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光整形>衍射光学 Sm5"Q C5z4%,`f 任务说明 Af~AE2b3" v/dcb% ?`$4ZDM tWuQKN`_ 灵活地导出制造数据: =t2epIr5 - 平滑的界面 zx*f*L,6F - 量化界面 {`> x"Y5 - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 %94"e7Hy G39t'^ZK*# 亮点 QWEK;kUa@ 导出各种表面形状的制造数据 %LyB~X 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Tj:F Qnx 2~ a4ib JI(|sAH 一般界面的制造数据 )uP= o "( xu 78wcMQNX9 kQ+5pFo3 支持文件格式: 04:Dbt~=?p - 纯文本 @z.!Dby - ASCII码 <V{BRRx - 点云 M-_)CR - CAD格式(例如,STL,IGES) #<{MtK_ n$QFj' STL导出平滑界面(例如Asphere) whshjl?a 1mqFnVkf&+ 采样高度剖面的STL导出 ,ic}
,7aqrg #@G2n@Hj Sl1N V 量化界面的GDSII导出 qyto`n7 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 eYFCf; 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 _"n4SXhq SWt"QqBU We|*s2! 文档和技术信息 O1A*-G:X 6tM{cK%v1 <[Vr(.A PC用于模拟的规格 U4gZW]F lU?"\m =S,^"D\Z:
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