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测量系统(MSY.0001 v1.1) v[6 BESu HJ5m5':a 应用示例简述 t{>66jm\R 88U4I 1. 系统说明 N)h>Ie XI\aZ\v 光源 7Yxy2[ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) B<[;rk 元件 +c\s%Gzrh — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 64\Z OG\, 探测器 tb0XXEE — 干涉条纹 n a2"Sy=Yi 建模/设计 4ij` — 光线追迹:初始系统概览 ;?2vW8{p< — 几何场追迹加(GFT+): [NvEXTd 计算干涉条纹。 =O)JPo&iwY 分析对齐误差的影响。 {zUc*9 i&>,aiH@ 2. 系统说明 #fGb M!3p ^l^_ K)tw* 参考光路 %1VMwqC]E  d!KX.K\NM, 3. 建模/设计结果 D-3/?"n !Y]}&pUP ! qcu-d5b 4. 总结 @mJN
OV8b~k4= 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Ip4NkUI3T G>mgoN 1. 仿真 kM3BP&
3m1 以光线追迹对干涉仪的仿真。 g-p
OO/| 2. 计算 .4!N#' 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 fe37T@ 3. 研究 {C]M]b*F6( 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ;wQWt_OtuJ EJWMr`zdn 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ;@d%<yMf@ fr#lH3 应用示例详细内容 -;P<Q`{I 系统参数 g=Qga09 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪
eN>
(IW M2@q{RiS 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 &vMH
AZd Ix"c<1I 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 K%=n \Y l IFt/ 2. 说明:光源 <Z m ,q} }uHc7gTBF7 h{* O9O< 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ZHC sv]l 因此,相干长度大于1m G'Q7(c 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 .@6]_h; 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 "{x~j\< |Lhz^5/
]R4)FH|>< /2@%:b) 3. 说明:光源 amBz75N{ #h3+T*5} 6 3-mw-;. 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 phc1AN=[E 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。
l#~FeD 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 VNYLps@4H 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 /M3D[aR<d 4. 说明:光学元件 GwW#Ww;Oc Z@[,"{Sn -YuvEm#f 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 DYWC]* 位相延迟平板材料为N-BK7。 5dgBSL$A}] 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 i9xv`Ev=R 透镜材料为N-BK7。 ]~qN<x 其中心厚度与位相平板厚度相等。 tl)}Be+Dt; .d"+M{I
yX-xVvlv@ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 okcl-q w//w$}v |?|
u-y 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 llleo8 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 4w
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6% *SY4lqN 6. 分光器的设置 'u3+k. 9#(QS+q~ ~d8>#v=Q` o 4b{>x 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 RE .@ +A 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 S!q}Pn 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 xI<dBg|]+ A$F;fCV* 7. 合束器的设置 ;:|KfXiC8 2Y4&Sba^Y v$i%>tQ\ ?8, N4T0) 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 'YR5i^:t 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 -*lP1Nbp K%}I}8M 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 {T.Vu]L80 zrew:5*uZ U959=e 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 cA%U 应用示例详细内容 VjqdKQeVq 仿真&结果 4sj%: X}-H=1T? 1. 结果:利用光线追迹分析 )/Xrhhx 0w['jh|, 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 Gx!RaZ1 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 I7PWOd C%c `@="b 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 #5C3S3e= 12PE{Mut @L!#i*> 9 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 YhT1P fl 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 y:OywIi( 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 Hm*vKFhz 6h_ k`z 3. 对准误差的影响:元件倾斜 ++!E9GU{ %gMpV 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 \.1b\\ 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 #=H}6!18 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 3Gl]g/ _Af4ct;ng 4. 对准误差的影响:元件平移 DiQkT R Z{
Zox[/ 元件移动影响的研究,如球面透镜。 tN3 {7'\7 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 ~9 WJrRWB 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 &&nO]p` fJw=7t-t D
Ok^ON 5. 总结 }PIB b 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 !;aC9VhSU RpK,ixbtA+ 4. 仿真 *z"1MU 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ,okJ eZ ZU.)K>' 5. 计算 9T,QWk 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 TJ[jZuT: Mto~ / 6. 研究 '+I
2$xE 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 3d'ikkXK b#;N!VX 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 DYKV54\ue wt.{Fqm 扩展阅读 ;~:Ryl M 4`-?r%$,: 1. 扩展阅读 =@KY A(D 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 3:8nwt Vc52s+7=8 开始视频 KO]?>>5S6 - 光路图介绍 khN:+V| - 参数运行介绍 ]6%%X+$7 - 参数优化介绍 :y-0qzD? 其他测量系统示例: NVA`t]gn - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) 4fu\3A& R`C_CsXir YTjuSV QQ:2987619807 9poEUjBI
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