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光学测量＞显微 dn1Tu6f;| :9E_L2M 任务/系统视图 ~?c}=XL- #`0iN+qh  r2*'5jk_ 3[jk}2R';p 亮点 >5j Hgs# (Q$]X5L  [,|Z<
\ O7?!i 显微镜系统中光栅的全矢量分析 0+\~^ 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 '*KP{"3\ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 Z)U#5|sf ZREAEGi{ 说明：光源 ~"*;lT5KX ):_x  4D/mm(2d$ kPVP+}cA  B`4[@$ 2,>q(M6,EA 说明：透镜系统 R<!WW9IM e XU;UO^  KcB ?[ 说明：样品结构 i`g>Y5 uxto:6),P<  '7F`qL\/#( Z6 b3gV 说明：探测器 iDO~G($C DOXRU5uP3  Mdh(M p(w
NRKAEf_#w
 c3lfmTT6^ B(MO!GNg= 结果：3D光线追迹 Dz&4za+{ ubhem(p#  'FBvAk6 )N-+, Ms  s 8``U~D !qH=l-7A 结果：光线追迹 rr4yJ;qpeP U[S;5xeF.j  f tq~AF 1ezQzc2-R 结果：光线追迹衍射级数 ?< w +{ U
gB  r _r$nl /$rS0@p 结果：场追迹采样平面 9GZF39w u xiRT p:>  }7$\F!R YA^9, q6u? 结果：场追迹焦平面 'q*1HNw Gp NUL~zb  j )F~C8* v *:m|wl 结果：减小光栅周期 McnP>n
XB;;OP12 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 t *Q12Q 4
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