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测量系统(MSY.0001 v1.1) QM]^@2rK2 Cnr48ukq 应用示例简述 Z4!3I@yZ zW _'sC 1. 系统说明 DI RCP=5 !v`=EF. 光源 3YRzBf:h — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) U_~~PCi 元件 a~|ge9?
( — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 #n"/9%35f` 探测器 )'g vaT — 干涉条纹 ^n]s}t}csV 建模/设计 3:(`#YY — 光线追迹:初始系统概览 6>Cubb> — 几何场追迹加(GFT+): 'nno)kQ" 计算干涉条纹。 `jHGNi 分析对齐误差的影响。 Vh8uE |3LMVN 2. 系统说明 ]*|K8&jxl \);rOqh 参考光路 4Rn i7qH  K0\WN"ua; 3. 建模/设计结果 Xwi&uyvU& y
^\8x^Eg Z7^}G=* 4. 总结 1#(1Bs6X f-<6T 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 SXEiyy[7v "->:6Oe2 1. 仿真 >g&`g}xZQ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 {E/TC% 2. 计算 FScQS.qF 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 +0 MKh 3. 研究 1 GdD 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Nz;;X\GI YYHm0pc 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Jy_'(hG &; \v_5N6 应用示例详细内容 f#5JAR 系统参数 Z-@}~#E 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Q6K)EwN o1Ln7r. 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ZAZCvN@5 F0Hbklr 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 T8-$[
2 D;]% 2. 说明:光源 nQ\k{%Q dK: " >Il`AR;D 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 cy 4'q?r 因此,相干长度大于1m dI-5%Um 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 QGd- 9UEA] 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 TeJ
`sJ {%{GZ
lG9ARRy(= )*ckJK 3. 说明:光源 DOe KW >U?Bka! !Yu-a! 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 1 1CJT 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 5H+k_U 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 .h,xBT`}Ji 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Wi^rnr'Ss 4. 说明:光学元件 s~
A8/YoU} ?LI9F7n dn_OfK 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 e-9unnk 位相延迟平板材料为N-BK7。 G:`Jrh 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 M%xL K7 透镜材料为N-BK7。 8F` 其中心厚度与位相平板厚度相等。 G4' U; 1i:g
/H +o]BjgG 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 'hO;sL ?bAFYF0!I 1 ],,
Ar5 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 acQNpT 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 bK\WdG\; DWQQ615i 6. 分光器的设置 e oSM@Isu @BUqQ9q: N+qLxk @T1+b"TC 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 ]31XX= 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 *)1Vs'!- 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 0WE1}.J< W'h0Zg 7. 合束器的设置 ^85n9a?8 FJ8@b m\M+pjz FLI8r: 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 %@n8
?l4 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 ([b!$o<v |qcFmy 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ^z}lGu c[_^bs>k !]+Z%ed`% 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 e>9Z:vY 应用示例详细内容 :5<9/ 仿真&结果 wZ8 MhE A]Tcj^# 1. 结果:利用光线追迹分析 fGf-fh;s 'z}M[h
K] 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 ywynx<Wg 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 [[]SkLZHg !{tiTA 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 ?4[Oh/]R _T|H69 J uk[< 6oxz 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 %m{.l4/!O 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 C]yQ "b 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 _b_?9b-)D U5CPkH1 3. 对准误差的影响:元件倾斜 {XD/8m(hN| X";ZUp 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 !Nl.Vb 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 h@;)dLo0z 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 OssR[$69 $@_t5?n``F 4. 对准误差的影响:元件平移 I+"?,Ej$K EEs-& 元件移动影响的研究,如球面透镜。 (;pi"/x[ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 dG-or 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 gFs/012{ Ft;u\KT 6Z&u 5. 总结 .3&a{IxM] 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 kg:
uGP9 R'I_xjC 4. 仿真 uR:=V9O 以光线追迹对干涉仪的仿真。 hzQ+9-qA +rsl(
08FY 5. 计算 {[,Wn: 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 %x}&=zx0*1 !/6\m!e|1R 6. 研究 ZEj!jWP2m 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 p2x1xv wD6!#t k 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 _2m[(P9d 7"F|6JP"$c 扩展阅读 Q^lQi\[ x*h `VS(?6 1. 扩展阅读 _}zo
/kDA 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 s[3![
"^Y J1tzHa6 开始视频 m0|Ae@g~3 - 光路图介绍 n{64g+ - 参数运行介绍 #7] o6 - 参数优化介绍 0L:V#y-* 其他测量系统示例: *Mwfod - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) )WVItqQKV B;GxfYj X'FEOF QQ:2987619807 Nmp>UE,7[
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