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光学测量＞显微 99ha /t #Y5I_:k 任务/系统视图 3-mw-;. phc1AN=[E 
l#~Fe D 44W3U~1 亮点 4*+ EUJ| ,g,jY]o  9iF e^^<ss
p_z"Uwp 显微镜系统中光栅的全矢量分析 jYy0^)6X( 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 Y;&#Ur 8q 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 EkL\~^ dJLJh*=AG 说明：光源 `5 6QX'? 6 #KI?
6  fiZv+R<x1 OpL 6Y+<  r/4]b ]n GBphab| 说明：透镜系统 N/%#GfXx z;/'OJ[.  NZTYT \7 说明：样品结构 Yjl0Pz .q eurudl  kW!:bh m@,>d_|-K- 说明：探测器 tbPPI)lu $dnHUBB  pMquu&Td
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 \Zv =?\ ' i(p@m<' 结果：3D光线追迹 6J
5)4^bk J: lwq@u  GiZ'IDV YW{V4yW  }}1/Ede{5 ->hxHr`!%a 结果：光线追迹 Cv~hU %1T 3kQ ^f=Wd  BLH=:zb5 U(N$ 6{i_ 结果：光线追迹衍射级数 IA^)`l 7H
7q:bBS  E)hi nH BZ <z@DJp 结果：场追迹采样平面 9A Ye, R \Ep/'Tj&  M0zD)@ (d;(FBk=' 结果：场追迹焦平面 b(q& }60 tKeO+6 l  ]2%P``Yj t4k'9Y:\Q 结果：减小光栅周期 )t0b$<%
9(F?|b fk 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 ijqdZ+ ^R7z LHU;
 R{o*O_qX #=H}6!18 'h^DI`  C5 5n 4 _%FSW8- (1,#=e+ 文档和技术信息 `VF l|o#H
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