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测量系统(MSY.0001 v1.1) r0p w_j ),%6V5a+E 应用示例简述 LU!dN "[k DNGvpKY@ 1. 系统说明 !9 fz(9 z-M3 光源 +P.+_7+: — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) *~w[eH!! 元件 8~5cJPi6 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 X,9 M"E
2 探测器 (sVi\R — 干涉条纹 SG6sw]x 建模/设计 ^vG8#A}] — 光线追迹:初始系统概览 9UvXC)R1 — 几何场追迹加(GFT+): Mq';S^ 计算干涉条纹。 1lv2@QH9 分析对齐误差的影响。 v[Kxja; oK 6(HF'& 2. 系统说明 <n3!{w3< 3fN.bU9_ 参考光路 J\e+}{  @?h/B=56 3. 建模/设计结果 R8.CC1Ix Y@PI {;! wEzKqD 4. 总结 % YOndIS: 6e7{Iy 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 IIy~[4dW ?-1r$31p 1. 仿真 zt^48~ry 以光线追迹对干涉仪的仿真。 >E*$
E 2. 计算 ;sHN/eF 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ,t1abp{A 3. 研究 ~on(3|$ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 }NsUnbxT {3&|tk!* 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 xW92ch+t T?4G'84nN 应用示例详细内容 /lafve~ 系统参数 GguFo+YeZ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 `"%T=w L/"0ws_ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 aF7nvu*N $0arz{Oh 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 '=l[;Q^Q vf8\i-U= 2. 说明:光源 *cyeO* NKQOUw:qn a')|1DnR 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 : }`-B0 因此,相干长度大于1m (ND4Q[*6 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 n8.kE)? 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 O@YTAT&d# .; )l
s`#(
7#wn<HDY% 3. 说明:光源 1Z,[|wJ Ko^c|}mh*! RxQh2<? 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 c2K:FdB 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 itzyCw2|# 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 !~h}8'a? 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 z)uuxNv[R 4. 说明:光学元件 !Kv@\4 BATG FS& \%p34K\ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 +}-@@, 位相延迟平板材料为N-BK7。 _sbp6ZO_ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 ~@kU3ZGJZ 透镜材料为N-BK7。 ~xoF6CF 其中心厚度与位相平板厚度相等。 wfjnA~1h N:9>dpP}O #0Tq=:AE> 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 /x1MPP>fu z,|{fKtY} &hk-1y9QS 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 F-*2LMe 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 WQHd[2Z#e Vrvic4 6. 分光器的设置 vp.ZK[/` wM|"I^[ /6_|]ijc 2W$cFC 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 Ka`=WeJ| 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 *@TZ+{t 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 Dwl3Cj c,*9K/: 7. 合束器的设置 )IJQeC ]TaN{" b?eu jxqg 7h)iu9j 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 )>c>oMgl 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 TB;o~>9U ^OErq&`u 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 5MSB dO _$>pw< V"!G2& 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 <`0h|m'U 应用示例详细内容 J sEa23 仿真&结果 kD}Y|*]5-5 &
=/ 1. 结果:利用光线追迹分析 wYlf^~#" 7L^%x3-|& 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 ^S6u<, 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 pZU9^Z?~6 ~l2aNVv; 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 UswZG^Wh />j';6vi Q%-di= 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 {%#)5l) 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 CZbYAxNl 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 M,5"b+mX[~ !u]1dxa 3. 对准误差的影响:元件倾斜 boo
}u 21(p|`X 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 7+hK~ 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 jM:Y'l] 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 =LTmr1? !@'%G6:. 4. 对准误差的影响:元件平移 FaBqj1O1
U8(Nk\"X\ 元件移动影响的研究,如球面透镜。 6&bIXy 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 D13Rx 6b 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 aTzjm`F0 xTGxvGv8 @JW@-9/ 5. 总结 *Y@nVi 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 o!~Jzd.=h ltFq/M 4. 仿真 A*|cdY]HP 以光线追迹对干涉仪的仿真。 {hJXj, V_Wwrhua 5. 计算 SwU\
q]^|Z 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 7$rjlVe -WQ^gcO=7 6. 研究 \a+(=s(; 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 a
{ab*tM .Q)|vq^ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 fBQ?|~:n S1U@UC 扩展阅读 iKas/8 :{q"G# 1. 扩展阅读 Skz|*n|eY 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 "@9?QI} xF8}:z0 开始视频 IG3,XW - 光路图介绍 "z<azs - 参数运行介绍 F:#J:x' - 参数优化介绍 ]qB:PtX 其他测量系统示例: +`uY]Q,O - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) Jl "mL *.& |