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测量系统(MSY.0001 v1.1) z,c=."<z %6E:SI4 应用示例简述 %,f(jQfg_ lt& c/xi_ 1. 系统说明 x\5v^$ fF.sT7Az+ 光源 T[%@B" — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) X1o=rT 元件 MR/gLm(8( — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Zb$P`~(% 探测器 &VT O9d — 干涉条纹
>f*Zf(F 建模/设计 Le*gdoW . — 光线追迹:初始系统概览 !YIW8SP) — 几何场追迹加(GFT+): U:uFrb, 计算干涉条纹。 f}cCnJK 分析对齐误差的影响。 z4 KKt& 30{WGc@l# 2. 系统说明 e@{Rlz G<Y}QhFU 参考光路 kHd`k.nW  3M5wF6nY[[ 3. 建模/设计结果 dWiX_&g ` NCH^) 9}z%+t8u 4. 总结 4P^CqD&i m.Ki4NUm 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 $y,tR.5.)[ bp>M&1^KY 1. 仿真 sE! $3|Q 以光线追迹对干涉仪的仿真。 a LJ
d1Q 2. 计算 R7/ET" 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 mq+<2 S 3. 研究 \{;3'< 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 $Z<x r $^`@ lyr 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 a V#phP 0A')zKik 应用示例详细内容 96i# 系统参数 .1jeD.l 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 tv%B=E!r </D )i 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 m^>v~Q~~ F
h+g@ u6 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 m(IyW734I LvNulMEK 2. 说明:光源 _ O;R #Ve@D@d[ {_UOS8j7 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 =b#:j:r 因此,相干长度大于1m WJy\{YAG 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Dq+S'x~> 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 8~AL+*hn v(p<88.!m
QypUBf 3EH7HW 3. 说明:光源 ;*cCaB0u BT"n;L?[ 2^y*O 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 D+y?KihE 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 #U.6HBuQa 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 V/BU(`~i 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 v {)8QF] 4. 说明:光学元件 )j. .)o -Eoq#ULvR WWT1_&0 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 !o\e/HGc! 位相延迟平板材料为N-BK7。 *z&hXYm 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 yw >Frb5p 透镜材料为N-BK7。 6pbtE] 其中心厚度与位相平板厚度相等。 " -S@R=bi J~AmRo0!k A45!hhf 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 &Qq| 4+MaV<!tU^ G\K!7k`)! 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 K94bM5O 1 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 v1p^="IHI 5YYBX\MV 6. 分光器的设置 %Z*N /nU ~ 1~|/WG |)S*RQb\ )FN$Jlo
为实现光束分束,采用理想光束分束器。 49YN@PXC 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 kW=!RX[& 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 iXL?ic ?C']R(fQ\ 7. 合束器的设置 y-{?0mLq D"exI] }ld^zyL 6Ad=#MM 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 t9)S^: 0 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 i&{%}==7 [Y.=bfV! 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 [S9"' ^H TX;)}\ ^0-e.@ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 5v^tPGg4 应用示例详细内容 ja6V*CWb 仿真&结果 qg:EN~E# :6]qr 86 1. 结果:利用光线追迹分析 ]E6r)C 0{ 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 GJF &id 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 ]r'D (T%Ue2zlY 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 $9@AwS@Uu :(@P
*"j VfozqUf 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 iB` EJftI! 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 G #M0
C>n 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 &x;n^W;# sPXjU5uq# 3. 对准误差的影响:元件倾斜 )sNPWn8<Uy =T\=,B 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 3_`)QYU' 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 /nn~&OU 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 mxpj<^n} |* ^LsuFb 4. 对准误差的影响:元件平移 :wG
) Y B,c=Wx 元件移动影响的研究,如球面透镜。 uB#U(
jl 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 -y{(h%6 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 '.M4yif\g (w:,iw# n1PBpM9! 5. 总结 e<*qaUI 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 V )1.)XC Ow.DBL)x'> 4. 仿真 +I3O/=) 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ?c+$9 =,h'}(z_ 5. 计算 4 Yv:\c 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 T\g+w\N 841 y"@*BY 6. 研究 XH@(V4J(. 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 |xg_z&dX 9[;da 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 RV);^, b ,B_c 扩展阅读 YB<nz<;JR EmR82^_: 1. 扩展阅读 wDGb h= 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 gPT_}#_GxM =&,T@5&-= 开始视频 NkO+)= - 光路图介绍 6@t& - 参数运行介绍 X^K^az&L - 参数优化介绍 ~J&-~<%P} 其他测量系统示例: p6K ~b - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) &)gc{(4$ 3Ovx)qKxd nc\`y,>l8 QQ:2987619807 I`H&b&
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