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成像系统>包括光栅 a2o+ tR;H !3?HpR/nV 任务/系统说明 ,v>P05 Q 4_j `q  v3.JG]zLpP ,#D &* 亮点 >|uZIcs 6
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 .i@e6JE~; M^k~w{ 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） q$>At} 4 严格分析光栅衍射效率 /':kJOk<[ 考虑入射光的方向分布 I9k o*f GP`_R 说明：光源 #Z (B4YO k((_~<$2K  *.W ![%Be ;]vE" M x$ 说明：光束分束器 hZc$`V=R 8(5}Jo +  lE$X9yIt
Hco [p + 说明：检测透镜系统 <Cn-MOoM ewY+a , t  cFD(Ap z/6eP`jj 说明：微型晶片 V\X.AGc /_aFQ>.4n  nwHi3ojD: OpUC98p?@ 说明：检测物镜 to]1QjW- !);'Bk9o  6 \/C] /&cb`^"U^ O N]
z- 结果：3D光线追迹（只有0级） X0Xs"--} 9.D'!  q<D'"7#. 8L6! CP_! 结果：3D光线追迹（所有级） *siS4 RX2 r;I 3N+  $iupzVrro *|a_(bQ4@ 结果：光线追迹 `=vL?w^QS SA)}---"
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