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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) aEVBU  
    a|`Pg1j#  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 U[=VW0  
    c4oQ4  
    1. 描述 gmy$_4+6o  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 u~\u8X3  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 @.T '>;izr  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 FyX\S=  
    ["4h%{.  
    2. 系统 W~+ ] 7<  
    N;7Xt9l  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    >tnQuFKg]  
    3. 透镜系统组件编辑 Mo|[Muj8b  
    V} Y %9V  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Y  9]  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 9D++SU2 :}  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 W~E%Eq3  
    包括序列光学表面和光学介质。 >S3iP?V7  
    `uy)][j-  
    6wx;grt'Z  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 *z;4. OX  
    -`gqA%#+  
    yTwv2l;U  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 b[Sd$ACd  
    可以选择选取光线的方法: $-m@cObw!.  
    — 在x-y-网格 >4`("#  
    — 六边形 b;#3X)  
    — 自由选取 z9pv|  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    [!p>Id  
    wq!Gj]B  
    5. 系统的3维视图 "Q6oPDX(  
    @6 uB78U4O  
    eWSA  
    6. 其他系统参数 Ehu^_HZ  
    系统由单色平面波照明 [ !/u,  
    照明波长266.08nm Y&KI/]ly,L  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: I~?D^   
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (:Rj:8{  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 wgxr8;8`q  
    光束尺寸探测器置于焦平面 T;qP"KWZ  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 t7tX<|aN  
    TJ8IYo| D  
    0]=|3-n  
    wl H6  
    =#dW^ ?p  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 13wO6tS k  
    M_*"g>Z  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    iTF`sjL  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    XQ]noaU  
    UXwnE@`F  
    9`Bmop  
    .6aC2A]es  
    @igr~hJ  
    HpY-7QTPJ~  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 S[(Tpk2_  
    :UM>`Y  
    |l)SX\Qf`@  
    VirtualLab可用于计算点列图。 2%UzCK  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 -qaJ@T+J+7  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 O_}R~p  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色  |`[0U  
    .1<QB{4~v  
    9. 焦平面上的结果 n4,b?-E>(  
    _|reo6  
    F,+nj?i!  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 q ww*  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 wb~B Y  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ){^o"A?-:  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 4{4VC"fa  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    4FUY1p  
    x6Zhw9RV  
    10. 总结 XE8>& & X  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @=JOAo  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 j=b?WNK  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 $P'Y  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 vOIK6-   
    sI\v}$(~  
    bQd'objpY  
    QQ:2987619807 .kKU MyW(  
     
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