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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) CdDd+h8  
    hcgc =$^  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 $uw+^(ut  
    =]QH78\3  
    1. 描述 w;EXjl;X O  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 <gdgcvd  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 k<| l \]w  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 uvDoo6'  
    gc@#O#K~h^  
    2. 系统 @sHw+to|p)  
    S9NN.dKu  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    T4=3VrS  
    3. 透镜系统组件编辑 =_=Z;#`cXk  
    06^1#M$'  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 _Hu2[lV  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 !Gp3/<"Wy$  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 bfJ`}xl(8  
    包括序列光学表面和光学介质。 q83~j `ZJ$  
    U[QD!  
    ix9HSa{d  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 %i-lx`U  
    "Wk{4gS7l  
    n<:d%&^n  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 =/g$bZ  
    可以选择选取光线的方法: Yc82vSG'  
    — 在x-y-网格 0O#B'Uu  
    — 六边形 WjrMd#^  
    — 自由选取 =*g$#l4  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    pTALhj#,  
    2]} Uov  
    5. 系统的3维视图 }utNZhJ  
    P$3=i`X!nw  
    o? i.v0@!K  
    6. 其他系统参数 *?bk?*?s  
    系统由单色平面波照明  oKYhE  
    照明波长266.08nm Z|(c(H2  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: )4~sQ^}  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 :5S |x/  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 S&3X~jD(1  
    光束尺寸探测器置于焦平面 &QTeGn  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 AzW7tp;t =  
    [2'm`tZL  
    ^.#X<8hr  
    @?Gw|bP  
    Q)Iv_N/  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 0TO_1 0D  
    ySQ-!fQnP  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Y=a v8Y|`  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    sm;E2BR$ `  
    m-ph}  
    y~ _za(k  
    %i$M/C"(  
    X 45x~8f  
    <!~1{`n%9J  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 5fu+rU-#  
    A mI>m  
    0+}EA[  
    VirtualLab可用于计算点列图。 Z'Exw-ca  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 oWp}O?  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ]$~Fzs  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ;%u_ ;,((  
    "{A*(.  
    9. 焦平面上的结果 o)%-l4S  
    : 8^M5}  
    U!&_mD# c  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 7uPZuXHxcu  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 a)!![X?\  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm b4Z`y8=  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ?P""KVp o  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    t7w-TJvP  
    'tb(J3ZP  
    10. 总结 6<x~Mk'u)  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 EBoGJ_l  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 wMb)6YZs  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ,VNi_.W0  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 TGU:(J'^  
    5Vp;dc  
    Ap5}5 ewM  
    QQ:2987619807 b TLMd$  
     
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