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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) =ZgueUz,  
    dY1t3@E  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 !<[+u  
     q<YM,%mgj  
    1. 描述 }lZEdF9GhG  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 G~9m,l+  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 iq&3S0  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 i<QDV W9  
     RXgb/VR  
    2. 系统 LlTD =tJ0  
    u6|C3,!z"  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    BQu |qr q  
    3. 透镜系统组件编辑 ^C>kmo3J  
    :5YIoC  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 {cK<iQJ  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 }M07-qIX{  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 t@%w:*&  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 i<uU_g'M  
     <8r"QJY/  
    V?mP7  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 v?8WQNy  
    =EJ&=t  
    w-|Rb~XT h  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 sW>%mnx  
    ■ 可以选择选取光线的方法： -&/?&{Q0  
    — 在x-y-网格 C,|&  
    — 六边形 9{Hs1 MD[  
    — 自由选取 =z1Lim-  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     [$y(>] ~.  
    G]lGoa}]`u  
    5. 系统的3维视图 8hGyh#  
    Fis!MMh.$  
     Z-@nXt  
    6. 其他系统参数 *|rdR2R!  
    ■ 系统由单色平面波照明 *>m[ZJd%=  
    ■ 照明波长266.08nm J;4x$BI  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： WjV Bz   
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Qz(D1>5I?  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 $QJ3~mG2  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 0R?1|YnB  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 -P]O t>%S  
    r)<A YX]J  
    -H?c4? 5  
    u>>|ZPe  
    {&1L &f<  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Wa;N(zw0h  
    [YvS#M3T  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    gM96RY  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    W;u.@I&  
    d) -(C1f  
    HUKrp*Hv  
    =!TUf/O-  
    Y9.3`VX  
    geQ!}zXWi  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .; MS 78BR  
    *@rA7zPFf  
    %" iX3  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 /?.?1-HM  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 5/.W-Q\pl}  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 \h ~_<)  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 f_k'@e{  
     80nEQT y  
    9. 焦平面上的结果 rS@/@jKZE  
    CJ<nUIy'z  
    zs=3e~o3  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 O-, "/Z  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 \M`qaFan5^  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm XoN~d  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 :zL)O  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     CE"/&I  
    QE]'Dc%  
    10. 总结 ]J Yz(m[   
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 (~~m8VJ>  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 CCTU-Xz/  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 [F<E0rjwM  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 (T1< (YZ  
    LL<xygd  
     eRUdPPq_d  
    QQ：2987619807 hjL;B 'IL  
     
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