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测量系统(MSY.0001 v1.1) 9Ns%<FRO@ }lq$Fi/ 应用示例简述 \|4F?Y m<;MOS 1. 系统说明 uzp\<\d-t TL-ALtG 光源 +,i_G?eX — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) l4I',79l 元件 8@6*d.+e — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Ir-
1@_1Q 探测器 OzxiT + — 干涉条纹 b
ts*qx&) 建模/设计 XCez5Q1 — 光线追迹:初始系统概览 `$JOFLa — 几何场追迹加(GFT+): a@? Bv 计算干涉条纹。 hy~KY6Ta 分析对齐误差的影响。 ,W]}mqV%.' :efDPNm5 2. 系统说明 mEb`ET| h,/3} 参考光路 'I[xZu/8yg  ~X;sa,)L1+ 3. 建模/设计结果 S4E@wLi pUgas?e& 0'zjPE# 4. 总结 J|z ' <W 6Tq2WZ}<' 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 5mZ9rLn :X 1Y 1. 仿真 =wl0 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Aq$o&t 2. 计算 |>Pv2 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 LG?b]'# 3. 研究 0U2dNLc 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 '?$<k@mJW S;{[];
利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 k$,y1hH;f8 Ml_!)b 应用示例详细内容 0.wN&:I8t 系统参数 \qJ^n % 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 1-G-p:| BK.RYSN 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 UwDoueXs $BOIa 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 L[:M[,?=` d%1Vby 2. 说明:光源 Yp$@i20 'f.5hX(Y J =#9eW 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 !:D,|k\m 因此,相干长度大于1m ;|CG9|p 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 +C4NhA2 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 I=8MLv 8KzH
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z9zo5Xc= 1| xKb(_l 3. 说明:光源 G?+]BIiL c+<gc:#jy fp"GdkO#}i 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 \=@4F^U7` 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ?zK>[L 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Nw3IDy~T 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 j)jt&Gg' 4. 说明:光学元件 T%2%*oa 2\[
Q{T=Qe 5=.mg6: 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 M[&p[P@ 位相延迟平板材料为N-BK7。 Wp=&nh 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 9sB LCZ 透镜材料为N-BK7。 U9//m=_ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 p;vrPS h)?Km{u% l @r`NFWD@ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ^aL> /'Y#| ,,Vuvn !p70g0+ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 MPJ0>Ly 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 S%w67sGl4n 9OM&&Ue<E 6. 分光器的设置 I]N!cEr;@- x1QL!MB R!_1 *H$ ?)"v~vs 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 R
#m1Aa 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 FVoKNaK- 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 ' ]vMOGG 9!vimu) 7. 合束器的设置 Um
I,?p g7]g0*gxXW ?Q}3X-xy `>{S?t< 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 ZF;s`K) 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 C3 (PI,, [N*`3UZk" 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ltmD=-]G_ !Y]%U @4} jD_B&MQz 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 #0/^v* 应用示例详细内容 ~ouRDO 仿真&结果 AKKVd%
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4A!Y 1. 结果:利用光线追迹分析 ny+_&l^R~( v|YJ2q?19 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 >4AwjS}H 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 Yk#$-"c/a <p8>"~R 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 hHqsI`7c SCD;(I~4 \!'K#%]9 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 4fdO Ow 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 ;F>I+l_X 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 %Z#[{yuFs ^NOy:> 3. 对准误差的影响:元件倾斜 |#(g8ua7 *",
BP]] 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 h>jp.%oOu 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 A/*h[N+2! 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 'd|E>8fejG 3})0p 4. 对准误差的影响:元件平移 /pnQKy. PhC{Gg 元件移动影响的研究,如球面透镜。 8*yky 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 mi{ r7.e5I 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 B?<Z(d7 ,zrShliU 3`Q>s;DjIU 5. 总结
5v-o2 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Jl^THoEL u:O6MO9^ 4. 仿真 >CPoeIHK 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ( 0Z3Ksfj1 Rk52K*Dc 5. 计算 v_ W03\ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Kkz2N p`LPO 6. 研究 pNR69/wGi 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 &T/}|3S @V#
wYt 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 $ *^E b'~IFNt*^ 扩展阅读 }x}JzA+2 _7 9 ?,U] 1. 扩展阅读 >c:- ;( k 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 f Tc,"{ jF%[.n[BU 开始视频 2wG4" - 光路图介绍 4 jeUYkJUM - 参数运行介绍 `` mi9E - 参数优化介绍 #NLLlEE 其他测量系统示例: N8:&v - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) ,\RxKSU dd%-bI^ 2Md'<. QQ:2987619807 w~(x*R}
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