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光整形>衍射光学 K YkS9_yF k;EPpr-{ 任务说明 k78Vh$AA6% 8$c bVMjh z**hD2R! S/`%Q2za4 灵活地导出制造数据: +'G0 {;b - 平滑的界面 Ox#Q2W@Uy - 量化界面 x-'~Bu - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 |T4kqW{ $LHa?3 亮点 <X_!x_x 导出各种表面形状的制造数据 JTqq0OD} 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 r{seb E\
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Vy,&[c~" 3:5DL!Sm8J 一般界面的制造数据 y#<MVH 6QNs\Ucb+ K?4FT$9G T%F0B` 支持文件格式: "{E qhR~ - 纯文本 G2#d$ - ASCII码 +y#T?!jQYj - 点云 @cq`:_.[ - CAD格式(例如,STL,IGES) 9]>iSG^H .la&P,j_L STL导出平滑界面(例如Asphere) AY SSa 1} +zkm( 采样高度剖面的STL导出 8yWoPm<A dp5f7>]:( %5 J.RAmU < 量化界面的GDSII导出 jAND7&W 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 a45ss7 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 ibdO*E 'ZQWYr9R n^hocGH* 文档和技术信息 tJ=di5& lM#A3/=K X['2b78k PC用于模拟的规格 {6d b{ ay_ 7W9~1
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