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光学测量 > 干涉测量 )uWNN " sR nMBW. 任务/系统说明 -2d&Aq4m)
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rNp#5[e •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； . %7A7a •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； ,BAF?} 04=
Ba~Iy2\x 具体要求：光源 "KwKO8 f 5!*a,$S  ^123.Ru| t L\ DaZ(Y 具体要求：用于准直的消色差透镜 1A`";E& e vuP4-[y b"9,DQB=i  s6uAF(4, ry"zec
B 1YL5  Hb VLL`06* p7er04/}\ 具体要求：分束器 O ?Tg`] EX | &vuK9q  RGmpkQEp
O!tD1^O!1} 具体要求：参考光路反射镜 -}o;Y)
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g (k|"g`* 具体要求：测试光路反射镜 /G ;yxdb P+h&tXZn8  +_Z/VQv
`m^O nH 具体要求：探测器 ;\N*iN#K vKf=t&gqr  /+msrrpD TZg7BLfy 结果：3D光线追迹 $(U|JR@ $!Tw`O  {,=,0NQKn L8ke*O$ 结果：场追迹 .2xkf@OP l .$#IE
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Sqs`E[G* 结果：移动样品的场追迹结果 Ay]5GA!W+ <h({ +N  a 2TC, 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 5mU_S\)4:z
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