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光整形>衍射光学 ekR/X qcmf*Yl:v 任务说明 (=jztIZC EC:u;2f! /QgU!:e N=vb*3ECg 灵活地导出制造数据: z1AYXW6F - 平滑的界面 i".nnAI: - 量化界面 8kRqF?rbj - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ,f[`C-\Q% E! s?amM4 亮点 r@30y/C 导出各种表面形状的制造数据 jYxmU8 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 m4m,-}KNi 9kO}054 x%`.L6rj 一般界面的制造数据 l&2pUv= 32S5Ai@Cd" bCSgdK j@guB:0 支持文件格式: b\.l!v n0 - 纯文本 HX`>"
?{ - ASCII码 tsWzM9Yf - 点云 QqdVN3#1z - CAD格式(例如,STL,IGES) kw$*o
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?c1i: STL导出平滑界面(例如Asphere) ?3t]9z a{y"vVQOF 采样高度剖面的STL导出 qy^sdqHl@ ([Da*Tk* IV]2#;OO? dFw>SYrpu 量化界面的GDSII导出 lD]/Kx 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ,^m;[Dl7 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 AZ'"Ua [}1+=Ub D/<;9hw 文档和技术信息 7eP3pg# zjlo3=FQX[ /)LI1\o PC用于模拟的规格 /q\{Os rX \|< 5zL fo5+3iu^
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