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光学测量 > 干涉测量 ABhza| Sc G mft3A 任务/系统说明 !::k\}DS
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c}Z,xop<P{ 亮点 +6<M K;
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+Q-~~v7, •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； @{I 55EQ] •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； +*0 THol-
f+xGf6V 具体要求：光源 @T/C<- /:
u .hnQsM  8GlH)J+kq I]SR .Yp% 具体要求：用于准直的消色差透镜 xDADJ>u2K ] v_xEH}T 0 SKt8pL`  T>f -b3dk l '16B^ iT^lk'?{O  P Y z | d
K& |zWpb 具体要求：分束器 '[-H].-! D@
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0l 3RwW j 具体要求：参考光路反射镜 GMNf#;x kI[EG<N1k  Mepl M$9
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?J6hiQv L 具体要求：测试光路反射镜 fs)O7x-B( !Aw.f!  ?,%N?
! h4 So4p 具体要求：探测器 b/5~VY*T UVI=&y]c,p  D3^v [>E2 X 4/r#<Da 结果：3D光线追迹 pwZ &2&| Q o=  O0$ijJa| wy -!1wd 结果：场追迹 lJYv2EZ
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&Y#9~$V= 结果：移动样品的场追迹结果 [FCNW0NV V&}Z# 9Dx  9n%W-R. 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 s~63JDy"E
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