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光学测量＞显微 ~(NFjCUY? TEGg)\+D> 任务/系统视图 O<mA+yk bE=[P}E
 *lu*h&Y 7 :=(y BG 亮点 ,%zE>^~ kmlO}0  `K[r5;QFKf
>HzTaXCR[ 显微镜系统中光栅的全矢量分析 :uqEGnEut 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 u*oP:!s 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 P1]F0fR mq(K _ 说明：光源 hY A1N&yz@ X4Uy3 TV>  v}z^M_eF m q[Ey!h)xq  Jvj* z6/a Xi+l 1xe 说明：透镜系统 _`laP5~ /?|;f2tbV2  ADP3N ic 说明：样品结构 )7AjRtb!/ zxd<Cq>d  -- IewW =%u=m a; 说明：探测器 B{S^t\T$ B4c;/W -  &Ot 9"Aq:
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 V,\ }|_ GY \[8 uE,=| 结果：3D光线追迹 An,Tun X '^ O}`  @ kba^z 0&Iu+hv  |="Y3}a })q8{Qj! 结果：光线追迹 BHNJH b `cH.v  1pN8,[hyR7 a +9_sUq 结果：光线追迹衍射级数 8)b*q\ O' z_y@4B6>}  q'Y )Y(d q^QLN KOH" 结果：场追迹采样平面 %T; VS-f Q %V530
P;  + e Zn _PP-'^ U 结果：场追迹焦平面 ' X_%m~}N Go~3L8
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!P d) 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 F)S? >P& _Pl5?5eZj
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