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光学测量 > 干涉测量 a+IU<O-J? HLa|yc B% 任务/系统说明 T+RfMEdr
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vfm |?\ 亮点 U!TFFkX[
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D8qZh1w%A| •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； #8QQZdC8` •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； P$4G2>D8dg
S2h?Q $e3 具体要求：光源 PJsiT4< s=#3f 3  F2:? lmhL< vn9_tL& 具体要求：用于准直的消色差透镜 MkF:1-=L Ir }r98lz gyondcF  D}r,t_]Eb 2r^| ^?VYE26  0j F~cV pc
J5UJY 具体要求：分束器 eR4%4gW) RHZ5f0b4L  T XWi5f[
N=YRYU o 具体要求：参考光路反射镜 3i/$YX5@ PF+v[h;,  l \vtz5L
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uW3`gwwlU 具体要求：测试光路反射镜 yCy4t6`e -{dsl|Dl  -
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&`[y] E' 具体要求：探测器 M^JRHpTn ? >SC:{(  fgVeB;k| H|T!}M> 结果：3D光线追迹 @-|{qP=Dy 6Lk<VpAa  TR/'L!EE L
s6P<"V 结果：场追迹 sS/#)/B `OO=^.-u
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{h5 S =b 结果：移动样品的场追迹结果 l3dGe ' ;gfY_MXnF  R LBjl%Q> 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 WX$mAQDV
*&]x-p1m 文件&技术信息 (,<&H;,8 *$mDu,'8
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