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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 :& $v.#  
     56C'<#  
    任务说明 c2GTN"  
    tQxAZ0B^  
    SJ8 ~:"\P  
    [UdJ(cGf  
    灵活地导出制造数据： `tHF}  
    - 平滑的界面 !L|VmLqa  
    - 量化界面 *6_>/!ywI  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ZW;Re5?DJ  
     Zn|lL0b{q  
    亮点 #cD$ DA  
     导出各种表面形状的制造数据 xw~oR|`U  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 4rCw#mVtB  
         -DZ5nx  
    ;L],i<F  
    一般界面的制造数据 }DvT6  
    - t 4F  
    KxJDAP  
    54]UfmT%I  
    支持文件格式： b83m'`vRM  
    - 纯文本 rP(;^8l"  
    - ASCII码 JGhK8E  
    - 点云 h^H)p`[Gme  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Fkqw #s(T  
     ,4,./wIq  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） L`w_Q2{sv  
    .nA9irc  
    采样高度剖面的STL导出 )ZZ6 (O  
    ^|h.B$_F,  
    o|s|Wm x>u  
    *L<<S=g$2  
    量化界面的GDSII导出 O+DYh=m*p  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 /5>A 2y  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 a}k5[)et  
    oBPm^ob4  
    0w2<2grQ  
    文档和技术信息 HErG%v]nw  
    *'@T+$3s  
    /dR:\ffz2  
    PC用于模拟的规格 m$'ZiS5  
    2-#&ktM%V  
    1R.6Xer  
    QQ：2987619807
     
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