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光学测量>显微 `C9/= bd_&=VLTC 任务/系统视图 .IXkdy fL>>hBCqC kdcr*7w W{B)c?G] 亮点 &==X.2XW }&M$ ckG`^< Y%m^V?k 显微镜系统中光栅的全矢量分析 C7:;<<"P 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 RsU!mYs:H 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 XpFW(v V~([{ 说明:光源 d[eN#< =wE1j I*hCIy#; I@ "%iYL pu3ly&T#a_ tn>z%6;&Z 说明:透镜系统 f}qR'ognUu {kVhht]X T$)N2]FE 说明:样品结构 9[31EiT kB:6e7D|[ `IN/1=]5 tgz 说明:探测器 C^2J< xd
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0 (?[^##03MN 结果:光线追迹衍射级数 c:>&iB-Yu >d1gVBhk k(As^'> 3"9'MDKH 结果:场追迹采样平面 'Ll,HgU; q4Z9;^S +T\c<lJ9 >M1m(u84# 结果:场追迹焦平面 ^
hoz<Ns Dl/Jlsd@ 7NG^I6WP- !w+A3Z>V 结果:减小光栅周期 r0 mXRZC f/!^QL{ 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 X0IXj%\N srX" vF
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