示例.0082(1.0) CE`]X;#y ?o;ip 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 c.IUqin
@9HRGxJ=} 1. 描述 zY_J7,0g ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 9efey? z ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 jL\j$'KC ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Qq`S=:}~x
<}{<FXk[ 2. 系统 iv~R4;;) j*?8w(! 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
T:@6(_Z 3. 透镜系统组件编辑 >^jBE''
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 lfHN_fE>Mq
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 QX<n^W
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 BJux5Nh
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Qy" Jt ]O
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)Ri! 4. 光线追迹系统分析器-选项 ]{6/6jl f%o[eW# *pwkv7Zh
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 D#&9zR86F
■ 可以选择选取光线的方法: U 3a2wK
— 在x-y-网格
Xs052c|s
— 六边形 K`Kv .4
— 自由选取 sWr;%<K
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 uAA2G\3 j J{F0o 5. 系统的3维视图 ih0a#PB8 =;0-t\w!
940:NOgm 6. 其他系统参数 2@ZVEN ■ 系统由单色平面波照明 P!+Gwm{ ■ 照明波长266.08nm nKm#
kb ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: #]jl{K\f#X — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ?4R%z([X7 — 一个虚拟屏位于焦平面 Fa>f'VXx — 光束尺寸探测器置于焦平面 -13}]Gls7Q ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 %@vF% OK80-/8HI 'z8FU~oU NF8<9 >g{&Qx`& 7. 光线追迹系统分析器的结果 {OEjITm l'(FM^8jv 光线经过整个光学系统的三维视图
eTp|!T 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
RdPk1?}K Xb%Q%"?~ @bA5uY! k4V3.i!E N4ZV+
|
!{^kH;*u 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 v'S]g^ Q)0KYKD+@ HQP.7.w7 5
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Kz42AC
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 jvB[bS`<H
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 `Qo37B2
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
#Q!Xz2z2
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" 9. 焦平面上的结果 BEaF-*?A
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R#hy2kA
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 /3aW 0/^o
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 x\G%
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm I #1~CbR
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 E_=F'sP?
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 E\!X$ g{DehBM 10. 总结 '{2]: ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 8Ij<t{Lps ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 5\pS8<RJ; ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 U&#`
<R_0 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ;<garDf h}@wPP{
f/J/tt QQ:2987619807 Ge`7`D>L