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光学测量＞显微 { +Wknm% f+)LVT 8p 任务/系统视图 rmWs o b ])?h ~
 E1w8d4P,G 7.)_H 亮点 AG;KXL[V g2M1 zRm;  RHbbj }B
F$:UvW@e1 显微镜系统中光栅的全矢量分析 .SSyW{a3w 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 (WY9EJ<s, 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 1#fR=*ZM" N
K@6U_/W 说明：光源 =@hCc O69TU[Vn  }!|$;3t+c :v$)Z~  tehWGqx) XW^Pz ( 说明：透镜系统 ;nAx@_ab^ *mYGs )|  }5 $le] 说明：样品结构 -H|!KnR w?M"`O(  lh XD9ed @LS%uqs 说明：探测器 n!Y}D:6c6 $
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' 8|L 5nQ 结果：3D光线追迹 +Oo-8f* KilN`?EJ  a^[s[j#^, M[-/ &;`f@  CC$r t2\e fgF@ x 结果：光线追迹 Y$./!lVY ;/IX w>O(/  G<`(d@g *;F<Q!i&v 结果：光线追迹衍射级数 z fy(j *UG?I|l|I  e~R_ bBQ0 j|p=JrCJ 结果：场追迹采样平面 ?hURNlR_Q ``{GU }n  zh(=kS ` /,$V/q+ 结果：场追迹焦平面 WV p6/HS l>(*bb1}b  N\?__WlBK7 txX>zR*)
结果：减小光栅周期 $d.Dk4.ed
N{M25ucAHl 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 iVmy|ewd qc3,/JO1
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