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光学测量 > 干涉测量 y[@j0xlO CT:eV7<>s 任务/系统说明 UE `4$^qs
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A&lgiR*ObT 亮点 -"dy z(
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TYS\:ZdXF •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； dpn&)?f •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； G8DIig<
:2Rci`lp 具体要求：光源 ;3?J#e6; i~s9Ot  *2C79hi1 M^Ay,jK! 具体要求：用于准直的消色差透镜 Ho8.-QSG V #\ZS{'J y~ 4nF  {*Wwu
f. + :Q/<^Z hsVJ&-#  EC!Cv;' =? *" V-l 具体要求：分束器 {,C8}8 a W Jq<`j<'9  Wu;|(2I
D6!+ 具体要求：参考光路反射镜 wOkJ:k [W;dguh  R^kv!x;h
ggsi`Z{j?
 Fl3r!a!P,
gw"l& r 具体要求：测试光路反射镜 U\ E{-7 *k]S{]Y  '{k Nbx 51
$AhX@|?z 具体要求：探测器 7^TXlW n^G 2bxMIr  3udIe$.Q 2m_M9e\ 结果：3D光线追迹 ^(JbJ@m/ 0 THAI  =(5GU <} u#,'ys 结果：场追迹 TY [d%rMm >!F ,y3"5S
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3U.qN0] 结果：移动样品的场追迹结果 g E+OQWu /lQ0`^yB  ko> O ~@r 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 e+ w
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