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光整形>衍射光学 8SR ~{ g4^=Q'j- 任务说明 bd_&=VLTC x8+W9i0[1 SjgjGJw M:YtW5{ 灵活地导出制造数据: BxVo>r - 平滑的界面 ju~js - 量化界面 \$Lr L - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 WW\t<O;z >,wm-4&E 亮点 n$&xVaF| 导出各种表面形状的制造数据 [oqb@J2 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 !N ua ))JbROBU, 6qp2C]9= 一般界面的制造数据 ?B7n,!&~ kwF4I)6 mWN9/+! d[eN#< 支持文件格式: =wE1j - 纯文本 lB3@jF - ASCII码 oP vk ^H - 点云 ]rU$0)VN - CAD格式(例如,STL,IGES) Y=94<e[f" C{^U^>bU STL导出平滑界面(例如Asphere) 4'9yMXR D;
i%J 采样高度剖面的STL导出 XqX6UEVR4 U(*k:Fw F-0 |&0 F6,[!.wl 量化界面的GDSII导出 D_VAtz 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 7S'3U}Y>VX 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 Ky(=O1Ufu OcWy#,uC
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