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光整形>衍射光学 zY{A'<\O F@KGj| 任务说明 S9y} K;G~V\ }o(-=lF r#p9x[f<Y 灵活地导出制造数据: 1.GQau~ - 平滑的界面 )Nw8O{\ - 量化界面 B~ GbF*j - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 M5X&}cN6 |0b`fOS 亮点 013x8!i 导出各种表面形状的制造数据 E{`fF8]K 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 XNkn|q2 6A-|[(NS qR8Lh( "i 一般界面的制造数据 2HA:"v8 14yv$, 8OU\V5i[,q [RhO$c$[\ 支持文件格式: g}cq K - 纯文本 }&J q}j - ASCII码 L#sMSVC+ - 点云 qo bc<- - CAD格式(例如,STL,IGES) /
zPO <\^8fn STL导出平滑界面(例如Asphere) @q7I4 VU3upy< 采样高度剖面的STL导出 %P|/A+Mg" 3F2w-+L bWU'cw YN F k 量化界面的GDSII导出 !pX>!&sb 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 on`3&0,. 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 ^u ~Q/4 ;HO= rg!r[1c 文档和技术信息 '5$b-x6 F )jP1or W/h[A3 `3N PC用于模拟的规格 ^<2p~h0
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