r)H  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    hc2AGeZr  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    $!'S7;*uW  
    W[$GB_A)  
    p)x*uqSd  
    UY ^dFbJ  
    )335X wA+  
    E43Gk!/|(  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 5qe6/E@  
    A"Prgf eT  
    E$4_.Z8sRw  
    VirtualLab可用于计算点列图。 #4yh-D"  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 x)]_]_vX  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 tx+KxOt9Y  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ?Z1&ju,Hd-  
    fwN'5ep  
    9. 焦平面上的结果 :rdw0EROy  
    9s.x%m,  
    Pse1NMK9 [  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ?<*mIf:?  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 CnXl 7"  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm - &7\do<  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ~Z{IdE  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ]Qu.-F#g  
    g?9IS,Gp  
    10. 总结 I6.!0.G  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 AZHZUd4  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 San=E@3}v!  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 G\;a_]Q  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 z{>p<)h  
    5n1aRA1  
    z5> {(iY;,  
    QQ:2987619807 + Cf  
     
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