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    [推荐]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-16
    成像系统>包括光栅 'g^;_=^G  
    ,'m<um  
    任务/系统说明 -lRXH7|X  
    7=u\D  
    thOQcOf0$  
    +*a:\b" fx  
    亮点 &9, 6<bToP  
    QL"fC;xUn,  
     @G^]kDFM{  
    YMj z , N  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） POfvs]  
     严格分析光栅衍射效率 HGs.v}@&  
     考虑入射光的方向分布 *5hg}[n2  
    zPWG^  
    说明：光源 7ml,  
    s[nXr   
    )}9Ef"v|  
    <`9Q{~*=t  
    说明：光束分束器 ~A}"s-Kq5  
    &sh %]o8  
    VT?J TW  
    Z9cch- u~  
    说明：检测透镜系统 ~ULuX"n  
    .8uJ%'$)  
    9(QY~F  
    A/lxXy}D  
    说明：微型晶片  ;iy]mPd  
    1mwb&j24n3  
    &Zs h-|N  
    _' Xt  
    说明：检测物镜 ^j[>.D  
    MM3X! tq  
    NYM$0v`0YK  
    iSUn}%YFz!  
    说明：探测器 qtnLQl"M  
    ah>;wW!6/  
    i d\0yRBt  
    )3=oS1p  
    结果：3D光线追迹（只有0级） 8&qCH>Cf  
    ]QJLES  
    /~{8/u3  
    vE;`y46&r  
    结果：3D光线追迹（所有级） ZtlF]k:MV  
    lfOF]Kiqr  
    'M=(5p  
    kn 5q1^  
    结果：光线追迹 ((7~o?Vbg  
    (^ZC8)0i(  
     QzT)PtX  
    WpP8J1KN[  
    结果：场追迹 57Y(_h:  
    Se9I1~mX  
     y-cRqIM  
    /i"vEI  
    结果：线性偏振光的场追迹 <:-|>R".  
    F[ N{7C3  
    M}!7/8HUC  
     rtS(iD@B"  
    文档和技术信息 Us+|L|/  
    E}-Y@( [  
     afqLTWU S  
    ^2mmgN   
     5u'"m<4  
    QQ：2987619807 pFX Do4eH  
     
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