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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 ;,/4Ry22j-  
    uJ`:@Z^J  
    任务说明 #>M^BOR8  
    Ae\:{[c_D  
    ik#ti=.  
    wk#cJ`wG;  
    灵活地导出制造数据： N[A9J7}_R  
    - 平滑的界面 #mYe@[p@  
    - 量化界面 &F:%y(;{Y  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Kr?<7vMT5  
     m Uy>w  
    亮点 1~Z   
     导出各种表面形状的制造数据 ,FwpHs $A  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 (&SPMhs_|(  
         ~b @"ir+g4  
    tOX -vQ  
    一般界面的制造数据 _Q'f^Kj  
    gO{$p q}  
    $*`E;}S0  
    IrUoAQ2xpG  
    支持文件格式： _6!iv  
    - 纯文本 z\"9T?zoo  
    - ASCII码 rJh$>V+ '  
    - 点云 6"?#E[ #[  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） PhAD: A  
     ]ddH>y&o  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） k[)/,1  
    =YIosmr  
    采样高度剖面的STL导出 'P*OzZ4>$  
    T% GR{mp  
    >;lrH&  
    h^v#?3.@  
    量化界面的GDSII导出 LP !d|X  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 -/ G#ls|?  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 -oTdi0P  
    3xN_z?Rg  
    m#ig.z|A  
    文档和技术信息 U&43/;<,  
    <*+[E!oi  
    <,Pl31g^  
    PC用于模拟的规格 IwBO#HR~)  
    f:t j   
    cY Qm8TR<  
    QQ：2987619807
     
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