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光学测量 > 干涉测量 %"$@%"8;3 -7]Xjb5 任务/系统说明 C*6S@4k
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*wbZ;rfF 亮点 ?(zoTxD
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&Vk; VM`5 •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； PH 4%R]{8{ •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； MQ/
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q 2? X"! 具体要求：光源 rw%l*xgX k!XhFWb  mry N} kAzd8nJ' 具体要求：用于准直的消色差透镜 d.<~&.-$ <I*x0BM= ?:rx1}:F  J]/}ojW3 V~{
_3YY SpTdj^ ]4>  ni CE\B~ *gsAn<
具体要求：分束器 KU&G;ni 2 @$@mqHI}  y>VcgLIB
/i|z .nNO 具体要求：参考光路反射镜 $6f\uuTU2" f`<FT'A  sYbH|}
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S9sR# 具体要求：测试光路反射镜 w2gf&Lc\ 1' w:`/_  n(Y% Vmy
3HV%4nZLf 具体要求：探测器 tV;% J4E' cSP*f0n,eo  L wJ0 l3i,K^Y L 结果：3D光线追迹 _uxPx 21g} "AueLl)  >%b\yl%0 > O9 sk 结果：场追迹 H6kf
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H:&?ha,9 结果：移动样品的场追迹结果 UV7%4xM5v dXvt6kF  P!g-X%ngo 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 P~C rtTss
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