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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 ;OlC^\e  
    OZ*V7o  
    任务说明 ![wV}. }  
    "]%.%$  
    'NM$<<0  
    q L6Rs  
    灵活地导出制造数据： /$7_*4e  
    - 平滑的界面 ~*|0yPFg  
    - 量化界面 A=7  [^I2  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 7 I/  
     3H0~?z_  
    亮点 je^!W?U4<  
     导出各种表面形状的制造数据 ,8KD-"l^g  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 -Mb`I >=  
         Mh04O@"  
    DK/xHIv8-  
    一般界面的制造数据 A9_)}  
    F[Dhj,C"  
    oC]|ARgQk|  
    pPUv8, %  
    支持文件格式： \}0J%F1  
    - 纯文本 E6iUa'  
    - ASCII码 OPp>z0p%6X  
    - 点云 Fd:A^]  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） k_rtsN  
     o2cZ  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） "#T3l^@  
    w l.#{@J]<  
    采样高度剖面的STL导出 #>m#i1Nu  
    i-(^t1c  
    8Y.25$  
    rBv  
    量化界面的GDSII导出  g?qh  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 2TN+ (B#Z!  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 2k,!P6fgl  
    fmDU  
    n3, ?klK  
    文档和技术信息 ~ {sRK  
    3YyB0BMW  
    9kcp(  
    PC用于模拟的规格 zG_e=   
    t_@xzt10y  
    0*66m:C2  
    QQ：2987619807
     
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