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光整形>衍射光学 ?+^p$'5 kLZVTVSJt 任务说明 6=;(~k&x9: EG\;l9T Qz#By V: b \ln XN 灵活地导出制造数据: vZ"gCf3#?3 - 平滑的界面 wlaPE8Gc - 量化界面 wCruj`$ - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 bvB',yBZ #S'uqP! 亮点 G2)F<Y 导出各种表面形状的制造数据 }&e HU 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 L-C^7[48= k_7b0dr%F }6/M5zF3 一般界面的制造数据 'ET];iZ2 Kw"y#Ys] X )tH23 MK)}zjw 支持文件格式: \&;y:4&l8 - 纯文本 j2UQQFh - ASCII码 UGy3B) - 点云 i\ X3t5 - CAD格式(例如,STL,IGES) "g&f:[a/
Y6VJr+Ap( STL导出平滑界面(例如Asphere) Td'(RV n+ebi>}P 采样高度剖面的STL导出 L%is"NZh jgIG";:Q e8^/S^ =&d wTU$jd1;+ 量化界面的GDSII导出 #NYnZ^6e 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 T :d+Qz\ 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 O& Sk}^ d\]KG(T SYA~I-OYc 文档和技术信息 L,y
q=%h| Jcze.t @tm2Y%Y! PC用于模拟的规格 j;]I
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