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光整形>衍射光学 YQVcECj UI?=]" 任务说明 x "\qf'{D lLiQ ;@ eOY^$#Y l(:kfR~AC 灵活地导出制造数据: J8Z0D:5 - 平滑的界面 bFGDgwe z - 量化界面 ];FtS>\x - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Zb(t3I>n , =y#m-9 亮点 [1(FgyE 导出各种表面形状的制造数据 ^v:Z o 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 IeTdN_8 sb.J
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>"d?(@PJ 一般界面的制造数据 nhH;?D3 9& +5X DF K&_Uk548 支持文件格式: Q5n`F5 - 纯文本 p/olCmHD) - ASCII码 .+.j*>q>u - 点云 658^"]Rk'/ - CAD格式(例如,STL,IGES) };katqzEg O4|2|sA STL导出平滑界面(例如Asphere) G0d&@okbFC p2 ! FcFi 采样高度剖面的STL导出 ,=PKd& }Dfwm)]Q Tlsa%pn erFv(eaDK 量化界面的GDSII导出 Q{y{rC2P 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 jRj=Awy 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 `
\ZqgX4 lU.Kc :b/J\ 文档和技术信息 H^AE|U*-G Vfs$VY2. \3zj18(@8! PC用于模拟的规格 ,+1m`9} RFfIF]~3 7"2b H
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