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光学测量＞显微 `$ S&:Q, ;RRw-|/Wm 任务/系统视图 ir/uHN@ {(!JYz~P  vg 1J N"S[ p CA`OP);= 亮点 b5LToy: 7J!s"|VS  5l
3PA G
^9:`D@Z+ 显微镜系统中光栅的全矢量分析 ao"2kqa)r 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 U/^#nU., 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 3ie
k >'T !Yv_V]u= 说明：光源 uVCH<6Cp oV0T
 ]i $0 s BEvY& 3%l  5dI=;L >D tVEe) QX 说明：透镜系统 fy4zBI@ vxj:Y '}  5P%#5Yr2 说明：样品结构 A*?PH`bY b4i=%]v8  Q(nTL WW $Gv@lZ@= 说明：探测器 .R)P
|@z L 9hfg/3t('  8 O9^g4?
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 ]690ey$E:j -smN}*3[ 结果：3D光线追迹 XGR2L
DR _ZK^J S  #A z#_0= = IRot  !SW0iq[7j Y
b3ckktY 结果：光线追迹 P'l n S&yA Wvf>5g)?  OW4j!W $G9LaD#;M 结果：光线追迹衍射级数 !q\=e@j-i {MUi K 5:  CF{b Yf^% @)6b 结果：场追迹采样平面 k77 3h`; Vb`Vp(>AU  ,r w4Lo +9b{Y^^~T 结果：场追迹焦平面 _w4G|j$C |VWT4* K  uI7n {4W*x sip4,>,E 结果：减小光栅周期 6M T
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dgkS5Q$/ 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 hLLSmW ( f[k#Znr
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CwgY + 文档和技术信息 R VatGa0
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