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光学测量＞显微 'R'*kxf wc}5m
Hs 任务/系统视图 O
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}1;ka 显微镜系统中光栅的全矢量分析 (
+Q&[E"87 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 Uyg5i[&X@ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 $!-c-0ub IYS)7`{] 说明：光源 rrBsb - ( u\._Gwsx  _u5#v0Y '$ =>  C.Kh [V\Ut T?tgd J 说明：透镜系统 t4zkt!`B C'.L20qW  _/-jX 说明：样品结构 6;\I))" [ ZojI R\ F^  =S+wC N 93("oBd[s( 说明：探测器 \IV1j)I"u hKLCJ# T  `1$ @|FgyC
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}C oTU!R , 结果：光线追迹衍射级数 )t0$qd ] m ZtCL  +%T\`6 NO "xL, 结果：场追迹采样平面 [YF> :ydk g]<4&)~  I5 o)_nc +7D|4 结果：场追迹焦平面 f HE <( bH7X'%r  p4. wh|n ]qethaNy 结果：减小光栅周期 gPNZF\ r
D.B.7-_8 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 we~[ ]
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