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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) NJ MJ  
    $f pq 3  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 gUR]{dq^'  
    m,R Dr  
    1. 描述 {3Y )rY!z  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 m))<!3  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 }6-ZE9H-v  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Dw2Q 'E  
    /_\#zC[  
    2. 系统 P0i V<T4^  
    ZCVl5R(mZ  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    &W6^6=E{g  
    3. 透镜系统组件编辑 5y} v{Ijt  
    -.<k~71  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 3S BZ>  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 7 yt=]1  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8seBT ;S  
    包括序列光学表面和光学介质。 M0c 9pE  
    aVe/ gE  
    A K/z6XGy  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 #Rew [\$  
    kLS(w??T  
    *8ExRQZ$  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ;$BdP7i:  
    可以选择选取光线的方法: 3_`szl-  
    — 在x-y-网格 Hwm?#6\5  
    — 六边形 -Z^4L  
    — 自由选取 S)A'Y]2X  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    M]HgIL@9#  
    *]x*B@RF  
    5. 系统的3维视图 me\cLFw  
    &kQ!KA28  
    Ra3ukYG[  
    6. 其他系统参数 np WEop>  
    系统由单色平面波照明 gor <g))\  
    照明波长266.08nm a}d6o;li  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ze'.Y%]  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 #vf_D?^  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 4Z)DDz-}V  
    光束尺寸探测器置于焦平面 l9/:FiJ_  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 1Qh`6Ya f  
    K` nJVc  
    VG*'"y *%w  
    OK`Z@X_,bW  
    (tl}q3U  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 E=/[s]@5  
    U&y`-@A4  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    t#<KxwhcN  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    cCxi{a1uo  
    3AlqBXE"Z<  
    :w?7j_p#  
    IX?ZbtdX$`  
    hkW{88  
    [.q(h/b  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 "A]Y~iQ  
    9DEh*%q  
    y67uH4&Vm  
    VirtualLab可用于计算点列图。 `W[+%b  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 4VIg>EL*  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 =p&sl;PsLw  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 >$ F:*lO  
    +zRh fIJHH  
    9. 焦平面上的结果 V2yveNz\7  
    ,w&:_n  
    hXX1<~k  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 D{AFL.r{  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 F$*3@Y  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm *`KrVu 6s  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Q[s 2}Z!N;  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ARx0zI%N  
    WL\^F#:  
    10. 总结 fW~*6ln  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 W@B7yP7Rz  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 (G8  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 7Qh_8M  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 @8"18HEp#  
    Yg6I&#f7&  
    #'>?:k  
    QQ:2987619807 m1e b8yX  
     
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