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测量系统(MSY.0001 v1.1) 9@&Z`b_ ne%OTr4dD 应用示例简述 yK2*~T,6@ E'kQ 1. 系统说明 N<i Vs Xrzh*sp 光源 RX<^MzCDV — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) zR/p}Wu|! 元件 p?gLW/n — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 y<LwrrJ> 探测器 1V9X(uP — 干涉条纹 (NWN& 建模/设计 J?=Ob?+
_ — 光线追迹:初始系统概览 mWFZg.#? — 几何场追迹加(GFT+): i:Ct6[ 计算干涉条纹。 8GAQVe^$- 分析对齐误差的影响。 |&pz,"( \?ws0Ax 2. 系统说明 M6d w~0e rM?Dp2 参考光路 r.G/f{=<@  .j'IYlv/P 3. 建模/设计结果 rL+n$p
X- JFk|Uqs( KUqS(u 4. 总结 ,,j=RG_ z#
?w/NE 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 _!g
NF= .aH?H]^ 1. 仿真 qQRYHo>/e 以光线追迹对干涉仪的仿真。 f*&JfP 2. 计算 g~sNY|% 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 g~["O!K3 3. 研究 ifCGNvDR 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 5J#gJFA {%k;V ~ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 cj_?*
'\mZ7.Jj 应用示例详细内容 7T;RXrT 系统参数 `; %aQR 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 !P^$g
R uU!i`8 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ik NFW*p -&$%m)wN 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 `Qk
R MAo,PiYb 2. 说明:光源 BRLU&@G`1 !3v"7l{LF OQ*. ho 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 10a*7 L 因此,相干长度大于1m 2EcYO$R! 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ;xH'%W9z 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 aJ_Eh(cF JNg5?V;.U
VCtiZ4 ~:b~f]lO 3. 说明:光源 utS Mx( SF=|++b1f 5j01Mx
A 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 RtM.}wv; 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 g]Ny?61 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 hQxe0Pdt 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 _1%^ibn 4. 说明:光学元件 #_|^C(]! ;mxT>|z 5|t&qUV 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 <aD+Ki6 位相延迟平板材料为N-BK7。 3AL=*qq 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 $iJ
#%&D 透镜材料为N-BK7。 L%s""nP 其中心厚度与位相平板厚度相等。 "G)?
E| sb5kexGxkc sgsMlZ3/ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 U}Fk%Jj <Y6>L}; 'Em($A( 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 },ZL8l{ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 NVPYv#uK w2V E_ 6. 分光器的设置 =S +:qk ?`}U|]c 4Lb<#e13R? lV="IP^7 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 hlEvL 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 NtL?cWct 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 (o=iX,@'2 3=I Q 7. 合束器的设置 P=z':4,M} [0@i,7{ZqE K_.x(Z(;4 IrM3Uh 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 ,%<77LE 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 _RVXE
akwVU\RP 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ~vS.D r (U< |