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光整形>衍射光学 -cAo@}v u04kF^ 任务说明 52Z2]T
c, w;4<h8Wn5 n FHUy9q ,/Z%@-rF 灵活地导出制造数据: ,is3&9 - 平滑的界面 W}@c|d $` - 量化界面 qN9(S:_Px - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 a%JuC2 KQ% GIz x 亮点 I-]?"Q7Jz 导出各种表面形状的制造数据 dO!
kk"qn 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 s+$ Q}|?u 6]WAUK%h /NI;P]s. 一般界面的制造数据 l<58A7 0d)M\lG FrGgga$ Bu~]ey1 支持文件格式: 2lH& - 纯文本 nv|NQ
Tk - ASCII码 |6sp/38#p - 点云 >*
f-Wde - CAD格式(例如,STL,IGES) 5H<m$K4z U)]oO STL导出平滑界面(例如Asphere) -P$PAg5"2 @<hb6bo,N 采样高度剖面的STL导出 N2^=E1|_ 'T*&'RQr _7Ju 99e.n0 量化界面的GDSII导出 S6Q 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 q$d>(vbq 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 JzQ_{J`k H(ARw'M X:"i4i[}{9 文档和技术信息 [Gb.
JO}X {T$9?`h~M ^,TO#%$iE PC用于模拟的规格 r,73C/*&/ -V77C^()8d QOGvC[*`<T
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