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光学测量 > 干涉测量 saj%[Gsy soTmKqj E 任务/系统说明 B F,8[|%# -%g$~MZ?'
*Bse3%-v A\1X- Mm 亮点 ):c)$$dn Hkv4^|
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;( V*C%r:5 ,v •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; lDV}vuM<4 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; k|SywATr SFiK_; 具体要求:光源 EV$$wrohQ` A0@E^bG 4dgo*9 1c%ee$Q 具体要求:用于准直的消色差透镜 !L=RhMI DMc H, _( q9^6A90 RXbhuI eL` }j9 \D<w:\P /ta5d;@ ,*r}23 具体要求:分束器 ]nM 2J}7 zBKfaQI, DA(ur'D v"K # 具体要求:参考光路反射镜 .C=I~Z ]((Ix,ggP xeGl}q| :CR1Oy 9
WA$Ug _>LI[yf{ 具体要求:测试光路反射镜 {+SshT>J B9[eLh! 6zf3A:]&{ : =J^ "c 具体要求:探测器 a(a2xa R'Uw17I 0YApaL+jt ] C&AU[U* 结果:3D光线追迹 &W|r
P( fEMz%CwH 4uV,$/ E;>BcPt5 结果:场追迹 l?rT_uO 4 ku&m)'
j/Dc';,d.( qVidubsW 结果:移动样品的场追迹结果 %_>+K;< kR1dk4I4 e+? -# 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 M#U #I:z% l[cBDNlrC; 文件&技术信息 u[>hs
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