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测量系统(MSY.0001 v1.1) U1:m=!S;x ;[ QIHA! 应用示例简述 ,C6( +(DzE
H | 1. 系统说明 3YLK?X8 Ct `)R 光源 )s>|;K{ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) FZgf"XM> 元件 \Yj_U'2"i — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 L&+k`b 探测器 x9F* $G — 干涉条纹 Mcc%&j 建模/设计 /HUT6B — 光线追迹:初始系统概览 }uMu8)Q — 几何场追迹加(GFT+): w(bvs&`{uC 计算干涉条纹。 J <z
^C 分析对齐误差的影响。 tfHr'Qy BC jy~hLEt7 2. 系统说明 @8 c@H#H _L)LyQD]T 参考光路 5dv|NLl  r2f%E:-0G 3. 建模/设计结果 |d&Kr0QIV ]foS.D, Fdl0V:< 4. 总结 @B0fRG y 5q4wREh 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ~Q"qz<WO rui 8x4c 1. 仿真 EiD41N 以光线追迹对干涉仪的仿真。 MX*4d{ l 2. 计算 I.t)sf, 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Gmu[UI}w8 3. 研究 IHW s<U 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 \gT({XU? }qGd*k0F0 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 M%jR`qVFg. yuq o ^i 应用示例详细内容 IRLAsb3 系统参数 N\s-{7K 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 <b~~X`Z KD\%B5Jy 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 V,zFHXO ?pQ0*
O0 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ~Q^.7.-T V9KRA 1 2. 说明:光源 `<@ "WSn a"}ndrc* ,W'P8C 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 .5SYN-@ 因此,相干长度大于1m w}/+3z 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Wt5pK[JV 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 owa&HW/_ '4GN%xi
HXh:83 <QgpePyoN 3. 说明:光源 \u6.*w5TI U
|eh +i /4G.=* 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ,ZYPffu<* 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 <D& Ep 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Q4Wz5n1yp7 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 CE
(zt 4. 说明:光学元件
jU 3ceXV g^:`h
VV ifWQwS/,a 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 -oZw+ge} 位相延迟平板材料为N-BK7。 $qpW?<>,0 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Z6So5r%wZ 透镜材料为N-BK7。 I(3YXv
VN 其中心厚度与位相平板厚度相等。 7#&Q-3\: mq}uq9< Z" l].\=
F 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 i6FJG\d 3k8nWT:wT mWP&N#vwh 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 [\ 0>@j}Z 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [Tvdchl OC 71IM`eL=ED 6. 分光器的设置 >,Zn~8&Z CCC9I8rZD c[3x>f0 $E8}||d 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 J}bLp
Z 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 @tRDKPh 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 A58P$#)? wrJ"(:VZ 7. 合束器的设置 L6jwJwD vXM{) osO\ib_% oBnes* 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 m.gv? 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 fG8^ |: JCB3 BZg7& 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 j5smmtM`s X-CoC
McbbEs=) 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 pFBK'NE 应用示例详细内容 m}beT~FT_ 仿真&结果 cUw$F{|W pOB<Bx5t 1. 结果:利用光线追迹分析 e?o/H 0\k{v 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 '!MKZKer 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 y\:Ma7V L|'B* 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 #op0|:/N J9J/3O
Q= ExFz@6@ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 ra@CouR^c{ 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 Uu Zjf9} 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 M D&7k,! pUu<0a^ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 >I;.q|T (*T$:/zIS 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 j(>xP*il 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 d\c)cgh% 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 g^jTdrW/s >oi?aD% 4. 对准误差的影响:元件平移 :+?rnb)N <<Z, 1{3F 元件移动影响的研究,如球面透镜。 I%<pS,p 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 ZC^NhgX 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 ^q|W@uG-( \W\*'C8q\ ^/}&z |