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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) CE`]X;#y  
    ?o;ip  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 c.IUqin  
     @9HRGxJ=}  
    1. 描述 zY_J7,0g  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 9efey? z  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 jL\j$'KC  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Qq`S=:}~x  
     <}{<FXk[  
    2. 系统 iv~R4;;)  
    j*?8w(!  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    T:@6(_Z  
    3. 透镜系统组件编辑 >^jBE''  
    //2O#Fg{/  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 lfHN_fE>Mq  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 QX<n^W  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 BJux5Nh  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 Qy"Jt]O  
     -a)1L'R  
    )Ri!  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ]{6/6jl  
    f%o[eW#  
    *pwkv7Z h  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 D#&9zR86F  
    ■ 可以选择选取光线的方法： U3a2wK  
    — 在x-y-网格 Xs052c|s  
    — 六边形 K`K v.4  
    — 自由选取 sWr;%<K  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     uAA2G\3  
    j J{F0o  
    5. 系统的3维视图 ih0a#PB8  
    =;0-t\w!  
    940:NOgm  
    6. 其他系统参数 2@ZVEN  
    ■ 系统由单色平面波照明 P! +Gwm{  
    ■ 照明波长266.08nm nKm# kb  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： #]jl{K\f#X  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ?4R%z([X7  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Fa>f'VXx  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 -13}]Gls7Q  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 %@vF%   
    OK80-/8HI  
    'z8FU~oU  
    NF8<9  
    >g{&Qx`&  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 {OEjITm  
    l'(FM^8jv  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    eTp|!T  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    RdPk1?}K  
    Xb%Q%"?~  
    @bA5uY!  
    k4V3.i!E  
    N4ZV+ |  
    !{^kH;*u  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 v'S]g^  
    Q)0KYKD+@  
    HQP.7.w7 5  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 Kz42AC  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 jvB[bS`<H  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 `Qo37B2  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 #Q!Xz2z2  
     _ARG "  
    9. 焦平面上的结果 BEaF-*?A  
    ?) y}HF  
    R#hy2kA  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 /3aW 0/^o  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 x\G%  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm I #1~CbR  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 E_=F' sP?  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     E\!X$  
    g{DehBM  
    10. 总结 '{2]:  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 8Ij<t{Lps  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 5\pS8<RJ;  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 U&#` <R_0  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ;<garDf  
    h}@wPP{  
     f/J/tt  
    QQ：2987619807 Ge`7`D>L  
     
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