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光整形>衍射光学 c`Tg xMu D*b>
l_ 任务说明 $%/Zm*H iIg_S13 HRk+2'wjAz H|P.q{(G 灵活地导出制造数据: lw7wvZD - 平滑的界面 xf |=n - 量化界面 HG3jmI+u> - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 + IMP< K-K+%U 亮点 6;ICX2Wq' 导出各种表面形状的制造数据 rkVZP!7! 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ~{xY{qL x\)-4w<P *0Fn C2W1 一般界面的制造数据 VXC_Y nfd^'}$] RP6QS )| /Z-|E 支持文件格式: qz?9:"~$C - 纯文本 LqW~QEU( - ASCII码 %h^; "|Z - 点云 H`kfI"u8 - CAD格式(例如,STL,IGES) (Ys0|I3 2: fSn&*/> STL导出平滑界面(例如Asphere) Nq-qks.& 5E4np`J 采样高度剖面的STL导出 @N34 Q-l fAXF_wj (|<}q-wO FK>8(M/ 量化界面的GDSII导出 L -<!,CASW 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 j%0D:jOY] 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 </Ja@% A(ql}cr Iy'a2@
文档和技术信息 !np-Jmi uL`_Sdjw ]9F$/M# PC用于模拟的规格 m?0caLw< H+6+I53 Onz@A"
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