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光整形>衍射光学 zZPWE"u} *#>(P 任务说明 'z,kxra|n %dnpO|L ]QR]#[Tn' `},:dDHI 灵活地导出制造数据: {1Cnrjw - 平滑的界面 >}F$6KM - 量化界面
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- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 )/DN>rU jj2=|)w$3 亮点 &iw,||# 导出各种表面形状的制造数据 TYD( 6N 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 X@[5nyILf p5E
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Hy:x.'i 一般界面的制造数据 _Jg#T~ lz>00B<Z 7#+Ih-&EQ ][l5S*CC_ 支持文件格式: Tv7W)?3h - 纯文本 5@1h^wv - ASCII码 +|bmUm<2 - 点云 @1'OuX^ - CAD格式(例如,STL,IGES) l=9D!64 =7TWzUCO# STL导出平滑界面(例如Asphere) |-vyhr0 MF.!D;s 采样高度剖面的STL导出 Eh;Ia6} A4(L47^ l
opl :_i1gY) 量化界面的GDSII导出 }2 S!;swg+ 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 -"ZNkC= 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 uY)4y0 cHr]{@7Cs "JmbYb#Z 文档和技术信息 HLz<C H#GR*4x !lzj.|7=1 PC用于模拟的规格 9$v\D3<Z }Y.@:v
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