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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 VG50n<m9  
    >>8{N)c5E  
    任务说明 Ya!PV&"Z  
    ?_T[]I'  
    *|;`Gp  
    Q DKY7"H  
    灵活地导出制造数据： s={IKU&m[  
    - 平滑的界面 Dg}EI^ d  
    - 量化界面 .4<lw  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 @`iz0DPG?Y  
     {)Shc;Qh  
    亮点 z 8#{=e  
     导出各种表面形状的制造数据 gplrJaH@  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 >Y|P+Z\7  
         j}fSz)`i  
    }n"gX>e~  
    一般界面的制造数据 l=#b7rBP  
    ln6=XDu  
    ^ _W] @m2  
    ,F "P/`i'  
    支持文件格式： \pP1k.~UnC  
    - 纯文本 sNMF(TY  
    - ASCII码 >q ,Z*s>?  
    - 点云 &(|Ot`el]v  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） h&~9?B  
     ~b4kV)[ q  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ocpM6b.fK  
    ]a[2QQ+g  
    采样高度剖面的STL导出 53^3. .E|  
    <5G 4|l  
    'rVB2 `z-  
    D/,(xWaT  
    量化界面的GDSII导出 <KE%|6oER  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 JE<h  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 [EK^0g   
    h*3{IHAQ  
    oE0~F|(\1  
    文档和技术信息 O]@s` w  
    %:OX^ ^i;  
    0}'/3Q  
    PC用于模拟的规格 =T)y(] ;M$  
    9Q 7342  
    vV"I}L  
    QQ：2987619807
     
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