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光整形>衍射光学 =oiz@Q @H Z!fbc#L6
任务说明 z%JN| 5 9AQ,@xP| uTJ z"c`F Sd.Km a 灵活地导出制造数据: o
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@_PY - 量化界面 `)KGajB - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ?|}qT05 D^p)`* 亮点 vpdPW %B 导出各种表面形状的制造数据 9`VY)"rJ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 luac -byaV;T?" ]c|JxgU 一般界面的制造数据 s`[V{1m, z?kE((Ey '"LaaTTs 8WpNlB+:{ 支持文件格式: hBaG*J{ - 纯文本 hPGDN\#LD - ASCII码 fk1d iB - 点云 ,+C?UW - CAD格式(例如,STL,IGES) U#w0 E G `C-8zA STL导出平滑界面(例如Asphere) -'WR9M?fq u WdKG({][ 采样高度剖面的STL导出 []yIz1P=j KIWHn_ : tux`-F BNr%Q:Q 量化界面的GDSII导出 {,T=Siy 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 {9j0k`A 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 d$E>bo-\ T?jN/}qg M_cm,|FF 文档和技术信息 S+mBVk"-~S (sH4T> 8NE[L#k PC用于模拟的规格 `jhbKgR[ #hu`X6s" *r9D+}Y(4
QQ:2987619807
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