示例.0082(1.0) aEVBU a|`Pg1j# 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 U[=VW0
c4oQ4 1. 描述 gmy$_4+6o ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 u~\u8X3 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 @.T
'>;izr ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 FyX\S=
["4h%{. 2. 系统 W~+
] 7< N;7Xt9l 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
>tnQuFKg] 3. 透镜系统组件编辑 Mo|[Muj8b
V} Y %9V
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Y 9]
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 9D++SU2:}
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 W~E%Eq3
■ 包括序列光学表面和光学介质。 >S3iP?V7
`uy)][j- 6wx;grt'Z 4. 光线追迹系统分析器-选项 *z;4.
OX -`gqA%#+
yTwv2l;U
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 b[Sd$ACd
■ 可以选择选取光线的方法: $-m@cObw!.
— 在x-y-网格 >4`("#
— 六边形 b;# 3X)
— 自由选取 z9pv|
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [!p>Id
wq!Gj]B 5. 系统的3维视图 "Q6oPDX( @6 uB78U4O
eWSA 6. 其他系统参数 Ehu^_HZ ■ 系统由单色平面波照明 [ !/u, ■ 照明波长266.08nm Y&KI/]ly,L ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: I~?D^ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (:Rj:8{ — 一个虚拟屏位于焦平面 wgxr8;8`q — 光束尺寸探测器置于焦平面 T;qP"KWZ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 t7tX<|aN TJ8IYo|
D 0]=|3-n wl H6 =#dW^?p 7. 光线追迹系统分析器的结果 13wO6tS
k M_*"g>Z 光线经过整个光学系统的三维视图
iTF`sjL 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
XQ]no aU UXwnE@`F 9`Bmop .6aC2A]es @igr~hJ HpY-7QTPJ~ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 S[(Tpk2_ :UM>`Y |l)SX\Qf`@
■ VirtualLab可用于计算点列图。 2 %UzCK
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 -qaJ@T+J+7
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 O_}R~p
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
|`[0U
.1<QB{4~v 9. 焦平面上的结果 n4,b?-E>(
_|reo6
F,+nj?i!
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 q ww*
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 wb~BY
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ){^o"A?-:
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 4{4VC"fa
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 4FUY1p x6Zhw9RV 10. 总结 XE8>&&X ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @=JOAo ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 j=b?WNK ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 [y$P'Y ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 vOIK6- sI\v}$(~
bQd'objpY QQ:2987619807 .kKU MyW(