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测量系统(MSY.0001 v1.1) m339Y2%= 4q\bnt 应用示例简述 DJf!{:b) *_7%n-k 1. 系统说明 DZ Q=Sinry _}-Ed,.= 光源 vmZyvJSE — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) /^<Uy3F[p 元件 Sq,x57- — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 -(]s!, 探测器 8/dx)*JCq — 干涉条纹 WD7IF+v 建模/设计 td#B$$[ — 光线追迹:初始系统概览 nuip — 几何场追迹加(GFT+): /G h?z 计算干涉条纹。 Qs5^kddz= 分析对齐误差的影响。 69$[yt>KYz OWRT6R4v 2. 系统说明 CQx#Xp>=s @H^Yf 参考光路 a.yCd/  _c4kj 3. 建模/设计结果 $Dm2>:Dmt OF)G2>t $kA'9Y 4. 总结 EBX+fzjQo Z4 +6' 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 A+&^As2 :"9P {xe^ 1. 仿真 AD=vYDR+ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 N1 }#6YNw 2. 计算 MM*B.y~TxZ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 8(Ab
NQ 3. 研究 ShV#XnQ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 U2u\Q1 ,MxTT!9Su 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 3S~Gi, $-}a<UFE; 应用示例详细内容 <n)J~B^ 系统参数 [%alnY 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 -<[MM2Y }j/($, 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ]c.1&OB7o +$-@8,F> 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 i*Wekr3Wo *t JgQ[ 2. 说明:光源 :4f>S)m 9BJP|L%q Be=J*D!E=> 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 G>/Gw90E 因此,相干长度大于1m 0GtL6M@pP 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Z-fQ{&a{ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 p=7{ 4'ym vR
.>Gnb2
}Ss]/_t 3. 说明:光源 *f[nge&. QxSJLi7t mUmU_L u8 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 hGPo{>xR 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 e'FBV[e 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 F%t_9S,)O 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 &Hb;; Ic( 4. 说明:光学元件 G,#]`W@qhK X0\2q D `K ,{Y_ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 H]6i1j 位相延迟平板材料为N-BK7。 _.9):i2<SF 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 b) k\?'j 透镜材料为N-BK7。 [z2XK4\e1T 其中心厚度与位相平板厚度相等。 g[Z$\A?ZbZ p(jY2&g \{Qd 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 .^aakM |Va*=@&6J yqaLqZ$ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 KW* 2'C& 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 qqL :#]lV5 Gb=pQ( n4 6. 分光器的设置 c>_tV3TDA D5o[z:V7" \~sc6ho DqfWu* 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 ?ztI8I/ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 wLF;nzv 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 ~$I9%z7@ rBOxI 7. 合束器的设置 p#5U[@TK S}O>@% @/MI
Oxg[ g*]hmkYe9 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 Vs[A 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 RcZg/{[{ Dl
a }-A: 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ?IKSSe#, WH>= *\ ~4 ~c+^PF 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 I~^t\iujs 应用示例详细内容 dRdI(' 仿真&结果 y:Wq;xEiDo 7Ei,L[{\i# 1. 结果:利用光线追迹分析 wbIgZ]o!/; @q98ac*{ 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 B0h|Y.S8%1 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 I_1(jaY (yx^zW7 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 _Sq*m= 9HsiAi* q,i&% 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 .wU0F 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 HT`k-}ho, 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 J?wCqA GI se|[p 3. 对准误差的影响:元件倾斜 < |