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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 *u|1Z%XO  
    i qxMTH#!  
    任务说明 @IbZci)1  
     _fn7-&6  
    Q -$) H;,  
    x 4LPrF1  
    灵活地导出制造数据： ipGxi[Vav  
    - 平滑的界面 q!U$\Q&  
    - 量化界面 g^|R;s{  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 0w TOdCvmb  
     R%2.N!8v  
    亮点 qk^/ &j  
     导出各种表面形状的制造数据 =IX-n$d`>  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 NM:$Q<n  
         {0,6- dd5  
    <a_ (qh@B  
    一般界面的制造数据 I<<1mEk  
    -:r<sv$  
    wS,fj gX  
    _XY(Qd  
    支持文件格式： w1zMY:9  
    - 纯文本 zXlerQWUv  
    - ASCII码 ,{(XT7hr  
    - 点云 ~-H3]  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） uR2|>m  
     / s Apj  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） lZIJ[.  
    F"M/gy  
    采样高度剖面的STL导出 se>\5k  
    vA6onYjA  
    -Mrt%1g  
    FaWc:GsfB  
    量化界面的GDSII导出 6Xo"?f  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 cotySio$  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ->IZZ5G<  
    /4 Kd  
    :}#)ipr  
    文档和技术信息 mb3aUFxA;  
    L|(U%$  
    4|Y1W}!0/  
    PC用于模拟的规格 oz]3 Tx  
    iC!6g|]X  
    ^  ~1QA  
    QQ：2987619807
     
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