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光整形>衍射光学 #s]` jdc
5wy3C 任务说明 MN. $a9m Jbqm?Fy4X L=-v>YL+ $n9Bp'< 灵活地导出制造数据: `RLn)a - 平滑的界面 @6z]Xb - 量化界面 ^@AIXBe - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ~&T%u.u7 >_LZD4v!< 亮点 ZE0D= 导出各种表面形状的制造数据 ;=E!xfp5U 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 bZzB\FB~ ~{gV`nm=J xa|/P#q 一般界面的制造数据 w4\g]\ j21nh >d z !:%Hbh= KMogwulG 支持文件格式: t73" d#+ - 纯文本 G[z4 $0f - ASCII码 gKWsmx![" - 点云 ^Jdji: - CAD格式(例如,STL,IGES) N3QDPQ >]S-a-|Bp STL导出平滑界面(例如Asphere) zDx*R3% I`FqZw 采样高度剖面的STL导出 a+ lGN kF29~ "3X~BdH&J ;dE'# Kb 量化界面的GDSII导出 tg'2v/ 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 a!Ht81gj 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 !JWZ}uM6
]pP: 4vbtB2 文档和技术信息 >7I"_#x1: W"*~1$vf 2
rx``,7Q PC用于模拟的规格 Y5?OJO{h" T?V!%AqY: Rt2<F-gY
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