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光整形>衍射光学 A}Iyl ]L~z9) 任务说明 $R}C(k
;? ; Pk"mC )FwOg;=3M" SGl|{+(A 灵活地导出制造数据: R"OT&:0/ - 平滑的界面 `:lcN0n - 量化界面 B<s+I# - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Qb@j8Xa4[ |6d:k~p 亮点 bpsyO>lx/ 导出各种表面形状的制造数据 "dCIg{j 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 <uIPv
Zsx Fe[6Y<x+: _A]jiPq 一般界面的制造数据 5V<6_o !$HuH6_[ s-*N_Dv X:Y1g)|K 支持文件格式: %;4#?.W8 - 纯文本 26~rEOgJ - ASCII码 m:Rx<E
E - 点云 08:K9zr - CAD格式(例如,STL,IGES) >
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AB# TJP;!uX STL导出平滑界面(例如Asphere) `T[yyOL/ =O8 YU)# 采样高度剖面的STL导出 fXevr ` ,~;`@ 2h5T$[fV S?t
`/"O 量化界面的GDSII导出 w+rw<,u% 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 HV`u#hZ7C 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 w32F?78] ?Zv5iI yzpa\[^ 文档和技术信息 Rt%Dps% %|@?)[; y%--/; PC用于模拟的规格 y~_x ~=wBF fo}@B&=4
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