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光整形>衍射光学 stf,<W B"pFJ"XR 任务说明 c^i"}2+ Qx6,>'Qk' s_S<gR fW_}!`: 灵活地导出制造数据: S3j]{pZ(z - 平滑的界面 :t2 9`x - 量化界面 gaLEhf^ - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 c9Y2eetO lM@<_=2 亮点 \;3B?8wbIl 导出各种表面形状的制造数据 o<C]+Nt,@ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 f:x9Y{Y x>1iIpBv^ 2<46jJYL' 一般界面的制造数据 WHpUjyBP \Owful %a)0?U r`&2-] 支持文件格式: kg/+vJ - 纯文本 3/A!_Uc( - ASCII码 yV 9]_k - 点云 ,ZzB#\ - CAD格式(例如,STL,IGES) STFQ";z$ (<d&BV- " STL导出平滑界面(例如Asphere) 4~m.#6MT 7/p J6> 采样高度剖面的STL导出 m>Yo9/XpZ =sUl`L+w,L gL[1wM%? LK
量化界面的GDSII导出 w(vE2Y ? 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 d'lr:=GQ 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 'XZI{q2i IF36K^K yL.PGF1( 文档和技术信息 0gwm gc/# CN8@c!mB
^LEmi1L PC用于模拟的规格 /P?|4D}< &*>CPO #Vn>ue+?
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