示例.0082(1.0) G4<M@ET 9]4 W 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Rlwewxmr
R!z32 <5k
1. 描述 pP|LSrY! ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 (8Inf_59 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 O[<YYL0 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 \c(Z?`p]R1
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2. 系统 is6M{K3 Of gmJ(% 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
v!WkPvU 3. 透镜系统组件编辑 8?4/
h anS8
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 QLLMSa+! \
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }trQ<*D
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 crlCN
■ 包括序列光学表面和光学介质。 /D~MHO{
W*WSjuFr2 8#h~J>u. 4. 光线追迹系统分析器-选项 \Y$@$) i5 ;_ CFW#+U#U
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 t2Y2v2 J
■ 可以选择选取光线的方法: MZWicfUy
— 在x-y-网格 S2PPwCU
— 六边形 Mh@RO|F
— 自由选取 2qDyb]9
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +Ua.\1"6 \J-}Dp\0b 5. 系统的3维视图 ,sZ)@?e ;=lQMKx0
z/P^Bx]r 6. 其他系统参数 "?Yf3G: \0 ■ 系统由单色平面波照明 /I~(*X ■ 照明波长266.08nm ,8&ND864v ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: j<PpCL_8% — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 G_v^IM#B= — 一个虚拟屏位于焦平面 *5z"Xy3J — 光束尺寸探测器置于焦平面 f\X7h6k8{ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Jq8:33s 2*pNIc r}M2t$nv C+vk9:" qk_YFR?R 7. 光线追迹系统分析器的结果 LA4,o@V` uZXG" 光线经过整个光学系统的三维视图
/L;
c -^ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
9D{p^hd 5-! Zm] d 6=Z=4w n _eN|m?@ [WUd9fUL Q60'5Wt 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 'tJ@+(tqw ]EfM;'j[ K-Fro~U
■ VirtualLab可用于计算点列图。 H]PEE!C;xC
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 k. ?@qCs[
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 W/G75o~6
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
@XN*H- |
[?S-on. 9. 焦平面上的结果 "W@>lf?"
v{O(}@
eD)@:K
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 v
O@7o
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 W;QU6z>
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm =q<t,U P8
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ,Wlw#1fP
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 nEfQLkb[| x.ucsb 10. 总结 ;GZ/V;S ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 *DuP~8 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 yv2wQ_({ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 zdgSqv ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 7"p%c`*; d#u*NwY}
g&fq)d QQ:2987619807 IaYaIEL-