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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) @2Z|\ojJ  
    /X}1%p  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 +ai3   
    }QE.|.fA1  
    1. 描述 uLdHE5vr  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 (hc!!:N~q  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Jz8P':6[  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Kw fd S(  
    !r/i<~'Bx  
    2. 系统 [@K'}\U^+  
    Y>$5j}K  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    z~H1f$}  
    3. 透镜系统组件编辑 x?i wtZ@  
    {z oGwB  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 `_J&*Kk5  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 gwaSgV$z  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 1j2U,_-  
    包括序列光学表面和光学介质。 @]Q4K%1^"  
    S^s-md>  
    !}=eXDn;A_  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Au2^ T1F  
    dsIbr"m  
    8:Hh;nl  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 F}Zg3 #  
    可以选择选取光线的方法: ;MfqI/B{  
    — 在x-y-网格 }s2CND  
    — 六边形 ^B.Z3Y  
    — 自由选取 e1[ReZW  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    N XB8u6  
    A1zRzg4I  
    5. 系统的3维视图 TOiLv.Dor  
    6*,55,y  
    ?y|&Mz'XJ(  
    6. 其他系统参数 TQ\#Z~CbK{  
    系统由单色平面波照明 p5]W2i.,  
    照明波长266.08nm V lZ+x)E  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 60{G 4b)  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 F2YBkwI  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 W=Syo&;F8  
    光束尺寸探测器置于焦平面 8wWp+Hk  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 bWL!=  
    J>X@g;  
    R&1>\t  
    .H|Z3d!Jj  
    9DBX.|  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 >s%Db<(P=  
    :h,}yBJ1L  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    U<Oc&S{]*  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    zd_N' :6  
    tDETRjTA  
    2dz)rjd O,  
    g_4%M0&AX  
    k3&68+  
    t|>P9lX@  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 &._"rhz  
    /yU#UZ4;  
    9#[,{2pJr  
    VirtualLab可用于计算点列图。 5 CnNp?.t^  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 S^R dj ]  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 WG,Il/  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 xkf2;  
    HnPy";{  
    9. 焦平面上的结果 AXcmN  
    . LAB8bg  
    '(iPI  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 54{E&QvL8o  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 [vI ;A !  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm y ;mk]  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 RAa1^Qb  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    +M.BMS2A<l  
    L%[>z'Zp  
    10. 总结  U :x;4  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Y4YZM  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 L0VZ>!*o  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 S/Ic=  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 E$_zBD%  
    yIiVhI?X  
    (Jb#'(~a  
    QQ:2987619807 aF/DFaiYv  
     
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