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光整形>衍射光学 ga1b%5]v. {9@E[bWp# 任务说明 V~.SgbLc (Ze\<Y#cv h52+f Iw$T'I+4W 灵活地导出制造数据: kd
p*6ynD - 平滑的界面 yYaYuf - 量化界面 rTC| 8e - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 E>QEI; \"yR[.Q?
亮点 f4X}F|!h 导出各种表面形状的制造数据 )5<dmK@ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 f .h$jyp( ]/R>nT >NpW$P{' 一般界面的制造数据 $Ixd;`l* N0
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j FFN.9[Ly 支持文件格式: l29AC}^ - 纯文本 4uVyf^f\]f - ASCII码 aO<H!hK - 点云 t!ZFpMv]n - CAD格式(例如,STL,IGES) ,b+Hy`t `AdHyE STL导出平滑界面(例如Asphere) 6|Rj
YX zzKU s "u 采样高度剖面的STL导出 }u5J<*:bZ D{t0OvQag 2[Qzx%Vp 3bugVJ93 量化界面的GDSII导出 >R/^[([;] 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 /#xYy^` 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 6& 9q6IIy 8HSGOs =8 t6+>Zr 文档和技术信息
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B PC用于模拟的规格 Rn whkb&& A kqGk5e
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QQ:2987619807
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