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光学测量＞显微 x5 \C MW W `hYj0:*)S$ 任务/系统视图 5]yQMY\2) eqD|3YX  bL\ab :f (UZmV$ 亮点 zr%2oFeX, E
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h-u63b1"? 显微镜系统中光栅的全矢量分析 :'RmT3 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 <A?- * 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 _j t>%v4}4 MHo(j%I1E 说明：光源 s 0,c4y M.|O+K z  >Qg`Us#y 0Q>f,}W%>  -Z )j"J )P 说明：透镜系统 @Bs7 kjuX X5i?B b.  %9ef[,WT 说明：样品结构 u|prVzm\m 5tUp[/]pl  &u)
R+7bl, /c 3A > 说明：探测器 aOZSX3;wg WK;X6`  Do-~- d4
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v Zk `)e5p K  eZpyDw C{ feg  ,z A9* ._2#89V 结果：光线追迹 #6O<!{PH6 UYJMW S=  .f)&;Af^ +o +e*B7Eh 结果：光线追迹衍射级数 LLE\ ;,bv l* C>  1. p 2 { N]gJ ( g 结果：场追迹采样平面 epw*Px @' UbTB!  Q +L;k
R CJ+/j=i;~c 结果：场追迹焦平面 SMX70T!'9 (`C#Tq  SM%N ]/@U d.wu 结果：减小光栅周期 uL!QeY>k\
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