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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) ~I<yN`5(a  
    ZAe>MNtW  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 (5[|h  
     ]Hk8XT@Q+  
    1. 描述 Qd"{2>  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 5fi6>>  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 IE*GF27n  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 AnVj '3  
     Qo+_:N  
    2. 系统 s6<`#KFAg  
    Gs$<r~Tg  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    :_v/a+\n  
    3. 透镜系统组件编辑  Isv@V.  
    xzF@v>2S+  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 ypE cjVP D  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 iyNyj44 H  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 <-uE pF  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 ?CGbnXZ4Ug  
     T-|SBNFw;  
    !FOPFPn  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 #UGtYD}"  
    .zr2!}lB  
    t{?UNW  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 =mV1jGqX  
    ■ 可以选择选取光线的方法： oeKI9p13\  
    — 在x-y-网格 #mY*H^jI]~  
    — 六边形 '9cShe  
    — 自由选取 w^N xR,  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     ]$/TsN  
    7m0sF<P{g  
    5. 系统的3维视图 D-*`b&i48  
    $7~ k#_#PC  
    wic"a Y<m  
    6. 其他系统参数 C!xqp   
    ■ 系统由单色平面波照明 hEAt4z0P  
    ■ 照明波长266.08nm Rb=T'x'  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： g[fCvWm#d  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 J =o,: 3"  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 g/ONr,l`-  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 n1K"VjZk  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 E>~DlL%  
    4L#q?]$  
    [?u iM^&  
    %lPAq  
    $h1`-=\7  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 1zNH[   
    Unev[!  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    0-#SvTf>;:  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    /h'V1zL#  
    88 ~BE ^  
    +=#sa m*i  
    1<a+91*=e  
    t4)~A5s  
    qPsf`nI7  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 r@L19d)J  
    pk2OZ,14Mj  
    V 9Bi2\s*  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 ZrJAfd\5c  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 <i34;`)b  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 {J3;4p-&  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 4:<74B  
     "w ] Bq0  
    9. 焦平面上的结果 \{  
    Dd8*1,  
    b:Oa4vBa  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 wi/Fx=w  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 Pe[~kog,TP  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm $(pzh:|  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 JK:i-  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     !4zSE,1  
    SwHrHj  
    10. 总结 1,,kU  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 EJ7}h?a]U_  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 0<"4W:  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 @q0\oG4L  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 (VeX[*}I  
    iev02 8M  
     LAqmM3{fA  
    QQ：2987619807 Z,AF^,H[  
     
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