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光学测量＞显微 ih |&q b'vIX<
g 任务/系统视图 (UT A3Db =)x+f/c]  l% qh^0 V?-2FK] 亮点 y I[kaH"J Z4m+GFY  V >~\~H2Y
de f\=WyK 显微镜系统中光栅的全矢量分析 o
WAy[ 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 1O1MB&5% 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 G+\&8fi0 |D [LU[<C 说明：光源 _:Jma Sw>,Q-32  hZ')<@hNP O5:[]vIn  dqi31e{*2\ 1KjzKFnb 说明：透镜系统 r?pN-x$M= kZR(0,
W  nB}eJD| 说明：样品结构 b=SCyGxlZ5 "#h/sAIs  .}E@ 7^X kPO +M~+n 说明：探测器 AE Abny
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 F'@ 9kdp =%B}8$.| 结果：3D光线追迹 >GmO8dK n 8FIx l&u  2 ;w> w#}> J6@RIia  <)"2rxX&5 (%9J( 4 结果：光线追迹 n' 1L Ni u]]mbER*t#  'u_j5 R' '2o_F6 结果：光线追迹衍射级数 shiw;.vR{B biU
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 *9`k$' 3@1$y`SN 结果：场追迹采样平面 | `+ (O o<5+v^mt#  t$lJgj(
*g4Uo{ 结果：场追迹焦平面 J8[aVG 7'ws: #pC  - <tTT Dj 3,SJ*x 结果：减小光栅周期 ;Q[E>j?w=
zXx A" 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 \)2'+ R \7e 4t
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