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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) ;HPQhN_  
    IV5B5Q'D  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 lwU$*?yv  
    (p FPuV  
    1. 描述 l1h;ng6  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 GvCB3z  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 j.FW*iX1C  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 *Ou)P9~-L  
    x/pM.NZF1  
    2. 系统 S|pMX87R  
    g,0u_$U  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    lW!}OzE(m  
    3. 透镜系统组件编辑 =QiVcw,G#  
    C25r3bj  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 GkT:7`|C  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 y ;$8C  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 6_s_2cr  
    包括序列光学表面和光学介质。 HZH zjrx  
    APC,p,"  
    E(;V.=I  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 bJz}\[z  
    q*^F"D:?k  
    [= GVK  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 hLZ<h7:  
    可以选择选取光线的方法: @DYxDap{  
    — 在x-y-网格 qXH\e|  
    — 六边形 @4'bI)  
    — 自由选取 !p4y@U{  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    *r&q;ER  
    ygvX}q  
    5. 系统的3维视图 9b/7~w.  
    krw_1Mm  
    Bj ~bsT@a.  
    6. 其他系统参数 GomTec9.  
    系统由单色平面波照明 QX'EMyK$  
    照明波长266.08nm JE<zQf(&  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: /ox9m7Fz7  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Kf.G'v46  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 wQ4IQ!  
    光束尺寸探测器置于焦平面 (L{Kg U&{$  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 &@c?5Ie5  
    7q'_]$  
    '>}dqp{Wr  
    33{(IzL0  
    _m  *8f\  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Qe&K  
    Aj9Onz,Lg  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    :< )"G&  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    O%g%*9  
    M%3 \]&  
    d"1DE  
    VPKoBJ&  
    ^st.bzg+[  
    LxM.z1  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 \uumNpB*n  
    )]=1W  
    `ehZ(H}  
    VirtualLab可用于计算点列图。 jL|y4  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 M<A*{@4$w&  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 =*icCng  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 zH1pW(  
    &nc 0stuL  
    9. 焦平面上的结果 3H_mR j9th  
    ]kN<N0;\d  
    W-QBC- 3  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 aAlES< r  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 M*r/TT  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ^ lUV^%f  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 CDy *8<-&  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    an4^(SY  
    6N{V cfq  
    10. 总结 d$3;o&VUNI  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 >y2;sJ4]D%  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 qfO=_z ES  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 l1_Tr2A}7/  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 MWsjkI`  
    vZgV/?'z  
    i/&?e+i  
    QQ:2987619807 5}4f[   
     
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