示例.0082(1.0) ;HPQhN_ IV5B5Q'D 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 lwU$*?yv
(pFPuV 1. 描述 l1h;ng6 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 GvCB3z ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 j.FW*iX1C ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 *Ou )P9~-L
x/pM.NZF1 2. 系统 S|pMX87R g,0u_$U 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
lW!}OzE(m 3. 透镜系统组件编辑 =QiVcw,G#
C25r3bj
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 GkT:7`|C
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 y
;$8C
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 6_s_2cr
■ 包括序列光学表面和光学介质。 HZHzjrx
APC,p," E(;V.=I 4. 光线追迹系统分析器-选项 bJz}\[z q*^F"D:?k [=
GVK
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 hLZ<h7:
■ 可以选择选取光线的方法: @DYxDap{
— 在x-y-网格 qXH\e|
— 六边形 @4'bI)
— 自由选取 !p4y@U{
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 *r&q;ER ygvX}q 5. 系统的3维视图 9b/7~w. krw_1Mm
Bj ~bsT@a. 6. 其他系统参数 GomTec9. ■ 系统由单色平面波照明 QX'EMyK$ ■ 照明波长266.08nm JE<zQf( & ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: /ox9m7Fz7 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Kf.G'v46 — 一个虚拟屏位于焦平面 wQ4IQ! — 光束尺寸探测器置于焦平面 (L{Kg U&{$ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 &@c?5Ie5 7q' _]$ '>}dqp{Wr 33{(IzL0 _m
*8f\ 7. 光线追迹系统分析器的结果 Qe&K Aj9Onz,Lg 光线经过整个光学系统的三维视图
:< )"G& 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
O%g%*9 M%3 \]& d"1DE VPKoBJ& ^st.bzg+[ LxM.z1 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 \uumNpB*n )]=1W
`ehZ(H}
■ VirtualLab可用于计算点列图。 jL|y4
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 M<A*{@4$w&
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 =*icCng
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
zH1pW(
&nc0stuL 9. 焦平面上的结果 3H_mR
j9th
]kN<N0;\d
W-QBC-
3
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 aAlES< r
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 M*r/TT
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ^l UV^%f
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 CDy *8<-&
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 an4^(SY 6N{Vcfq 10. 总结 d$3;o&VUNI ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 >y2;sJ4]D% ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 qfO=_z ES ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 l1_Tr2A}7/ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 MWsjkI` vZgV/?'z
i/&?e+i QQ:2987619807 5}4f[