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测量系统(MSY.0001 v1.1) 02(h={ rmsQt
应用示例简述 1&|
p3 e|j 1. 系统说明 oXdel
Ju? W+K.r?G<j 光源 iKhH ^V%j — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 1\y@E 元件 9)Ly}Kzx — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 1 =^ 探测器 /9Z!p — 干涉条纹 ?~Pv3'%d 建模/设计 @7%.7LK — 光线追迹:初始系统概览 2$tQ @r — 几何场追迹加(GFT+): ]
opto 计算干涉条纹。 $~G@ 分析对齐误差的影响。 0yaMe@&, `w+1C&>^[ 2. 系统说明 |kc@L`7s l~D\;F 参考光路 e8-ehs>  lov%V*tL 3. 建模/设计结果 SB/3jH z0
\N{rP& I|T7+{5z 4. 总结 -=a[J;'q YQ7@D]# 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 V'I T1~ X8Fzs!L` 1. 仿真 Pj&A= 以光线追迹对干涉仪的仿真。 `;cz;" 2. 计算 tDt
:^Bc 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 6OtVaT=}<O 3. 研究 GyK(Vb"h6 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 bcn7,ht ]Jn2Ra"j 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 @vt$MiOi #x)8f3I 应用示例详细内容 Mg\TH./Y: 系统参数 $UC {"0 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 $w/E9EJ)3A #ouE r-= 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 wDKELQ(yH kC`Rd:5 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 \c%g M1 ?
|VysJ 2. 说明:光源 /[{auUxSX F&az": RX>2~^ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ?Oc
- aa 因此,相干长度大于1m RB;BQoGX 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 CmnHh~% 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 l'uOORI p9iu:MucD<
N}mh} 7&|6KN}c 3. 说明:光源 v2>Z^ M*`hDdS 8UM0vNk 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 #xp(B5 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ~OCZz$qA 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ]0-<> 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 YPEnNt+ 4. 说明:光学元件 D/:3RZF VB"(9O] H1&RI4XC 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 _ZyT3P& 位相延迟平板材料为N-BK7。 0T9.M( 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 pkk4h2Ah 透镜材料为N-BK7。 -?fR|[\[U 其中心厚度与位相平板厚度相等。 N|Habua<Xw Y;_T=L ^l(^z fsZ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 s)w9% A ~&+F>Z Z@M6!;y# 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 N RSU+D-z 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 bV6V02RF bVK$.*, 6. 分光器的设置 R=$Ls6z "+h/-2rA yU_9a[$V T*+A.G@L" 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 '[0YIn 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 @i1q]0 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 -nR\,+N bEI!Ja 7. 合束器的设置 U^ ?=
0+ (U9a@1 Oy$<QXj/ |GuEGmR 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 $$4W}Ug3U 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 RxG^ P%)b+H{$h 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 <L&eh&4c %\I.DEYH [cpNiw4e 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 XTo8,'UaP 应用示例详细内容 d)KF3oA 仿真&结果 i!,HB|wQ v8'5pLt" 1. 结果:利用光线追迹分析 ;J=:IEk .
#U}q 7X 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 "&-C$J5
Id 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 JXm?2/ d+5:Qrr 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 D^$OCj\ oD0EOT/E K\^&+7&zVg 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 [@2s&Ct; 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 o5 WW{)Q 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 hk;bk?:m 784;]wdy\ 3. 对准误差的影响:元件倾斜
TQ' e :Tb7r6 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 w1i?#!| 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 dtTlIhh1V 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 N-%#\rPq. }cW#045es 4. 对准误差的影响:元件平移 tcOnM w $?f]ZyZr. 元件移动影响的研究,如球面透镜。 sN]Z
#7 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 sTOFw;v% 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 O<X
)p`,` ?Ib} g1V)$s7 5. 总结 +^gO/0 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 %wW'!p-< ^PQM;" 4. 仿真 or.\)(m#( 以光线追迹对干涉仪的仿真。 xA-jvu9@ -tyaE 5. 计算 ]M\q0>HoJ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 e5OVq
, U>A6eWhH 6. 研究 P`
]ps?l 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 j_c+.iET VDn:SGj5 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 JqEb;NiP)5 XhA4:t 扩展阅读 MYx88y $W, zO|- 1. 扩展阅读 x4 hO$3o 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 #Fzb8Yo ]]y[t|6 开始视频 [q"NU&SX - 光路图介绍 QgZJ`G-- - 参数运行介绍 uO"8aD`W - 参数优化介绍 PWG;&ma 其他测量系统示例: Wr#~GFg - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) G?ZC9w]rA '!@A}&] Tk](eQsy.v QQ:2987619807 k=|K|
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