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光整形>衍射光学 maXG:l| kzt(i Y_6 任务说明 OoA|8!CFa %k'!Iq+ Uc@Ao: g7OqX \ 灵活地导出制造数据: TrLu~4 - 平滑的界面 OH">b6>\ - 量化界面 ][?G/*k - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 rvnT6Ve ]Bjyi[#bg 亮点 i 7x7xtq 导出各种表面形状的制造数据 wid;8%m 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 2T V X)q<\ 1 D<_N cp#JBHO 一般界面的制造数据 1T-8K
r (2:/8\_P ( 5tvfz% *# tJM.Z 支持文件格式: E|6VX4`+ - 纯文本 gx\&_)w N - ASCII码 W9D86]3Y - 点云 r=X}%~_8X - CAD格式(例如,STL,IGES) dIRm q+d^ 1:f9J STL导出平滑界面(例如Asphere) XT@-$%u v?&
-xH-S 采样高度剖面的STL导出 1oN^HG6O Hhari!RXC
FE2f'e V-Cv,8 量化界面的GDSII导出 pO ml8SQf 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 YRh BRE 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 UG'9*(* X&0 uI*r B,TB3
{ 文档和技术信息 j}~86JO+Cw b+f'[; ,]+z)
PC用于模拟的规格 B:!W$< X!m9lV< q.2ykL
QQ:2987619807
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