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光学测量 > 干涉测量 _>9|"seR 7<<pP 任务/系统说明 (_^g:>)Cs ka0T|$ u(s
Zrr3='^s ZT5t~5W 亮点 z | Hl*T <x,u!}5J
x$Ko|:- &cV$8*2b^ •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; Oz#$x •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; dE7 kd=.o I,(m\NalK 具体要求:光源 DN2K4%cM%' r :{2}nE bae .?+0[ 5)+(McJC 具体要求:用于准直的消色差透镜 mT
<4@RrB [
dpd-s Kn SXygT f ?_YdVZ (C={/waJ OmQSNU.our BC ]^BKP hZ Gr/5f 具体要求:分束器 IHZ WNT2 MC D]n &PI}o $Q{)AN;m 具体要求:参考光路反射镜 rk*Igqf p%EU,:I6 eS8tsI VT96ph
z'=*pIY5f GMU.Kt 具体要求:测试光路反射镜 Y5&Jgn.l {9vvj A)Wp W M gQ3Co ./ 具体要求:探测器 y8HLrBTza \[Op:^S mf=, 6fx28 8W)3rD> 结果:3D光线追迹
.'mmn5E <?kr"[cQeP HK)$ls I~\j%zD 结果:场追迹 .\= GfF' EGO;g^,
lBqu}88q0 6e&Y%O'8 结果:移动样品的场追迹结果 w~y+Pv@
M,"4r^%k d|k6#f-E 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 >gM|:FG EgM.wQHR] 文件&技术信息 z)xGZ*{= LbOjKM^-
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