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光整形>衍射光学 CN/IH hY+R'9 任务说明 =D].` |q_
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a %w7m\nw@ i&A%"lOI9 灵活地导出制造数据: Tw//!rpG - 平滑的界面 rs:Q%V
^ - 量化界面 azo0{`S? - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 _R7 w?!t8 v)):$s?WB 亮点 |) Pi6Y 导出各种表面形状的制造数据 A
W)a">| 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 G
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'Ti1! t+Z`n(> ~GG?GB 一般界面的制造数据 H] k'?; [T`}yb@ G;TsMq /)9W1U^B 支持文件格式: se!mb _! - 纯文本 Fc8E Y* - ASCII码 nJJs%@y - 点云 i[150g?K - CAD格式(例如,STL,IGES) -#?<05/C> -(>qu.[8= STL导出平滑界面(例如Asphere) =-~;OH/ wGJjA=C 采样高度剖面的STL导出 gi]ZG |;u}sX1t9 Rg* J} R#(G%66
量化界面的GDSII导出 K=6UK%y
A 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Bf]$X>d 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 ?t rV72D uLN[*D )ofm_R'q* 文档和技术信息 ? _<[T }q!_!q,@ #SkX@sl@ PC用于模拟的规格 9vI]LfP 0mexF@ #Qbl=o4
QQ:2987619807
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