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测量系统(MSY.0001 v1.1) \*Ts)EW Enu!u~1]F 应用示例简述 \Vz,wy%- W
w^7^q& 1. 系统说明 *h:D|4oJ( 7oD
y7nV4 光源 *|^,DGfQ6 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ;*nh=w 元件 3hH>U%`- — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 %pH)paRAP 探测器 C/bxfp{? — 干涉条纹 *^uGvJXF 建模/设计 H<$pHyxU — 光线追迹:初始系统概览 ~Po\ En — 几何场追迹加(GFT+): WejyYqr34- 计算干涉条纹。 MCM/=M'y 分析对齐误差的影响。 gt~9"I [;*\P\Xih 2. 系统说明 &yB%QX{3 y2GQN:X 参考光路 gU~
L@R_D  (x}A_i 3. 建模/设计结果 b-2pzcK{# k]t,q$Vd 8~;{xYN ) 4. 总结 U&`6&$] Ywmyr[Uh' 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 YXgWH'i~ J9NsHr:A[ 1. 仿真 J`4Z<b53 以光线追迹对干涉仪的仿真。 0T(O'v}. 2. 计算 ix:2Z- 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 '^8g9E.4K 3. 研究 c$.UE 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 E2h(w_l HJc<Gwm 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 +I*k0"gj6 G aha Z
F 应用示例详细内容 "pOqd8>] 系统参数 ?0 HR(N(z! 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 w8G7Jy >ze>Xr'm5= 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 R_t~UTfI; +d.u##$ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Rk}\)r\ 2TE\4j 2. 说明:光源 3xRM
1GgO 3gC\{y!8 1aBD^^Y 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 SRP5P,- y 因此,相干长度大于1m kZJt~} 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 T@B"BoKU 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Vp|2w lFE- 0Ulxp
Ii|uGxEc ~&t!$ 3. 说明:光源 $$k7_rs >?^~s(t h1n*WQ- 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 mYntU^4f 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 yb[{aL^4% 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 976E3u"Vt 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 B0 6s6Q 4. 说明:光学元件 C/SapX UAnB=L,.\ kTr6{9L 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 @~JB\j9 位相延迟平板材料为N-BK7。 Rbx97(wK 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 n/ui<&( 透镜材料为N-BK7。 CW.&Y?>Tv 其中心厚度与位相平板厚度相等。 >L#];| <]Ij(+J; jVLY!7Z4 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 `Af{H/qiI qXXYF>Z- D-'i G%)kA 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 N7d17c.
5 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 pw0Px u)<Ysx8G 6. 分光器的设置 *rS9eej 8:Z@ lp^ ck(CA(_ szf"|k! 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 .}IK}A/- 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 G>
f^ 2 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 'CP/ym f/a 9V|E1-")E 7. 合束器的设置 LXBbz;vYl uPa/,"p clh3 p:DL:^zx 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 )B-MPuB 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 )2iM<-uB jA20c(O 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ^n\9AE3 \(.nPW]9 BNAguAxWo 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 {DKXn`V 应用示例详细内容 @5{.K/s 仿真&结果 kvMk:. <'PR;g^# 1. 结果:利用光线追迹分析 bYwI==3 o|R*POM 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 -ET*M< 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 }*fW!(* CL)1Q 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 aukk|/3Ih D6&mf2'u b*I&k": 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 3v8V*48B$ 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 MgJ%26TZ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 /'8*aUa Uq<a22t@ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 =]_d pE EQ an*]62 l 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 @<@R=aqE 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 Wrf^O2 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 Tf&f`/ /|4Q9= 4. 对准误差的影响:元件平移 uE,i-g0$Id WUE)SVf 元件移动影响的研究,如球面透镜。 c,#~L7 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 "E@NZ*"u 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 e3yorQ][ )bB"12Z|8 O:oU`vE 5. 总结 Ze$^UR 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 u4b3bH9U b
xk'a,!S 4. 仿真 ]y1$F
Ir+ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ?~VWW<lR B-y0;0 5. 计算 ;,F-6RNj 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 aJuj7y- N>&{Wl'y \ 6. 研究 VYl_U?D 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ,\sR;=svK Bo](n*i 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 *6 z'+' ,_"7|z wb 扩展阅读 vh1
Ma<cx bm|Jb"T0b 1. 扩展阅读 "K}W^J9v 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 'Yaf\Hp %fn'iKCB 开始视频 mJ6t.%'d - 光路图介绍 ~>}dse - 参数运行介绍 Sah<sb= - 参数优化介绍 n}AR/3} 其他测量系统示例: Q{H!s_6iyv - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) .NV)hg)|cZ }<5\O*kX4 FT*yso:X/ QQ:2987619807 U(S@1i(
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