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测量系统(MSY.0001 v1.1) VdL }$CX$ 94rx4"AN8; 应用示例简述 :`@W`V?6- P^BSl7cT 1. 系统说明 ?U*s H2F <V8=*n"mR 光源 yzGBGC — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) |;C;d"JC2 元件 c-?0~A — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 R~dWblv 探测器 RHt~:D3* — 干涉条纹 lqoVfj'6M 建模/设计 0+rBGk — 光线追迹:初始系统概览 gF~
} — 几何场追迹加(GFT+): LA,G>#?H 计算干涉条纹。 ^g+M=jq _ 分析对齐误差的影响。 t..@69 w*4sT+
P 2. 系统说明 *+ O @Y6~;(p 参考光路 {~=gKZ:-@  evyA#~o 3. 建模/设计结果 A6Wtzt2i z8PV&o H)+wkR!~ 4. 总结 UzkX;UA C9`x"$ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 1~*JenV- ?)/H8n 1. 仿真 q0_Pl* 以光线追迹对干涉仪的仿真。 pH?"@ 2. 计算 S'q4va" 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 xC$CRzAe5p 3. 研究 ~uO9>(?D 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 (ZK(ODn)i f87lm*wZ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 $K~ t'wr @|7e~U 应用示例详细内容 "Ze<dB#,Y 系统参数 Ktf lbI! 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 G^w:c] `S/;S<'; 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 gG46hO-M%x myWa>Mvb 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 {(`xA,El H?'t>JX 2. 说明:光源 4ko(bW#jL j1P#({z[ ;jT@eBJ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Y[alOJ 因此,相干长度大于1m 6y)NH 8l7 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 HY'-P&H5( 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 g h&,U` B3&`/{u
{o.i\"x; Qw/H7fvh& 3. 说明:光源 NT [~AK9M 7-MkfWH2b6 g
E;o_~ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 THDyb9_g 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 <bgFc[Z 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Z\*jt B: 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 6J%yo[A(w 4. 说明:光学元件 '"Y(2grP 0N>R!
#R3|nL 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 AtW<e;!0te 位相延迟平板材料为N-BK7。 );5H<[ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Q96^rjY 透镜材料为N-BK7。 Oi4tG&q 其中心厚度与位相平板厚度相等。 "~/O>.p 5j$a3nH 4z> SI\Ss 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ^N:bT;;$nZ ]Br6!U4~ ,[<+7 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 O;?Nz:/q 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 l^%W/b>?b E(G&mfhb 6. 分光器的设置 'Q F@@ 48 H^C$2 f ORP-@-dap L4-v'Z; 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 o+^5W 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 {pyTiz#JY 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 zsuXN * &+zS4)UK 7. 合束器的设置 i-*ZW: }:a:E~5y 2h5L#\H" `5CuH 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 rGb<7b% 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 B(h%>mT[ -{rUE + 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 A
2Rp 24Uvi:B?~ 0JM`*f%n 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
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OEZx 应用示例详细内容 jM!Q
04( 仿真&结果 W 2.Ap )7s(]~z 1. 结果:利用光线追迹分析 8%Hc%T[RnT o{?R z3z 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 I$w:qS&: 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 DA wUG XlDN)b5v{ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 /@QPJ~%8Ud OT{cP3;0*o ztb?4f q6) 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 %UokR" 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 JOFQyhY0>m 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 ?0J&U4 ATscP hk 3. 对准误差的影响:元件倾斜 {~cM 6W]f 3P2x%G p 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 {7Q)2NC 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 e-Ma8+X\ 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 ]L{diD2G yeqHeZ 4. 对准误差的影响:元件平移 ,,HoD~]rd -fCR^`UOS 元件移动影响的研究,如球面透镜。 ]m<z 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 {DWL 5V#M 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 Bx9v2x. IB\O[R$x PB(I3R9 5. 总结 v1}9i3Or# 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 -"uOh,G} &5d~ODO 4. 仿真 ve f9*u` 以光线追迹对干涉仪的仿真。 !hWS%m@ 51-@4E2:l: 5. 计算 =k^ d5 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 v@ifB I r@u8QhD 6. 研究 wU(!fw\ 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 E)F#Z=) <\`qRz0/ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 Aa4 DJ CWY-}M 扩展阅读 yIYQ.-DkS+ ,xI
FF-[0 1. 扩展阅读 8@,8j!$8G 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 7A"v:e ^?5HagA 开始视频 lsA?|4`mn - 光路图介绍 4t,f$zk - 参数运行介绍 ;u;_\k<qK - 参数优化介绍 9 iV_ 其他测量系统示例: H/}W_ h^^ - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) o@sL/5, &oxHVZJ Ubm]V{7 QQ:2987619807 2@,rIve
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