示例.0082(1.0) %qqCpg4 Ve9)?=! 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 pm9sI4S
d" 0&=/ 1. 描述 bz 7?F! ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Jj0:p" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 s(Wys^[g ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9*~";{O.Oa
)b%zYD9p 2. 系统 CX2qtI8N? Pxkh;:agD 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
L)<~0GcP 3. 透镜系统组件编辑 "5ISKuL
Id8MXdV
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 U)iBeYW:
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ~-G_c=E?
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 cb|hIn\>7
■ 包括序列光学表面和光学介质。 vV=rBO0a?
cM<08-:v OrL4G
`O 4. 光线追迹系统分析器-选项
KR R)pT GbQg(%2F *Jt+-ZM
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 f6\4,()
■ 可以选择选取光线的方法: pI.8Ip_r
— 在x-y-网格 o*E32#l
— 六边形 !M)] 1Y
— 自由选取 Z:<wB#G
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -glGOTk JSylQ201 5. 系统的3维视图 2[1t
)EW ;gAL_/_
`SZ-o{ 6. 其他系统参数 m$hkmD| ■ 系统由单色平面波照明 owyQFk ■ 照明波长266.08nm j4`+RS+q ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: L?M
x"
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 WuI$ — 一个虚拟屏位于焦平面 kaoiSL<[6 — 光束尺寸探测器置于焦平面 )lz)h*%# ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 CbxWK#aMmB UxF9Ko( ]d 9s7TLT k {KK/mAp{ nW K7* 7. 光线追迹系统分析器的结果 TI2K_' j,
*=D6 光线经过整个光学系统的三维视图
2 p}I 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
O0_RW`69 PRBlf P0sAq7" f`}/^*D O:~J_Wwl! @w(|d<5l:L 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ?'H+u[1. `}L{gssv YRv96|c,
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ^ rUq{
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 M0?%r`
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 %] :ZAmN
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
mfffOG
k!bJ&} Q(b 9. 焦平面上的结果 19[!9ci
_I3v"d
8X278^
#
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 B~@Gfb>`'
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 D
dCcsYm,
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ~6O~Fth
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 oIj-Y`92!
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 5:5d=7WX %]4=D)Om 10. 总结 LCzeE7x ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 %BT]h3dcSS ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 3^$=XrD ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 rQ2TPX<?a ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 S,avvY.U\ \!w |
P*U^,Jh< QQ:2987619807 9`"#OQPn1