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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 :-WNw n  
    WD_{bd)  
    任务说明 +w7U7" xQ  
    w59q* 2  
    4TI`   
    nLOK1@,4  
    灵活地导出制造数据： +_{cq@c  
    - 平滑的界面 Vc;g$Xr[  
    - 量化界面 mK/E1a)AG3  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Io"3wL)2  
     6"o=`Sq  
    亮点 k& uh  
     导出各种表面形状的制造数据 J[05T1  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 6.a5%:  
         Uf|uFGb  
    5]up%.  
    一般界面的制造数据 1Jdx#K  
    5Po:$(  
    NMfHrYHbh  
    )hl7)~S<  
    支持文件格式： \<(EV,m2  
    - 纯文本 Wz #Cyjo  
    - ASCII码 sp:4b$zX  
    - 点云 #rF`Hk:  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） S[2?,C<2=  
     Woj5 yr  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 0;@>jo6,!  
    ^"p . 3Hy  
    采样高度剖面的STL导出 T9%|B9FeJ  
    cfilH"EK  
    +or<(%o @  
    B @QWr;  
    量化界面的GDSII导出 6pSTw\/6  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 |nWEuKHy  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 \?R#ZxP@  
    Ex zB{ "  
    w&p(/y  
    文档和技术信息 ~tt\^:\3~S  
    lH`TF_  
    aVHIU3  
    PC用于模拟的规格 d,^ZH  
    |u?VlRt  
    #"KC29!Yj  
    QQ：2987619807
     
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