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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 WfTD7?\dw  
    6X/wd k  
    任务说明 0,HqE='w  
    RFw(]o,9cR  
    >~_J q|KBB  
    MkwU<ae AB  
    灵活地导出制造数据： Vy__b=ti?  
    - 平滑的界面 9B /s  
    - 量化界面 qu_)`wB  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 geksjVwPH  
     tR kF   
    亮点 8{dEpV*  
     导出各种表面形状的制造数据 6?N4l ]l  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 v? L  
         KU-'+k2s;p  
    lsk_P&M  
    一般界面的制造数据 Yu'a<5f  
    4'',6KJ@  
    cJCU*(7&  
    B`fH^N  
    支持文件格式： $B\ H  
    - 纯文本 cFK @3a  
    - ASCII码 GcT;e5D  
    - 点云 F/>*If s  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） GF8 -_X  
     ;B~P>n}}_]  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） (&jW}1D  
    OF[?Z  
    采样高度剖面的STL导出 l<(cd,  
    OO nX`  
    #uSK#>H_!  
    O gmSQ  
    量化界面的GDSII导出 >H>gH2qp  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 4WC9US-k  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 wJe?t$ac?  
    !;S"&mcPDJ  
    *^] ~RhjB  
    文档和技术信息 jfD1  
    ]dSK wxk  
    "xe=N  
    PC用于模拟的规格 4U=75!>  
    54{q.I@n  
    i0:>Nk  
    QQ：2987619807
     
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