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光学测量 > 干涉测量 %BP>,E/w Y}N\|*ye- 任务/系统说明 0f.jW O {YzCgf
"J 1A9| 49$<:{ ~ 亮点 -HG.GA N8{jvat
-}|L<~ ehr-o7]( •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; >8>!wi9U •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; D=TS IJ@ VAz4@r7hkq 具体要求:光源 LV^^Bd8Ct >+P}S@ <gkE,e9 Q=`yPK>{$N 具体要求:用于准直的消色差透镜 yx :^*/ K8;SE! <\~v$=G ,PTM'O@aU# %o0b~R h*k V@Dc ]?tRO wtY)(ka 具体要求:分束器 o utJ/~9; j Q5 F} u
]e-IYH s5nw<V9$] 具体要求:参考光路反射镜 L0fe ^v'kEsE^* 0Z1ksfLU wUv?;Y$C
1;ttwF>G7 aDF@AS 具体要求:测试光路反射镜 +'<PW+U$ #'_#t/u @N4_){s* {aY) Qv} 具体要求:探测器 gjDNl/r/
u7L?9 @7twe;07r mr\,"S-` 结果:3D光线追迹 P%aqY~yF3 .9nqJ7] :y-;V pl`4&y%Me 结果:场追迹 K81X32Lm' q]?qeF[
7g\v (P Lv%3 jj 结果:移动样品的场追迹结果 atTR6%!6 P0l
fK} ?+t;\ 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 5whW>T dk|LC-]`A 文件&技术信息 ,*|Q= rmX*s}B
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