示例.0082(1.0) O TlqJ 8Nyz{T[ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 .d^8?vo
ecz-jZ!
` 1. 描述 /}>8|#U3y ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 5YNAb/!!F ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 [m
h>N$ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Ot`%5<E^
WKlqm)m@ 2. 系统 o4EY2 $p0D9mF 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
mhhc}dS(H 3. 透镜系统组件编辑 -bOtF%
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ;7?oJH;
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 U2<q dknB
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 6wwbH}*=?
■ 包括序列光学表面和光学介质。 #xu1
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*K$a;2WjzG S}U_uZ$b 4. 光线追迹系统分析器-选项
f&^}yqmuE *qSvSY* wdBBx\FP
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ojf6@p_
■ 可以选择选取光线的方法: XdV>6<gf{
— 在x-y-网格 ~zac.:a8
— 六边形 _[-MyU s
— 自由选取 ?#: ']q
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ri59LY y= >"<s7$g 5. 系统的3维视图 E.NfVeq 8gE p5
4vG-d)"M2 6. 其他系统参数 zNKB'hsK ■ 系统由单色平面波照明 T$2A2gb` ■ 照明波长266.08nm DGCvH)Q ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 5!Y\STn — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 1z&"V}y — 一个虚拟屏位于焦平面 JB'tc!!* — 光束尺寸探测器置于焦平面 O]hUOc`k ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 f~P YK O*?^a7Z)4 5p!{#r6m (VN'1a ( t/O^7)% 7. 光线追迹系统分析器的结果 WK*tXc_[b hkb\GcOj 光线经过整个光学系统的三维视图
vW*Mf}= 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
R-Lpgi<a"
=
E_i t6KKfb a-,*iK{_u 3Q62H+MC H9TeMY 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 !]uB4 V(ww
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 "OI$PLK
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 2RNee@!JJP
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 2oahQ:
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■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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e#mf{1& 9. 焦平面上的结果 ivl %%nY'
'J&R=MD
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 <eSg%6z
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Rh"O$K~
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm GR*sk#{
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 g]z k` R5
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 oupWzjo zJ8T.+qJ 10. 总结 1:T"jsWw ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 !fAvxR ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 |-/@3gPO ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 m2(}$z3e ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 {RI^zNgs[ o ?05bv
$0$sDN6)x QQ:2987619807 5D7 L)>