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光整形>衍射光学 ^cfkP(Y3kx &?}kL=
h 任务说明 /h1dm, ~% D^Ga7 'Wo?%n
:<'i-Ur8 灵活地导出制造数据: j;$6F/g - 平滑的界面 l{M;PaJ`} - 量化界面 2V#c[%vI - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 u^j8
XOT '-$))AdD 亮点 OL,/-;z6 导出各种表面形状的制造数据 m~Kch~~] 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 BG(R=,
7 e|2vb
GQ 2GHXn:V 一般界面的制造数据 6\NX
5Gh $.suu^>^w lBizC5t!o 8MYLXW6 支持文件格式: ^&f{beU9 - 纯文本 P5yJO97 - ASCII码 f}Ne8]U/Hc - 点云
?.4yg( - CAD格式(例如,STL,IGES) Q#yu( &hSnB~hi STL导出平滑界面(例如Asphere) {ar5c&< 3D 4]yR5 采样高度剖面的STL导出 tEpIyC k;"R y8[k =8$(i[;6w 7 K;'7 量化界面的GDSII导出 t1.zWe+C>3 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 D[>XwL 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 J_y<0zF** P%<aGb4 tu?Z@W/ 文档和技术信息 ShEaL&'J 4U LJtM3 t5X G^3X@ PC用于模拟的规格 41
c^\1 :>AW@SoTp EyKkjEXx_
QQ:2987619807
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