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光整形>衍射光学 i-wWbZ- zHNBX
Rx 任务说明 RTg\c[=w $g VbeQ wRK27=\z An?#B4: 灵活地导出制造数据: yXEI%2~) - 平滑的界面 &'Nzw2 - 量化界面 6M_ W( - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 EAWBgOO8iC sEfT#$ a^8 亮点 OA}; pQ9QN 导出各种表面形状的制造数据 {=&({ cS 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 L|s\IM1g |-*50j l Gi@c`lRd1 一般界面的制造数据 x2HISxg }{,Wha5\n sHPeAa22 aYc<C$:NC" 支持文件格式: a!u5}[{ - 纯文本 ,|zzq@fk - ASCII码 \C>vj+!cJ - 点云 /ET+`=n - CAD格式(例如,STL,IGES) WL,2<[)Ew (IjM STL导出平滑界面(例如Asphere) 69:-c@L0 Y+$]N:\F\ 采样高度剖面的STL导出 }?6;;d# BOA7@Zaa$p G[_Z|Xi1 .qYQ3G'V 量化界面的GDSII导出 {^;7DV: 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 "s zJ[
_B 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 ",Mrdxn7 Ets6tM` ]8$H 'u(C 文档和技术信息 s?9Y3]&+&M /yx)_x{ [,ulz4" PC用于模拟的规格 fiU#\%uJg ij3W8i9' Q]K$yo
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