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光整形>衍射光学 aF D="Zh ~wfoK7T} 任务说明 0w^jls 6o$Z0mG %0NL Rfp F?!FD>L{` 灵活地导出制造数据: 8r2XGR - 平滑的界面 x*:n4FZ7b - 量化界面 ].LJt['%8 - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 D*|(
p6v1& kBrvl^D{5 亮点 kJ/+IGV^v 导出各种表面形状的制造数据 aLV~|$:2 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 w(aUEWYL
*hV4[= .8-PB*vb 一般界面的制造数据 #X4LLS]VV oz Vpfs y@q1c*| N0]z/}hd@ 支持文件格式: baqn7k" - 纯文本 IoQr+:_R - ASCII码 Z&TD+fT< - 点云 /#29Y^Z)= - CAD格式(例如,STL,IGES) 2K
Pqu:lv Mk<m6E$L STL导出平滑界面(例如Asphere) JFe4/
V OE6#YT 采样高度剖面的STL导出
1U ,Ak ^nX =1O?jrl~q R j-jAH 量化界面的GDSII导出 *8/VSs 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 6{L F-`S% 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 0"hiCGm' |n)<4%i8J /({P1ti:C 文档和技术信息 #uB[&GG}W R;%^j=Q 5qGGu.$Ihi PC用于模拟的规格 ^Wf
S\M` 8`a,D5U: T{ok +$w2
QQ:2987619807
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