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光学测量 > 干涉测量 /W>iJfx DVSL [p?_ 任务/系统说明 ?AJKBW^ 2 lj'"nm
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quN 亮点 Y~L2 (Tn- >).AO
E%rk[wI <kGU,@6PF •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; _a6[{_Pc •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; H@q?v+2 77\]B 具体要求:光源 BI3@|,._N ;_rF;9z9 H5Z$*4%G Jtr"NS?a] 具体要求:用于准直的消色差透镜 fA+,TEB~d gDQ1?N'8{t ~:Ll&29i / c AUl ]ooIrY8 tasUZ#\6 ^Wt* 7UdM 具体要求:分束器 y#U+c*LB ] lrWgm H@%GSE 0:9.;x9_ 具体要求:参考光路反射镜 G/7cK\^u ioYGZ%RG# sj HrPs e "|q qUKJZ
VXR>]HUF B56L1^7 具体要求:测试光路反射镜 {bJ`~b9e *7ZN]/VRT X]wRwG DXJ`oh 具体要求:探测器 Y8-86 *zC k'Sp. ^eo|P~w
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^,/RO5 结果:3D光线追迹 (Iaf?J5{ vgfcCcZ_iZ BqD'8zLD va}Pj#= 结果:场追迹 tjdaaN#,V UA48Ug
xKuRh}^K P)Rh=U 结果:移动样品的场追迹结果 ;C3US)j 6W]9$n\"? gcdlT7F)b- 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 ]6TATPIr i{`FmrPO~ 文件&技术信息 a&c6.#E{y 0K`#>}W#X
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