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    [分享]极紫外投影光刻光学系统 [复制链接]

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    在线gangzi0801
    技术专家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-06
    关键词： 光刻光学系统光学设计
    摘要：极紫外光刻(EUVL)是半导体工业实现32～16nm技术节点的候选技术，而极紫外曝光光学系统是EUVL的核心部件，它主要由照明系统和微缩投影物镜组成。本文介绍了国内外现有的EUVL实验样机及其系统参数特性；总结了EUVL光学系统设计原则，分别综述了EUVL投影光学系统和照明光学系统的设计要求；描述了EUVL投影曝光系统及照明系统的设计方法；重点讨论了适用于22nm节点的EUVL非球面六镜投影光学系统，指出了改善EUVL照明均匀性的方法。 "85)2*+  
    7z\ #"~(.  
    关键词：极紫外光刻；投影光学系统；照明光学系统；光学设计
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    共2条评分 ，光币+11
    mang2004 光币 +6 - 2021-01-10
    cyqdesign 光币 +5 - 2020-12-06
     
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    离线zszp
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-12-06
    感兴趣 顶顶顶
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    离线zszp
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-12-06
    回 zszp 的帖子
    zszp:感兴趣 顶顶顶 (2020-12-06 14:57)  'X4)2iFV  
    7@k3-?q  
    楼主 RAR 文件下载下来无法打开
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    离线天蓝色3230
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    只看该作者 3楼 发表于: 2020-12-06
    谢谢分享。
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    离线天蓝色3230
    工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 2020-12-06
    回 zszp 的帖子
    zszp:楼主 RAR 文件下载下来无法打开  (2020-12-06 14:59)  K_.|FEV  
    z-sq9Qp&x  
    我下载了，压缩文件能正常解压呀，是不是你的网络有问题，传输错误了。
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    离线mang2004
    论坛版主
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    只看该作者 5楼 发表于: 2020-12-07
    谢谢分享
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    在线optifdtd
    技术专家
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    只看该作者 6楼 发表于: 2020-12-07
    学习一下。。。。。。
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    在线optifdtd
    技术专家
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    只看该作者 7楼 发表于: 2020-12-07
    不错的论文。。。。。。
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    离线opmeman
    认证会员
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    只看该作者 8楼 发表于: 2020-12-07
    学习下光科技术哈
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    在线legendlyy
    高级工程师
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    只看该作者 9楼 发表于: 2020-12-07
    谢谢分享
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