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光学测量 > 干涉测量 Me>'QVr ceCshxTU 任务/系统说明 ;Z*RCuwg ($TxVFNT
:xV&%Qa1 4$"Lf'sH6 亮点 L"a#Uu8 ?*;zS%93U9
"=;&{N~8U k*Kq:$9" •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; ~0NZx8qG •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; wkGF&U BR=Yte
/ 具体要求:光源 ZU|nKt<GK {~"=6iyj r4s R5p]| {IVqV6: 具体要求:用于准直的消色差透镜 (2(hl--'n F\e'z ^=ikxZyO `6A"eDa n7G$gLX lV?SvXe ZS-9|EA< SZPu"O\ 具体要求:分束器 Z%Gvf~u saV `-# UnPSJ]VW f`%k@\
具体要求:参考光路反射镜 -|lnJg4 OL>/FOH:Fx 'a}{s>{O R Mm`<:H_
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AuQw 具体要求:测试光路反射镜 x>@UqUJV &~&i > b6lL8KOu }Z6/b
_kV 具体要求:探测器 w-2]69$k ^\!p;R S92Dvw? F
;D_zo? 结果:3D光线追迹 r?Vob}'Pt] ax<0grK qH
~usgqB7 6$f,DU 结果:场追迹 ^c5(MR7LD Nl+2m4
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Wy gUMUh]j 结果:移动样品的场追迹结果 n'gfB]H[ 1/n3qJyx2} ZjcJYtD 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 /~yqZD<O Cw_<t 文件&技术信息
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