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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 EZ{{p+e ^  
    IP$eJL[&D"  
    任务说明 IJKdVb~   
    &>+5 8  
    <mki@{;|  
    3 ^x&G?)  
    灵活地导出制造数据： v(R^LqE  
    - 平滑的界面 +|b#|>6  
    - 量化界面 K|\0jd)N  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 F WU >WHX  
     GFE3p  
    亮点 ^7ID |uMr  
     导出各种表面形状的制造数据 $L( ,lB  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ~8 UMwpl-  
         aCH;l~+U  
    KPDJ$,:  
    一般界面的制造数据 @aN~97 H\  
    cAGM|%  
    S&-F(#CF^  
    #g@4c3um|  
    支持文件格式： o3\^9-jmp  
    - 纯文本 |A,.mOT  
    - ASCII码 cUP1Uolvn  
    - 点云 \!jz1`]&{  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） h8%QF'C  
     U[Sh){4j  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） h?;03>6A&]  
    p<h(  
    采样高度剖面的STL导出 'AWWdz  
    BMQ4i&kF|  
    )(yaX  
    2"|7 YI  
    量化界面的GDSII导出 }@jJv||  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 J E5qR2VA  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 }+MA*v[06  
    O(-6Zqk8Q  
    8kSyT'k C%  
    文档和技术信息 4`9ROC  
    D3,)H%5.y  
    \p}GW  
    PC用于模拟的规格 u\iKdL  
    Av yer/{  
    S&y${f  
    QQ：2987619807
     
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