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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 qYiK bzy  
    87E3pe  
    任务说明  rOf  
    :W<,iqSCm  
    C-b%PgA  
    Y>!W&Gtu  
    灵活地导出制造数据： v+_Y72h*a  
    - 平滑的界面 GBOmVQ $Hb  
    - 量化界面 .p*D[o2 9  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 F0^~YYRJV  
     +jZg%$Q!#  
    亮点 Bst>9V&R  
     导出各种表面形状的制造数据 T9v#Jb6  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 GyM%vGl 3  
         5i-;bLm  
    + d)~;I$  
    一般界面的制造数据 |[7$) $  
    1,!\7@<CT  
    -oT+;2\2  
    3S|;yOl#X  
    支持文件格式：  v2=!*  
    - 纯文本 J9t?]9.,:  
    - ASCII码 r!gCh`PiK  
    - 点云 3EX&.OL!  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） UNLNY,P/!)  
     $P9$ ,w4  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） QgM_SY|Rj  
    Wk#-LkI  
    采样高度剖面的STL导出 ${,eQ\  
    R6o<p<fTh  
    )KQv4\0y<  
    L*oL KigT  
    量化界面的GDSII导出 g;Q^_4@  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 tpzdYokh >  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 0$Db@  
    1gK3= Ys  
    q x }fn/:  
    文档和技术信息 bjX$idL  
    i4C b&h^  
    5!{g6=(  
    PC用于模拟的规格 aT1 W] i  
    `mTxtuid{  
    eL4@% ]o  
    QQ：2987619807
     
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