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光学测量＞显微 _^NX`<& DUp `zW;B 任务/系统视图 Y(Q
0m|3P 'jev 1u[  7]= &Q4e4 !fh (k 亮点 F O! Td v"*r %nCi  B8& q$QV
j=WxtMS 显微镜系统中光栅的全矢量分析 |OeyPD# 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 L9b.D< 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 f56yI]*N=< cslC+e/ 说明：光源 TdhfX {nk S% SYvA  oD)x\ )t8 byHc0ktI\  E`HoJhB XlppA3JON| 说明：透镜系统 v%tjZ5x Y teIp'T  |t,sK aL 说明：样品结构 7B?Y.B {K^5q{u  K #3^GB3P 5Xq+lLW> 说明：探测器 ~ua( Qm }$ y.q qG  |J $A%2 7
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 $LP(\T([ eI8o#4nT 结果：3D光线追迹 pb!2G/,.[ *G"hjc$L  7nt(Rtbsu #MC#K{Xd  &3vm
@ GM|& ,} 结果：光线追迹 FZ*"^=)`G 2&hv6Y1  {`HbpM<=m] B`SX3,3 结果：光线追迹衍射级数 ib,`0=0= O qq)5)S  +17! v_4^ +3,7 Apj 结果：场追迹采样平面 F|%PiC,,qO [* xdILj  {O+T`; =)L 2/SUEnaLy_ 结果：场追迹焦平面 S|tD8A 4LSs WO<@  !@C-|=9G W ?x~"-* 结果：减小光栅周期 ^-%'ItVO
T;u;r@R/ 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 8)>>EN8 R ~-"CU:$o
 tP_.-// xM())Z|2 O%t? -h  XX=OyDLqP W @"Rdc- ,e'r 0 文档和技术信息 T
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