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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 X% X$Y6  
    ODek%0=  
    任务说明 Vha'e3 o!  
    g#|oi f9o  
    0d";Hh:  
    @UV{:]f~e  
    灵活地导出制造数据： _0.pvQ  
    - 平滑的界面 O2% `2h  
    - 量化界面 *%I[ ke *  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 (_ U^  
     05"qi6tncz  
    亮点 F3Ap1-%z  
     导出各种表面形状的制造数据 W_%W%i|  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 8""mp]o9  
         E23w *']  
    VXwPdMy*L  
    一般界面的制造数据 A4 5m)wQ  
    #52NsVaT@  
    Za0gs @$  
    ~#q;bS  
    支持文件格式： M%|f+u&  
    - 纯文本 a*s\Em7f  
    - ASCII码 kN.B/itvA  
    - 点云 9ad6uTc  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） rH.gF43O:  
     !*_K.1'  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） <6R"h-u"  
    G5;V.#"Z[  
    采样高度剖面的STL导出 +6oG@  
    -bm,:Iy!  
    8 URj1 W  
    r :NH6tAL  
    量化界面的GDSII导出 vd(dNu&,<  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 kW +G1|  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ,VWGq@o%  
    tt{`\1q  
    E(;i>   
    文档和技术信息 q#'VJA:A5&  
    9n 6fXOC  
    `.8UKSH+  
    PC用于模拟的规格 `|?]CkP  
    0bSz4<}  
    ~#Aa Ldq  
    QQ：2987619807
     
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