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光学测量＞显微 F%.UpV, s< Fp17 任务/系统视图 Q3Y (K\ +~= j3U  R&$fWV;' y.s\MWvv>u 亮点 3E0C $v KM uKj(=Rqq  Yh Ow0 x
}0f ~hL24 显微镜系统中光栅的全矢量分析 EB@rIvUi, 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 dk"@2%xJ2d 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 >
6=3y4tP z.+%{_pe 说明：光源 j WMTQLE. sXNb  P s<k 2 ?b" 'w  nyxoa/ IVa6?f6H_ 说明：透镜系统
}Oqt=W m \;!7IIe#  LFr $h`_D5 说明：样品结构 '=eVem= AX{7].)F  <@l j\, V F b 说明：探测器 E}THG=6 0{u %J%;  ((< \VQ,>(
Rf2mBjJ(z
 b|;h$otC mIPDF1= ) 结果：3D光线追迹 Mz86bb^J TB= _r(:l+  IYHNN UoUQ6I j  E|jU8qz>P a*:GCGe 结果：光线追迹 2\1bQ q\ .}uri1k"@k  FvO,* r 9 $o9@ ?2 结果：光线追迹衍射级数 HL dHyK/S =BJe} AV  YW&`PJ9o zL3zvOhu} 结果：场追迹采样平面 @ &Od1X dV16'  I6gduvkXi4 k@h0 }% 结果：场追迹焦平面 4i5b.b U$ HgBu :x?&  O{Mn\ M6 da_0{ ;wR 结果：减小光栅周期 CS5[E-%}T=
OVc)PMp 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。
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}= DsD? &: }T AG7U* 文档和技术信息 tmM; Z(9t
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