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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学  #B~ ;j5  
    y_Lnk=Q ^  
    任务说明 |iUF3s|?  
    r5s{t4 ;Ch  
    B0b|+5WhR  
    h>!h|Ma  
    灵活地导出制造数据： :;Z/$M16B  
    - 平滑的界面 esTL3 l{[  
    - 量化界面 Ne+Rs+~4  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 d [l8qaD  
     CrI<rD%'  
    亮点 /E<Q_/'Z  
     导出各种表面形状的制造数据 ThX3@o  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 VQ('ejv}/  
         aU;X&g+_)  
    }}k%.Qb  
    一般界面的制造数据 w&H>`l06  
    gH(#<f@ZI  
    ys[xR=nbD  
    1;~s NSTo  
    支持文件格式： Fy5:|C N  
    - 纯文本 u|wl;+.  
    - ASCII码 T^^7@\vDI  
    - 点云 t }4  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Wy-_}wqHg  
     4Mg%}/cC  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Y`22DFO  
    eMdP4<u  
    采样高度剖面的STL导出 uSXnf  
    [O\ )R[J  
    oX^N>w0F  
    $A~aNI  
    量化界面的GDSII导出 % m6qL  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 C1f$^N  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 rOLZiET  
    VTL_I^p  
    . h)VR 5?j  
    文档和技术信息 )kjQ W&)g  
    " TCJT390  
    / :.I&^>P  
    PC用于模拟的规格 x_O:IK.>  
    rx| ,DI  
    x$jLB&+ICz  
    QQ：2987619807
     
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