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光整形>衍射光学 j?Jd@(*y$ g0;&/;" 任务说明 .:r2BgL p;c_<>ws-Y \$$b",2
h zBrWm_R5T 灵活地导出制造数据: Wf+Cc?/4 - 平滑的界面 vV&AG1_Mv - 量化界面 TQbFI;\ - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 %$9)1"T0Y J1u@A$4l? 亮点 EP*["fx 导出各种表面形状的制造数据 8KGv?^M
6W 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 1o5Y9#7 ,h5-rw' 5,=B1 一般界面的制造数据 ^8f|clw" *Wuctu^9 U#~nN+SIt `|ck5DZT5L 支持文件格式: QB.*R? A - 纯文本 e{rHO,#A> - ASCII码 4Q`=t&u - 点云 q!9v}R3( - CAD格式(例如,STL,IGES) \4`saM /x JK^B +. STL导出平滑界面(例如Asphere) 0[$Mo3c+' 9-Nq[i" 采样高度剖面的STL导出 9B?t3: '#An+;x{ hAxuZb7 ? }TAGr 0 量化界面的GDSII导出 @e?[oojrM 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 3Av(|<cR 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 6GrMcI@hS <*6y`X >Wr 文档和技术信息 ;o)`9<es!2 a@a1TpLQ YK=#$,6 PC用于模拟的规格 ^?S@v1~7d L_zmU_zD Zy+QA>d|
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