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测量系统(MSY.0001 v1.1) UO4z~ irF+(&q]jh 应用示例简述 4uE|$ j7yUya& 1. 系统说明 &0RKNpwg Vc!'=&* 光源 8fA8@O} — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) h~5gHx/a 元件 A7R [~ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 1s-=zs 探测器 46D_K — 干涉条纹 u9j1>QU 建模/设计
]iry'eljy — 光线追迹:初始系统概览 Oid;s!-S 6 — 几何场追迹加(GFT+): zxC~a97` 计算干涉条纹。 wUKt$_]`` 分析对齐误差的影响。 G]T&{3g-. G;AJBs>Y} 2. 系统说明 G2w0r,[ bKQ_{cR 参考光路 B4{F)Zb  FW:V<{f 3. 建模/设计结果 lyw)4;wt\ I]Ws
[/U5M>#n 4. 总结 4[rX\?^e :'Tq5kE 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 nZ4@g@e2 #Yx
/ubg6 1. 仿真 8TCbEPS@Q 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Da
]zbz%% 2. 计算 H8h,JBg5<F 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 >:|jds# 3. 研究 o,!W,sx_ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Q1RUmIe_& vz^=o' 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 K~A@>~vFb ~j[mM E} 应用示例详细内容 t;W'<.m_ 系统参数 rTzXRMv@o 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 D
4<,YBvV -SF50.[ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ]u47]L# w_*$wVl 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ,e{1l $?y\3GX 2. 说明:光源 & sgzSX %";ap8J04F e?<$H\ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 qU^`fIa 因此,相干长度大于1m }i52MI1-XP 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 8*EqG5OP 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ?tkd5kE 9,$
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p{;FO? ?:Rw[T@
l 3. 说明:光源 K}QZdN'] K QCF " .=@CF8ArG 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 |z`AIScT 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 %D>cY! 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 h%] D[g 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 UxvT|~" 4. 说明:光学元件 `86})xz{ !wIrI/P7# v\-7sgZR 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 07>Iq8<mu 位相延迟平板材料为N-BK7。 nxs'qX(D 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 d+]/0J!c 透镜材料为N-BK7。 WB\chb%ej# 其中心厚度与位相平板厚度相等。 _^p\
u G`z=qa j CUx[LZR7m 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 4B@Ir)^(* Nx<fj=VJ ap[Q'=A` 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 bEb+oRI 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 {=, +;/0 p*~b5'+ C+ 6. 分光器的设置 T_oL/x_; ?;DzWCL~9 M8|kmF\B J"Nn.iVq 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 {$'oKJy* 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 %
{A%SDh 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 d>Ky(wS +[Q`I*C 7. 合束器的设置 2Jqr"|sw vO8CT-) ~/;shs<9EM URMxCL^" 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 Z>hGqFZ0{ 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 xn}HB a4eE/1 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 6eW9+5oL D3x
W?$Z .> ^U
mM 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 BHDd^bd 应用示例详细内容 }XfRKGQw 仿真&结果 **F-#", ]_2<uK}fg 1. 结果:利用光线追迹分析 $aj:\A0f cL:hjr" 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 I GB) 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 >7 qZ\# L4{+@T1A[ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 /\5u-o) j4E`O%@^ |],ocAN{ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 qnnP*15` 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 .p-T > 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 o_PQ]1 B2,JfKk/ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 td|O #R @<B$LJ|jdG 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 j_}f6d/h 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 z`Xc] cPi 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 3'[
g2JR rG{,8* 4. 对准误差的影响:元件平移 $i$Z+-W4' |/;X-+f8 元件移动影响的研究,如球面透镜。 $%"~.L4 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 zOMU&;.\
结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 94L>%{59 -\M;bQV[C 2,G9~<t 5. 总结 og|~:>FmJo 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 +EM^ ?xtP\~ 4. 仿真 "K#zY~>L 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Ky)*6QOw Hq "l` 5. 计算 h2vD*W 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 `D0Hu!; 2E0$R%\ 6. 研究 YfVZ59l4y6 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 W_h!Puj_ y\< |