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光整形>衍射光学 &_QD1 TT (Gzq 1+B 任务说明 ,
Z1 &MuV OpOR! H5FWk ODCN~7-@ 灵活地导出制造数据: NCkrf]*F- - 平滑的界面 nm|"9|/
- 量化界面 +^,&z}(
Ak - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 >4lA+1JYk (ia+N/$u 亮点 Kv5 !cll5 导出各种表面形状的制造数据 FGMYpapc~ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 $KRpu<5i} PVq y\i $xcU*?=K 一般界面的制造数据 0a$hK9BH sBN4:8 XC[AJ!q` z\J#d 1e 支持文件格式: I7#+B1t - 纯文本 rj eKG-Z@ - ASCII码 tdi}P/x - 点云 \$8p8MP<&D - CAD格式(例如,STL,IGES) +P*,i$MV oM}P Wf- STL导出平滑界面(例如Asphere) #Nv0d|0\ `Z#]lS? 采样高度剖面的STL导出 nza^<DlS 9jUm0B{? {M0pq3SL*t 1z8AK"8 量化界面的GDSII导出 =H^^A G\} 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 aj]%c_])( 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 =Rf!i78c5 }'TZ)=t{J ~o/e0 文档和技术信息 03y5$kQ 'l'[U / ='/R7~ PC用于模拟的规格 #w]:<R^ 0>?78QL9< 9y"\]G77E
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