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测量系统(MSY.0001 v1.1) 3l41r[\ )aO!cQ{s 应用示例简述 *1;L,*J"| ]"7El;2z 1. 系统说明 Y
}g6IK} :W1tIB 光源 8?]%Qi — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) +q>C}9s3 元件 aNh1e^j — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 +O%a:d% 探测器 yp7,^l — 干涉条纹 )l/C_WEK 建模/设计 { U2|): — 光线追迹:初始系统概览 q@=#`74 6e — 几何场追迹加(GFT+): Mz#S5 s 计算干涉条纹。 P St|!GST 分析对齐误差的影响。 w{UKoU ( Nve5 2. 系统说明 .bl/At3A r+WPQ`Ar 参考光路 ;z=C^' 1Y"y!\t7G 3. 建模/设计结果 *1 eTf P^W$qy| \6PIw-) 4. 总结 d4rJ?qw fCo2".Tk 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 X+G*Q}5 [8(9.6f 1. 仿真 ?VHwYD.B 以光线追迹对干涉仪的仿真。 mf_9O 2. 计算 )6S}O*
1 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 h4xf%vA(; 3. 研究 TuhL: 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ;`Ch2b1+ 70l;**"4 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 V,%5
hl'& 4% .2= 应用示例详细内容 Z.#glmw^=R 系统参数 rG'k<X~7 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 i /U{dzZ ~\(>m=|C:H 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 MnsWB[ %>}7$Y% 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ~5?n&pF vnOF$6n 2. 说明:光源 ]3cf}Au m l
\yc' Y:Tt$EQ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。
"S} hcAL/ 因此,相干长度大于1m aD`e]K ^L 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Ljs(<Gm)- 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 G
U/k^Qy ATkqzE`; X-^Oz@.> y#W8] <dS" 3. 说明:光源 e?fjX- AxQ/ GM92yi!8 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 G#M]\)f% 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 mq}
#{ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Q%h
o[KU 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 25KZe s) 4. 说明:光学元件 #>oO[uaY $f\-.7OD ?5M2DLh~ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 )y Y;% 位相延迟平板材料为N-BK7。
T8oASg! 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 id9T[^h 透镜材料为N-BK7。 M:M<bz Vu 其中心厚度与位相平板厚度相等。 t;6/bT- =jHy6)6w 0`=?ig_ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 c9k,Dc K 6Ua~N^ )&-+:u0 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 .U
{JI\ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 sP8B?Tn1W 7 {<lH%Tn 6. 分光器的设置 7 4UE-H) JC3)G/m(03 :.^rWCL2 1(a\$Di 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 )QT+;P. 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 3E9j%sYk 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 ShxX[k V&85<Y%Nl| 7. 合束器的设置 /y@iaptC =Q/i<u Wn5]2D\vkT 8tk`1E8!j 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 $Q4b~ 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 C I0^eaFs mer{Jys 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 2
{0VyLx :r=_\? 0:p#%Nvg 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 "f+2_8%s+ 应用示例详细内容 {5`?0+ 仿真&结果 c^%k1pae( &n
wg$z{Y 1. 结果:利用光线追迹分析 yFqC-t-i Ckp=d 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 /;1FZ<zU 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 $Tza<nA bHM
.&4G
2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 %{"STbO #> 6h%(0=^ h'+ swPh 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 Y'9deX+ 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 @ So"(^ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 d8I/7
;F X w8Yff[o 3. 对准误差的影响:元件倾斜 '
r/1+. DSp@ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 JZ
[&: 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 25r=Xv 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 EQ -\tWY !/SFEL@_B 4. 对准误差的影响:元件平移 QNY{pk V
Euv 元件移动影响的研究,如球面透镜。 P<~y$B 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 HYS7=[hv6 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 &V$R@~x 5o*x?P!$ ececN{U/ 5. 总结 ;Xns 9 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 .xx9tP}Xy n>'}tT)U 4. 仿真 p*Cbe\ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 e[n>U@ ge|}'QKow 5. 计算 9^n
]qg^ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 H{8\<E:V+} p5\b&~
g 6. 研究 LCtm@oN 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ?a%
u=G {<lV=0] 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 'E9jv4E$n e j~ /sO 扩展阅读 e M}Xn^} Tym!7H2 1. 扩展阅读 J7H1<\=cJb 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 q!n|Ju< PuWF:'w r 开始视频 6m9Z5:xG - 光路图介绍 .Kx5Kh{ - 参数运行介绍 3HD=)k - 参数优化介绍 >}iYZ[ V 其他测量系统示例: YeQX13C"Z - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) Kf*+Ilq%L No?pv" pVr,WTr6E QQ:2987619807 AbB%osz}Ed
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