示例.0082(1.0) By waD? |sd G<+ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 hC[=e`j
1w~PHH`~ 1. 描述 s]]lB018O\ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 63'm
@oZ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Ge_fU'F ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 HjIIhl?UY
G9NI`]k 2. 系统 nNq<x^@83 v4<W57oH 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
^s6}[LDW>@ 3. 透镜系统组件编辑 %N)B8A9kh
Z#.1p'3qm1
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ^D<CoxG
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 nfbR"E
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ! ui
■ 包括序列光学表面和光学介质。 9dq"x[
eZEk$W% ").gPmC 4. 光线追迹系统分析器-选项 XwUa|"X6 ~P#mvQE) &#L C'
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 R\|,GZ!`+
■ 可以选择选取光线的方法: )by7[I0v
— 在x-y-网格 md*U
— 六边形 VcGl8~#9
— 自由选取 -nXP<v=V
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ~n-Px) eT+i& 5. 系统的3维视图 b3EGtC}^ mFg$;F
<4+P37^~ 6. 其他系统参数 5CZyA`3V^5 ■ 系统由单色平面波照明 ||JUP}eP ■ 照明波长266.08nm E/g"}yR ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Ly&+m+Gwu — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 kV+^1@" — 一个虚拟屏位于焦平面 }%p:Xv@X! — 光束尺寸探测器置于焦平面 Qn7T{ BW ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 @Wc5r# @oE
5JM 0W(mx-[H/ 3l%Qd< Vx(*OQ 7. 光线追迹系统分析器的结果 ])wdd>' gzIx!sc 光线经过整个光学系统的三维视图
BbI%tmA7 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
<a]i"s db~^Gqv6k gYD1A\ Ss+F HwHF8#D*l ID43s9 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 K f/[Edn lFGuQLuqA{ r|EN 5
■ VirtualLab可用于计算点列图。 3Do0?~n
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 F%h3?"s
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ZU73UL
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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%7S 9. 焦平面上的结果 1Z)Et,
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1Ng+mT
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 rZKfb}ANQ
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 |Y>Jf~SN
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Z^_qXerjP
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 6;Z-Y>\c
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 BM<q;;pO '{"Rjv7 10. 总结 $D1ha CL ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Bn7uKa{P ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。
ECOJ .^ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 (-gomn ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 KLyRb0V K6kz{R%`
n9'3~qVZ QQ:2987619807 )i~AXBt}