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光学测量 > 干涉测量 X<MpN5%|Wo ~v: #zU 任务/系统说明 E`p'L ! z
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pZ+j[! 亮点 izt^Wi|
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{-*\w-~G •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； qw:9zYG}qW •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； W7!.#b(hU
wz @FrRP= 具体要求：光源 fuSq ={] 4DM L  B 1w0cS%%: SWoEt1w 具体要求：用于准直的消色差透镜 H2\1gNL t* z'c p~>_T7ze  E\e]K
! [y{E _O 52ai><b  Ve:&'~F2 s <kc]L x 具体要求：分束器 3 bH5C3(u di_gWE  vb}/@F,Q5
eJf>"IF- 具体要求：参考光路反射镜 ~x+Y kq0 5`UJouHi  kbq:U8+k
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oQBiPN+v.3 具体要求：测试光路反射镜 m3%e f | M _%QM.  W8uVd zQ
%Ht ^yem Q 具体要求：探测器 qnTi_c tBTJmih"  .q0AoM R8{e&n PE 结果：3D光线追迹 $nc, ?)i! 5\+EHW!o  bQ=s8' _3 KZME 结果：场追迹 =u[rOU{X"W o x
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y$v@wb5 结果：移动样品的场追迹结果 P[1m0!,B As p8qHS  G/%Ubi6% 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 IPkA7VhF F
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