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光整形>衍射光学 zxT&K| f*aYS 任务说明 ./rNq!*a QUH USDT [?.k 8;k 65)/|j+ 灵活地导出制造数据: !J3g, p* - 平滑的界面 3tA6r - 量化界面 :BNqr[=b - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Nd%,V 7??+8T#n* 亮点 F
MHpa 导出各种表面形状的制造数据 /MosE,7l 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 6L}$R`s5H 4pduzO'I ?FA} ;?v 一般界面的制造数据 '[I?G6 +YI/(ko= ~Yb5FYE qa.nm4"6+ 支持文件格式: ;S7MP`o@ - 纯文本 ;vy" i - ASCII码 <V5(5gx - 点云 u$X[= - CAD格式(例如,STL,IGES) +>M^p2l*& [?Cv^t${+ STL导出平滑界面(例如Asphere) J4;w9[a$ V<*PaS.. 采样高度剖面的STL导出 4%Z! *W* O@ F0UM`! 3-`IMNn! 8Mf6*G#Y 量化界面的GDSII导出 $^?Mip 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 !9_HZ(W& 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 7;2j^qPr b8r?Dd"T8 ^<}9#q/rt 文档和技术信息 |A0BYzlVc Ej~vp2 sf<S#;aYqn PC用于模拟的规格 =\"88e;b2
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