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光学测量＞显微 5k3 b3& zH4D 8@[7O 任务/系统视图 EQ yC1j XQs1eP'{  % X+:o ]T eJVj uG 亮点 qL&[K>2z _8riUt  H* QIB_
O=&0 H|B 显微镜系统中光栅的全矢量分析 o ]` *M| 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 YX7L?=;.@ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 '(VJ& UlS2 {M$1N5Eh 说明：光源 WJndoB.f[2 goRL1L,5  2*< nu><b Z!#!Gu*V  -MO#]K3< :q7Wy&ow 说明：透镜系统 |vwVghC 5C*Pd
Wpl  yAs> {6%- 说明：样品结构 YTpSHpf@ RtP2]O(F  *@r/5pM2} Ar|0b}=)> 说明：探测器 }DE g-j,F Xe'x[(l  f ue(UMF~
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S '&R2 U_ 结果：3D光线追迹 ?|C2*?hZ+ k >Vci{v  u+e{Mim "a>q`RaIQ"  +I:Unp B6nX$T4zP 结果：光线追迹 vq0Tk
bzs PbgP\JeX  6V :U (g r1 m]HFN 结果：光线追迹衍射级数 ,G Iy q) 18 d4fR  mh{d8<Q2 :&rt)/I 结果：场追迹采样平面 K5VWt)Z # 7P5) Z-K[  4qh?,^Dq ,~$p,ALwN7 结果：场追迹焦平面 gNrjo= ]^ 'Kd*x  GPv1fearl T|op$ s| 结果：减小光栅周期 x8\?}UnB
S9D<8j^ 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 SC!RbW@3 e/&{v8Hmb
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