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测量系统(MSY.0001 v1.1) r>fx55dw F
Qtlo+3 应用示例简述 W,</ 1mT3$Z 1. 系统说明 #:rywz+ w+ZeVZv!r 光源 Uloa]X=Im8 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) %'2DEt?? 元件 SrMg=a — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 nic7RN?F< 探测器 CXqU<a& — 干涉条纹 l{U-$} 建模/设计 plL##?<D< — 光线追迹:初始系统概览 lq2P10j@ — 几何场追迹加(GFT+): .PyPU]w 计算干涉条纹。 9|yn{4E 分析对齐误差的影响。 `<I+(8]Uz B+:'Ld]( 2. 系统说明 x5q5<-# c(@V
t&gE 参考光路 B j!{JcM-^  .ztO._J7f 3. 建模/设计结果 ^l\U6$3 CRy;>UI ve|:z 4. 总结 8 VMe#41 K07b#`NF6 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 rzC\8Dd j6wdqa9!~ 1. 仿真 iN\D`9e 以光线追迹对干涉仪的仿真。 O][R"5d 2. 计算 ?+S jt 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 YEGRM$'` 3. 研究 P]*,955*) 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 k@1\ULo qsnZ?hXPp 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 H f}-> c#eV!fl>& 应用示例详细内容 R
+H0+omj 系统参数 AH$D./a 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 (ly4[G1y VUF^ r7e 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 %u"3&kOV .
IBy' 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 @y,pfWh` | /,XdTSy 2. 说明:光源
'UGkL; eR,ePyA; rwb7>]UI"d 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 a6AD`| U8 因此,相干长度大于1m XV"8R"u%Q 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 \XaKq8uE 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 m[~fT(NI ~>:uMXyV2t
\{W} FsI51@V72Q 3. 说明:光源 B5'-v%YO+ wO6
D\# 37Z@a!# 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 V=%j]`Os 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 +C4UM9 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 #*QnO\. 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 R
pUq#Y:a 4. 说明:光学元件 [=dK%7v .W[ 9G\ L4bx [ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 e nsou!l 位相延迟平板材料为N-BK7。 7`113`1 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 iT f]Pd' 透镜材料为N-BK7。 I<p- o/TP 其中心厚度与位相平板厚度相等。 E1 )7gio J&mZsa)4 DbRq,T 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 < |