示例.0082(1.0) NJ MJ $fpq
3 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 gUR]{dq^'
m,R Dr 1. 描述 {3Y )rY!z ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 m))<!3 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 }6-ZE9H-v ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Dw2Q 'E
/_\#zC[ 2. 系统 P0i V<T4^ ZCVl5R(mZ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
&W6^6=E{g 3. 透镜系统组件编辑 5y}
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-.<k~71
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 3SBZ>
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 7yt=]1
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8seBT;S
■ 包括序列光学表面和光学介质。 M0c9pE
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K/z6XGy 4. 光线追迹系统分析器-选项 #Rew [\$ kL S(w??T *8ExRQZ$
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ;$BdP7i:
■ 可以选择选取光线的方法: 3_`szl-
— 在x-y-网格 Hwm?#6\5
— 六边形 -Z^4L
— 自由选取 S)A'Y]2X
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 M]HgIL@9# *]x*B@RF 5. 系统的3维视图 me\cLFw &kQ!KA28
Ra3ukYG[ 6. 其他系统参数 np WEop> ■ 系统由单色平面波照明 gor<g))\ ■ 照明波长266.08nm a}d6o;li ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ze'.Y%] — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 #vf_D?^ — 一个虚拟屏位于焦平面 4Z)DDz-}V — 光束尺寸探测器置于焦平面 l9/:FiJ_ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 1Qh`6Ya f K`nJVc VG*'"y*%w OK`Z@X_,bW (tl}q3U 7. 光线追迹系统分析器的结果 E=/[s]@5 U&y`-@A4 光线经过整个光学系统的三维视图
t#<KxwhcN 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
c Cxi{a1uo 3AlqBXE"Z< :w?7j_p# IX?ZbtdX$` hkW{88 [.q(h/b 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 "A]Y~iQ 9DEh*%q y67uH4&Vm
■ VirtualLab可用于计算点列图。 `W[+%b
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 4VIg>EL*
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 =p&sl;PsLw
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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fIJHH 9. 焦平面上的结果 V2yveNz\7
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 D{AFL.r{
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。
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■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm *`KrVu 6s
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Q[s2}Z!N;
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ARx0zI%N WL\^F#: 10. 总结 fW~*6ln ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 W@B7yP7Rz ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 (G8 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 7Qh_8M ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 @8"18HEp#
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