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光整形>衍射光学 *j/[5J0'M cUPC8k.1 任务说明 lMW4SRk1C %yJ
$R2%*y e/nc[ VsTa!V^~ 灵活地导出制造数据: S-D=-{@ - 平滑的界面 w=K!U] - 量化界面 }ki}J >j|f - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 qL1d-nH Eg;xj@S<2 亮点 U%)m
[zAw 导出各种表面形状的制造数据 gyx4= 'Q 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ),#hBB`ZA 5Z@~d'D Ei&
Z 一般界面的制造数据 \Tii
S hJIF!eoI 6*Y>Y&sea &:MfLDJ 支持文件格式: 6;^ e - 纯文本 [WxRwE - ASCII码 <6L=% \X{* - 点云 jh3XG - CAD格式(例如,STL,IGES) UC{Tm f sM0o,l(5 STL导出平滑界面(例如Asphere) *k%3J9=-1 M(+;AS?; 采样高度剖面的STL导出 /H m),9NN <>9zXbI x-3!sf@ >QJfTkD$ 量化界面的GDSII导出 XnCrxj 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 WI+ 5x 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 #FL\9RXy k=o>DaEh( Er]lObfQo 文档和技术信息 X8Ld\vZYn (K>=!&tlp= 7vf?#^RlV PC用于模拟的规格 oF9c>^s $F,&7{^ PiTe/
QQ:2987619807
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