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光学测量>显微 U@yn%k9 @U08v_, 任务/系统视图 `?{i dg 3QM6M9M Xn^gxOPM ,r!_4|\ 亮点 Hz&a~ >/k[6r5 |{udd~oE& .I_Mmaq;i 显微镜系统中光栅的全矢量分析 MgyV{` 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 CqOvVv 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 8`l bKV `3m7b!0k 说明:光源 E
Mq P >J,Rx!fq3 1Ys6CJ# pLi_)(#z_ U[1Rw6 #lXwBfBMf 说明:透镜系统 P0,@#M& Y@N-q 1S
.~Vh0Q, 说明:样品结构 LPO:Ka }xXUCU< ^ur?da9z' o|FjNL 说明:探测器 ,xmmS\ 9cQZ`Ex r&6X|2@ w@,Yj#_9cx
Q'D%?Vg' "X<vgM^: 结果:3D光线追迹 }n /6.% oZm)@Vv; mX2i^.zH /Ilve
U`E @$o.Z;83`r eW%Cef 结果:光线追迹 i [,9hp jNRR=0 ,=!_7'm TKJs'%Q7F6 结果:光线追迹衍射级数 CWF(OMA .yK~FzLs fL-lx-~ aTXmF1_n 结果:场追迹采样平面 &d}1)? X+6`]] mmSC0F {"f4oK{w 结果:场追迹焦平面 Xm#rkF[, |7XPu \M$e#^g /qf(5Bm 结果:减小光栅周期 ?w/i;pp<, ~@Yiwp\" 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 C1/qiSHsh 7T7
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