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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 6/GhQ/T%D  
    MY0Wr%@#0  
    任务说明 $+?6U  
    eqLETo@} *  
    EmLPq!C  
    <,LeFy\zW  
    灵活地导出制造数据： u52@{@Ad  
    - 平滑的界面 6jKM,%l  
    - 量化界面 `pLp+#1 `R  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ?Ww',e  
     &jj\-;=~Ho  
    亮点 c>]_,Br~  
     导出各种表面形状的制造数据 Tvk=NJ  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 smWA~Aq  
         dso\+s  
    FCI38?`%  
    一般界面的制造数据 \ 0:ITz  
    #'"h+[XY  
    BURiLEYZl  
    J H$  
    支持文件格式： xNjA>S\]W5  
    - 纯文本 'W$qi@f_s  
    - ASCII码 S-v9z:M3  
    - 点云 ]H.+=V;1  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） I2zSoQ1P  
     XLM 9+L  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Ju:=-5r"'  
    u D . 0?*_  
    采样高度剖面的STL导出 ==IL63  
    2wu 5`Z[E  
    mTcLocx  
    z.{y VQE  
    量化界面的GDSII导出 r"rEVx#1=  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ph69u #Og  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 %S@XY3jZY  
    TzPVO>s  
    sX@e1*YE_  
    文档和技术信息 gzw[^d  
    o6{XT.z5qx  
    S~m* t i(  
    PC用于模拟的规格 1a%*X UT  
    4u:{PN  
    ]QpR>b=[j  
    QQ：2987619807
     
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