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光整形>衍射光学 M";qo6 &`"DG$N( 任务说明 CdolZW-!" |3*9+4]a TR"C<&y$j gq+SM
i= 灵活地导出制造数据: }u Y2-l - 平滑的界面 /k#-OXP~ - 量化界面 $^Fl*:6 - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 {keZ_2 OxlA)$.hpu 亮点 :cT)M(o 导出各种表面形状的制造数据 D tsZP
( 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 8:ubtB hnnB4]c mxa~JAlN_ 一般界面的制造数据 ?YhDjQs ) `u17
{ (`x_MTLL ZoW1Cc&p 支持文件格式: %()d$.F - 纯文本 Lkt4F - ASCII码 t*{L[c9.Uq - 点云 wwUI ;g - CAD格式(例如,STL,IGES) !FEc:qH 6x+ujUBkK STL导出平滑界面(例如Asphere) i'>6Qo 48^-]}; 采样高度剖面的STL导出 0YH5B5b mG~_*8}e< E)"19l|}B N5
ME_) 量化界面的GDSII导出 OgQdyU 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 rTPgHK]?l 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 7CIN!vrC|1 K$"#SZEi fPR_3qgQ 文档和技术信息 tpfgUZ{ v88vr 5NU{y+ PC用于模拟的规格 HiCh:IP7>/ CSM"Kz` 2qMiX|Y
QQ:2987619807
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