示例.0082(1.0) It5U=PU *.'9 eC0s 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 KBUClx?
,]:vk|a#; 1. 描述 S\\3?[!p ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 {"^LUw8fd ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 bHJKX>@{ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 '
91-\en0
AD$$S.zoD< 2. 系统 SHoov N }$$<i2o 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
P4\{be>e 3. 透镜系统组件编辑 E1|> O
i146@<\G{P
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 &1=Je$,
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Ffvv8x
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ?MW*`U
■ 包括序列光学表面和光学介质。 "7]YvZYu0
k`j>lhH %VV\biO] 4. 光线追迹系统分析器-选项 'ycr/E&m{ ">8]Oi;g tQ,,krw~
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 OpNTyKbaD
■ 可以选择选取光线的方法: U~;Rzoe)q*
— 在x-y-网格 a{4Wg:
— 六边形 Fwu:x.(
— 自由选取 u~uR:E%'C
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ZWtlO P#] uG5RE 5. 系统的3维视图 ]+U:8* \d"uR@$3mG
5s5GBJ? 6. 其他系统参数 g6s&nH`Z2 ■ 系统由单色平面波照明 Q|gw\.]$&[ ■ 照明波长266.08nm _f"HUKGN ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: P!6v0ezN — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 `:aml+ — 一个虚拟屏位于焦平面 n+sV$*wvS — 光束尺寸探测器置于焦平面 31y>/*} ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 iXF iFsb i)@IV]]6yL fZq_]1(/uP gv6}GE ak SUk)}e 7. 光线追迹系统分析器的结果 k;7R3O@ zL^`r)H 光线经过整个光学系统的三维视图
hc2AGeZr 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
$!'S7;*uW W[$GB_A) p)x*uqSd UY ^dFbJ )335X wA+
E43Gk!/|( 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 5qe6/E@ A"Prgf
eT E$4_.Z8sRw
■ VirtualLab可用于计算点列图。 #4yh-D"
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 x)]_]_vX
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 tx+KxOt9Y
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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fwN'5ep 9. 焦平面上的结果 :rdw0EROy
9s.x%m,
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ?<*mIf:?
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 CnXl 7"
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm -&7\do<
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ~Z{IdE
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ]Qu.-F#g g?9IS,Gp 10. 总结 I6.!0.G ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 AZHZUd4 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 San=E@3}v! ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 G\;a_]Q ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 z{>p<)h 5n1aRA1
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