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光整形>衍射光学 7R9.g6j eD5:0;X2 任务说明 p|fSPSz &c!d}pU} mG4$ rP$vZ^/c 灵活地导出制造数据: gwVfiXR4 - 平滑的界面 /]7FX" - 量化界面 5@l[!Jl0k - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 n.9k< vxuxfi8x 亮点 ?^y%UIzf 导出各种表面形状的制造数据 4C AV) 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 \i1>/`F &q~**^;' V)x(\ls]SX 一般界面的制造数据 d'j8P YdsY2 =2+';Xk\ &"X6s%ZH| 支持文件格式: w1Ar[
P - 纯文本 5WhR| - ASCII码 _<Hx1l~ - 点云 9J>b6 - CAD格式(例如,STL,IGES) ?naPti1GX 5vxKkk&i4l STL导出平滑界面(例如Asphere) :CH*~o <(|No3jx 采样高度剖面的STL导出 /rMxl(wD' 8R!3}kx ?Q$LIoR JiFy.Pf 量化界面的GDSII导出 bpe8
`b(# 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 2kv%k3Q{ 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 Y# <38+Gd >&uG1q0p. \)?mIwo7~ 文档和技术信息 m3|KIUP FN$hEc! /D9FjOP PC用于模拟的规格 6Mpbmfr M :m-i X $`nKq4Y
QQ:2987619807
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