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光整形>衍射光学 yPKeatH] y~jTI[kS 任务说明 o^biO!4, .(`#q@73 $yBU
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U[OM\ 支持文件格式: +m^ gj:yL - 纯文本 UzWf_r - ASCII码 =LC:1zn4 - 点云 aTxss:7] - CAD格式(例如,STL,IGES) TkM8GK-3 bODCC5yL STL导出平滑界面(例如Asphere) W c{<DE?J c=0S]_ 采样高度剖面的STL导出 l q~^&\_# g:7S/L0] eF823cH2x_ BRLrD/8Le 量化界面的GDSII导出 xrs?"]M[ 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 IVjH.BzH9 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 40w,:$ .Ks%ar iimTr_TEt 文档和技术信息 GWsvN&nr kj{z;5-dl 9w9[0BX# PC用于模拟的规格 G~5EAeG rVB,[4N 1Rg tZp%
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