示例.0082(1.0) CdDd+h8 hcgc
=$^ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 $uw+^(ut
=]QH78\3 1. 描述 w;EXjl;X O ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 <gdgcvd ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 k<| l\]w ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 uvDoo6'
gc@#O#K~h^ 2. 系统 @sHw+to|p) S9NN.dKu 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
T4=3VrS 3. 透镜系统组件编辑 =_=Z;#`cXk
06^1#M$'
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 _Hu2[lV
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 !Gp3/<"Wy$
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 bfJ`}xl(8
■ 包括序列光学表面和光学介质。 q83~j`ZJ$
U[QD! ix9HSa{d 4. 光线追迹系统分析器-选项 %i-lx`U "Wk{ 4gS7l n<:d%&^n
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 =/g$bZ
■ 可以选择选取光线的方法: Yc82vSG'
— 在x-y-网格 0O#B'Uu
— 六边形 WjrMd#^
— 自由选取 =*g$#l4
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 pTALhj#, 2]} Uov 5. 系统的3维视图 }utNZhJ P$3=i`X!nw
o? i.v0@!K 6. 其他系统参数 *?bk?*?s ■ 系统由单色平面波照明 oKYhE ■ 照明波长266.08nm Z|(c(H2 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: )4~sQ^} — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 :5S |x/ — 一个虚拟屏位于焦平面 S&3X~jD(1 — 光束尺寸探测器置于焦平面 &QTeGn ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 AzW7tp;t= [2'm`tZL ^.#X<8hr @?Gw|bP Q)Iv_N/ 7. 光线追迹系统分析器的结果 0TO_1 0D ySQ-!fQnP 光线经过整个光学系统的三维视图
Y=a v8Y|` 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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` m-ph} y~ _za(k %i$M/C" ( X
45x~8f <!~1{`n%9J 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 5fu+rU-# A
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 Z'Exw-ca
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 oWp}O?
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ]$~Fzs
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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"{A*(. 9. 焦平面上的结果 o)%-l4S
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 7uPZuXHxcu
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 a)!![X?\
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm b4Z`y8=
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ?P""KVpo
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 t7w-TJvP 'tb(J3ZP 10. 总结 6<x~Mk'u) ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 EBoGJ_l ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 wMb)6YZs ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ,VNi_.W0 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 TGU:(J'^ 5Vp;dc
Ap5}5 ewM QQ:2987619807 bTLMd$