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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) qdxaP% p2  
    N,3iSH=cN[  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 %Y>E  
    X; 6=WqJj  
    1. 描述 *N"CV={No  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 LWhP d\  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i4nFjz  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 4S[UJ%  
    (t@ :dW  
    2. 系统 v G9>e&Be  
    nd7g8P9p  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    T Q5kM  
    3. 透镜系统组件编辑 [^^Pl:+  
    dC|6z/  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 =itQ@ ``r  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 W|y;Kxy  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 f8`dJ5i  
    包括序列光学表面和光学介质。 XUD Ztxa  
    {^1''  
    yc`*zLWh  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 #<EYO  
    a6 1!j>Kx  
    b&dv("e 4  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 y*6/VSRkt4  
    可以选择选取光线的方法: xc\zRsY`  
    — 在x-y-网格 w~ON861  
    — 六边形 ivyaGAF}+o  
    — 自由选取 Z!7xRy  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ]vP}K   
    4 Tw~4b  
    5. 系统的3维视图 " 0m4&K(3,  
    Vzo< ma^  
    VxuV`Plf  
    6. 其他系统参数 P.QF9%  
    系统由单色平面波照明 Gh@~~\  
    照明波长266.08nm 0U H]  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ! Dj2/][  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 v"Ax'()  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 RS l*u[fB  
    光束尺寸探测器置于焦平面 o]<9wc:FZ  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 4e#$ -V   
    !?/:p.  
    'W yWO^Bdk  
    C4P<GtR9  
    mt`CQz"_  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 OZnKJ<  
    [uLs M<C  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    "H<us?r{  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    y&-QLX L  
    [/%N2mj  
    :GO"bsjL  
    j49Uj}:j  
    d7 H*F  
    -]H~D4ng  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ovBmo2W/  
    GNe^ ~  
    kS:#|yY8%  
    VirtualLab可用于计算点列图。 q$mc{F($D  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 0GXY2+p}S  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 13`Mt1R  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 =I)43ah d  
    D fzsA4  
    9. 焦平面上的结果 >3Q|k{97  
    |E.BGdS  
    )<:TpMdUk  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Y`Io}h G$  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 >([,yMIY  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm });Rjg  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 2R.L LE  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    kMMgY?  
    n=vDEX:'  
    10. 总结 a4=(z72xe  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 R]iV;j|  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ~~Ezt*lH  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ow.!4kx{d  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 G+t:]\  
    @XV&^l -  
    |f#hGk6  
    QQ:2987619807 m(6d3P  
     
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