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光整形>衍射光学 :<|fZa4!" ,DsT:8 任务说明 Z|7I }i >L3p qK
2/W0y!qh1 2Uw}'J_N 灵活地导出制造数据: +hYmL
Sq - 平滑的界面 "PM:&v - 量化界面 cF6@.) - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 _!T$|,a lIT2 AFX+ 亮点 }LVE^6zyk 导出各种表面形状的制造数据 KuAGy*:4T 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ~wV98u-N 5 BG&r*U 8IcQpn# 一般界面的制造数据 1>*<K/\qg #nL0Hx7]E {twf7.eY Y{B_OoTun 支持文件格式: )4O`%9=M& - 纯文本 M%LwC/h:, - ASCII码 'r3}= z4Y - 点云 r]vBr^kq - CAD格式(例如,STL,IGES) %bETr"Xom
c8 fb)`,k STL导出平滑界面(例如Asphere) z~;qDf|I w9}IM149 采样高度剖面的STL导出 n_gB#L$ @)Y7GM+^ Cd*C^cJU&z "s^@PzQpN 量化界面的GDSII导出 */qc%!YV9 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 DO*C] 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 u+I3VK_) 0pG(+fN_9 ^OsUWhkV 文档和技术信息 %6?}gc_ aPMM:RP` 9%veUvY PC用于模拟的规格 eesLTyD2_ m$j;FKz+| 4&WzGnK
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