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光学测量＞显微 =O%Hf bx U ee( 1 任务/系统视图 9 1.gE*D FW"n+7T  -bd'sv K PjC<9sby 亮点 N&yr?b'!-* "|Gr3 sD  1 ' B& e)
=f?vpKq40 显微镜系统中光栅的全矢量分析 Y{d-k1?s5 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 t
i&!_ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 b($9gre>mI H-,p.$3} 说明：光源 dL]wu! wE 7v&>d,  =odK i "-6 QX u[<V  8S`
j6 4#,,_\r 说明：透镜系统 }Uu#N H yUjkRT&h  ,!O]c8PcU 说明：样品结构 WF_ v>g:g 0qq>(K[  oFb~ |>d 5?Ukf$)x 说明：探测器 s<+;5, Q| *X5<]{7c  KV)if'
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 .ah[!O ]D&U} n 结果：3D光线追迹 "$/1.SX;] E!RlH3 })  7|xu)z YB Bg[_MDWc-P  6 w'))Z K$l@0r ~k 结果：光线追迹 2bOl `{x AJ3%Z$JJ;s  z=TO G P( #KNl<V+c}1 结果：光线追迹衍射级数 p, T4BO OdpHF~(Y/  ^xgqs $`7 + 9I|F m 结果：场追迹采样平面 .D;6
r4S D h eQcM  4jc?9(y% FTr'I82m( 结果：场追迹焦平面 g^}C/~b[ |e<$  $;&l{=e2) jK".iqx2L 结果：减小光栅周期 (*b<IGi;
xYZ,. 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 s(?%A (xE |T f
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