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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 ^"4u1  
    [KsVI.gn  
    任务说明 XaYgl&x'!x  
    hJGWa%`  
    l?zWi[Zf  
    k6??+b:rE  
    灵活地导出制造数据： 1#jvr_ ga  
    - 平滑的界面 (=w ff5U  
    - 量化界面 M5l*D'GE]  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 fZt3cE\  
     n4G53+y'  
    亮点 >}B~~C;  
     导出各种表面形状的制造数据 &>z}u&oF  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 !@@rO--&  
         ?r}!d2:dX  
    BXX1G  
    一般界面的制造数据 bn8?-  
    J9`[Qy\  
    Z.mnD+{  
    fSzX /r  
    支持文件格式： -Q P&A >]7  
    - 纯文本  eZ +uW0  
    - ASCII码 !FR1yO'd>  
    - 点云 2`w\<h  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） oxL4* bqZ  
     ! jb{q bq  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） pd X"M>  
    -~ ycr[}x  
    采样高度剖面的STL导出 /'0,cJnm  
    IXmO1*o@  
    X5eTj  
    5zsXqBG  
    量化界面的GDSII导出 0!,)7  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 !;YQQ<D  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 =v]eQIp  
    "rI By  
    {cBLm/C  
    文档和技术信息 L8j#l u  
    wq"AWyu  
    8yc?9&/ |  
    PC用于模拟的规格 Kq`"}&0b\  
    )SYZ*=ezl.  
    O@bDMg  
    QQ：2987619807
     
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