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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) g#1 Y4  
    {{pN7Z  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 211T}a  
     [T [] U   
    1. 描述 fX\y/C  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ZifDU@J$t  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i3L2N~:V  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 _ q>|pt.W  
     JXt_  
    2. 系统 ^e\$g2).  
    CZy3]O"qW  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    K,PN:  
    3. 透镜系统组件编辑 G~_D'o<r  
    Ut/%+r"s  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 Uhn3usK  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 *].qm g%  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。  r/)ZKO,  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 Ll#W:~  
     9`^(M^|c  
    BT3yrq9  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 f4f)9n  
    ru1^. (W2  
    ![I|hB  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 [yc7F0Aw  
    ■ 可以选择选取光线的方法： v<(+ l)Ln  
    — 在x-y-网格 nq+6ipx  
    — 六边形 Z?&ZgaSz  
    — 自由选取 p)m5|GH24  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     E1w8d4P,G  
    7.)_H   
    5. 系统的3维视图 OOABn*  
    79o=HiOF99  
    RHbbj}B  
    6. 其他系统参数 FKhgUnw  
    ■ 系统由单色平面波照明 @W==)S%O  
    ■ 照明波长266.08nm /9Qr1@&v  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： JFNjc:4{0  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 SL+n y(y  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 6rCUq  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 Nm-E4N#'i  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ZTB6m`  
    Cy5iEI#  
     =Uo*-EH  
    XJwgh y?(  
    d6??OO=~>M  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 tqpi{e  
    ?s)6 YF  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    v:9'k~4)  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    iO18FfM_  
    +9yMtR  
    9q[[ ,R  
    U17=/E  
    ~,8#\]xR  
    "&;X/~j  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 e5; YY  
    y4=T0[ V  
    7;r3Bxa Q  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 5'w&M{{9  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 VyNU<}  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 `JGW8 _  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 vkG%w;  
     ^4Se=Hr z2  
    9. 焦平面上的结果 $DnR[V}rR!  
    ~xws5n}F  
    &arJe!K  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ,K PrUM}  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 _t4(H))]vG  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ;l < amB  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 z-sq9Qp&x  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     INCD5dihJ  
    Q+_z*  
    10. 总结 1C*mR%Q  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ['iEw!  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 *7L1SjZw  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 x>A[~s"|N  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 Y OvhMi  
    +<B"g{dLuX  
     ]zIIi%  
    QQ：2987619807 bhsCeH  
     
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