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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) .Pp;%  
    +Lq;0tRC  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 ||{V*"+\  
     ."N`X\  
    1. 描述 3$]SP1Mc(  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 /3MTutM|<X  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8{mQmG4  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 a6UW,n"n  
     w"-'  
    2. 系统 1l@gZI12#/  
    A5d(L4Q]a(  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ^ X&`:f  
    3. 透镜系统组件编辑 5if4eitS  
    ^8_`IT  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 KNR_upO8  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 Fv[. %tW  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 a$Lry?pb  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 MNy)= d&<P  
     amPC C  
    EYe)d+E*  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 a@1 r3az  
    1|_8+)i;  
    Ihe/P {t]J  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Dy>U=(S  
    ■ 可以选择选取光线的方法： 3 cd5 g  
    — 在x-y-网格 b4_"dg~gK  
    — 六边形 .Yl*kG6r  
    — 自由选取 P #_8$#G3  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     v-* CE[  
    p1dqDgF*  
    5. 系统的3维视图 ^7l.!s#$b  
    M6ol/.G[  
    @$5!  
    6. 其他系统参数 aLwd#/!  
    ■ 系统由单色平面波照明 VrV* -J'  
    ■ 照明波长266.08nm QK+s}ny  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： myp}DI(  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 !P Cw-&  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 J- %YmUc)  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 yIS.'mK  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 qXHr"  
    4:!KtpR[O  
    ObDcNq/b!  
    ^k&T?uU  
    7e,EI9?.  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 'o2V}L'nG  
    8]DN]\\o  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ;pU#3e+P8  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    {C=d9z~:  
    xg'FC/1LD  
    OL{U^uOhY  
    0:(`t~  
    4|+6a6  
    &} b'cO  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 y{Wtm7fnA  
    X&^8[,"  
     (-\ ,t  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 Ji7%=_@'-#  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 %@<}z|.4  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 &hmyfH&S  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 tS2P|fl  
     =2VM(GtK>  
    9. 焦平面上的结果 s'LY)_n  
    ~%Y*2i f  
    cw 3JSz9  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 &[BDqi  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 a#X[V5|6Q  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Pnb?NVP!^9  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 ;{]%ceetcu  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     IX eb6j8  
    H<dOh5MFh  
    10. 总结 cdL$T6y  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 u1y c  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 V@jR8zv|_  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 uS3 s  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 2Y&QJon)  
    %g3@m5&  
     w{[OtGIi3  
    QQ：2987619807 Q!Rknj 2  
     
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