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测量系统(MSY.0001 v1.1) ]$L5}pE3 Oe\(=R 应用示例简述 q{9 \hEeb H5Eso*v@ 1. 系统说明 !Ea >tQ| \O "`o4 光源 *`"+J_ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) =AzPAN#e 元件 hJ xL|5Uo — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 LJ
<pE;`d 探测器 E} XmZxHV — 干涉条纹 .8s-)I 建模/设计 1!(lpp — 光线追迹:初始系统概览 Wj,s/Yr: — 几何场追迹加(GFT+): uT,i& 计算干涉条纹。 M;<!C%K> 分析对齐误差的影响。 ^wBlQmW7J .kFO@: 2. 系统说明 O>pX(DS
L bC:sd2s 参考光路 WlQCP C  v}u]tl$, 3. 建模/设计结果 $]_SPu 6 :|;O +_fFRyu> 4. 总结 '(B -{}l !gW`xVGv 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 td7(444] %dPk,Ylz 1. 仿真 %Ve@DF8G 以光线追迹对干涉仪的仿真。 n',X,P0 2. 计算 )M0(vog 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 6k;5T 3. 研究 E<+ G5j 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 BH {z]a
'qT;Eht5 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 _f@,)n J@/4CSCR] 应用示例详细内容 ~*1>)P8]# 系统参数 ;6PU 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 t'eu>a1D [ K/l;Zd 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 T2Z$*;,>T ,V
52Fj 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 n~yHt/T -(TC' 2. 说明:光源 #3
E"Ame
sG#O s .Xp,|T 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 TfZ M0Wz 因此,相干长度大于1m q-Z<.GTq 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Vc9Bg2f5 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 heIys.p el5Pe{j'
o`Z3} kum@cA 3. 说明:光源 Td|,3
n #\X)|p2 Awfd0L;9 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 %52e^,// 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 $=\=80u/ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 0cB]:*W 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
'v Vt^h2 4. 说明:光学元件 %_:L_VD@ no-";{c
'{cND 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 U3Gg:onuE 位相延迟平板材料为N-BK7。 4`l$0m@> 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 _Ml?cT/J.O 透镜材料为N-BK7。 cG0)F%?X? 其中心厚度与位相平板厚度相等。 y]{b4e a7_Q8iMe 4S4MQ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 M/W9"N[ta _hV34:1F -]KgLgJ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 pSQ2wjps 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 , Zie2I?q HHw&BN |