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光学测量 > 干涉测量 [\,Jy8t)\ ''3b[< 任务/系统说明 ?f&O4H
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)FSa]1t;x 亮点 \@F~4, VT
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,f)#&}x*2+ •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； "*J yNwf •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； 3#Qek 2
\wM8I-f! 具体要求：光源 (y!V0iy] l inv K.Lf  'Fr"96C $ cu )w6!f 具体要求：用于准直的消色差透镜 >}) W5Y+
j7sRmQCl ~tB#Q6`nB  ?my2dd,| )Nnrs a Cu`ty] -'  s]'EIw}mo D0VbD" y 具体要求：分束器 9*;OHoD h RZbiiMC>  zY2o;-d|4
f`bRg8v 具体要求：参考光路反射镜 |h^] `= 3 6)[gF 1  u5rHQA0%
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W_ RN@O 具体要求：测试光路反射镜 QQ\\:]iM g66x;2Q  P\{ }yd
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具体要求：探测器 !eA6Ejf <m0m8p"G  a,eJO ? ? vE C#W43l 结果：3D光线追迹 *^i"q\n5( V#TNv 0&0  4M PR (o518fmR 结果：场追迹 ~'VVCtA S0H|:J
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+@qIDUiF3 结果：移动样品的场追迹结果 sOhKMz Wiere0 2*  $/ "QYSF 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 NKMVp /66D
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文件&技术信息 j Q3&4>g j lQ!( l Ph
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