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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) By waD?  
    |sdG<+  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 hC[ =e`j  
    1w~PHH`~  
    1. 描述 s]]lB018O\  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 63'm @oZ  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Ge_fU'F  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 HjIIhl?UY  
    G9NI`]k  
    2. 系统 nNq<x^@83  
    v4<W57oH  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ^s6}[LDW>@  
    3. 透镜系统组件编辑 %N)B8A9kh  
    Z#.1p'3qm1  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ^D<CoxG  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 nfbR"E jXr  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ! ui   
    包括序列光学表面和光学介质。 9dq"x[  
    eZEk$W%  
    ").gPmC  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 XwUa|"X6  
    ~P#mvQE)  
    &#L C'  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 R\|,GZ!`+  
    可以选择选取光线的方法: )by7 [I0v  
    — 在x-y-网格 md*U  
    — 六边形 VcGl8~#9  
    — 自由选取 -nXP<v=V  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ~n- Px)  
    eT+i &  
    5. 系统的3维视图 b3EGtC}^  
    mFg$;F  
    <4+P37^ ~  
    6. 其他系统参数 5CZyA`3V^5  
    系统由单色平面波照明 ||JUP}eP  
    照明波长266.08nm E/g"}yR  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Ly&+m+Gwu  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 kV+^1@"  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 }%p:Xv@X!  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Qn7T{ BW  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 @Wc5r#  
    @oE 5JM  
    0W(mx-[H/  
    3l%Qd<  
    Vx(*OQ  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ])wdd>'  
    gzIx!sc  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    BbI%tmA7  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    <a]i"s  
    db~^Gqv6k  
    gYD1A\  
    S s+F  
    HwHF8#D*l  
    ID43s9  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 K f/[Edn  
    lFGuQLuqA{  
    r|EN5  
    VirtualLab可用于计算点列图。 3Do0?~n  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 F%h3?"s  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ZU73UL  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 f^FFn32u  
    A#. %7S  
    9. 焦平面上的结果 1Z) Et,  
    ?qNU*d  
    1Ng+mT  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 rZKfb}ANQ  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 |Y>Jf~SN  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Z^_qXerjP  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 6;Z -Y>\c  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    BM<q;;pO  
    '{"Rjv7  
    10. 总结 $D1ha CL  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 B n7uKa{P  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ECOJ .^  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 (-gomn  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 KLyRb0V  
    K6kz{R%`  
    n9'3~qVZ  
    QQ:2987619807 )i~AXBt}  
     
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