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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 :<|fZa4!"  
    ,DsT:8  
    任务说明 Z|7I }i  
    >L3p qK   
    2/W0y!qh1  
    2Uw}'J_N  
    灵活地导出制造数据： +hYmL Sq  
    - 平滑的界面 "PM:&v  
    - 量化界面 cF6@.)  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 _!T$|,a  
     lIT2 AFX+  
    亮点 }LVE^6zyk  
     导出各种表面形状的制造数据 KuAGy*:4T  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ~wV98u-N  
         5 BG&r*U  
    8IcQpn#  
    一般界面的制造数据 1>*<K/\qg  
    #nL0Hx7]E  
    {twf7.eY  
    Y{B_OoTun  
    支持文件格式： )4O`%9=M&  
    - 纯文本 M%LwC/h:,  
    - ASCII码 'r3}=z4Y  
    - 点云 r]vBr^kq  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） %bETr"Xom  
     c8 fb)`,k  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） z~;qDf|I  
    w9}IM149  
    采样高度剖面的STL导出 n_ gB#L$  
    @)Y7GM+^  
    Cd*C^cJU&z  
    "s^@PzQpN  
    量化界面的GDSII导出 */qc%!YV9  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 DO*C]   
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 u+I3VK_)  
    0pG(+fN_9  
    ^OsUWhkV  
    文档和技术信息 %6?}gc_  
    aPMM:RP`  
    9%veUvY  
    PC用于模拟的规格 eesLTy D2_  
    m$j;FKz+|  
    4& WzG nK  
    QQ：2987619807
     
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