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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 n)gzHch  
    YP/BX52 v  
    任务说明 ;mu^WIj  
    5$/ED3mcK  
    ,!Gw40t  
    ;kDz9Va  
    灵活地导出制造数据： Z  G3u  
    - 平滑的界面 Z+x,Awq  
    - 量化界面 8i;EpAwB  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 HTA Jn_  
     f%;8]a9  
    亮点 N[:;f^bH49  
     导出各种表面形状的制造数据 zuwlVn  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 . _Bejh  
         B/6wp^#VX  
    k?ZtRhPu3X  
    一般界面的制造数据 m r&nB  
    },lHa!<^  
    Dyyf%'\M  
    ],V_"\ATD  
    支持文件格式： p3`ND;KQ  
    - 纯文本 gMS-mkZ  
    - ASCII码 ]3nka$wA*  
    - 点云 ihS;q6ln  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ;EDc1:  
     ..'k+0u^  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） &NM.}f  
    m^I+>Bp/:  
    采样高度剖面的STL导出 *mwHuGbZed  
    `lygJI?H+{  
    V C$,Y  
    Q8OA{EUtq  
    量化界面的GDSII导出 e=e^;K4  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 l+`f\},  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 o."k7fLB  
    LX;w~fRr.  
    /P { Zo  
    文档和技术信息 ++1<A& a  
    HtY0=r  
    5G  @  
    PC用于模拟的规格 qRi;[`  
    J'{69<`Dl  
    #y;TSHx/  
    QQ：2987619807
     
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