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光整形>衍射光学 t9?R/:B% eFt\D\XOW 任务说明 <I>%m, j5PaSk&o= U(rr vNt:t 6.7`0v?,n 灵活地导出制造数据: qgwv=5| - 平滑的界面 zj~8>QnKk - 量化界面 I(z>)S'7r - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 aSn0o_4bD :hC
{5!| 亮点 @`w' 导出各种表面形状的制造数据 C>.]Bvg 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 jf$JaY P3+)pOE-SI c+@d'yR 一般界面的制造数据 % MfGVx}nG t7{L[C$ 9X
5*{f Y k)N2 +/ 支持文件格式: y3&Tv - 纯文本 )m|X;eEo - ASCII码 xDPQG`6 - 点云 aDm-X r - CAD格式(例如,STL,IGES) (Wm/$P; =?meO0]y STL导出平滑界面(例如Asphere) xB?S#5G} YH/S2 D 采样高度剖面的STL导出 X@6zI-Y% {toyQ)C7 hKk\Y{wv' -D!#W%y8 量化界面的GDSII导出 cJU!zG 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 B6tcKh9d, 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 PphR4 sIM qT4I Y$h *k3 d^9o# 文档和技术信息 s=H/b$v , aRJ!AZ }XfS#Xr1aV PC用于模拟的规格 F<PWBs% p/\$P= 6.
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